LMU/musrfit
5
0
Fork 0
Code Issues 6 Pull Requests Actions Packages Projects Releases 4 Activity

example files for depthProfile

Browse Source
This commit is contained in:
Maria Martins
2023-02-15 13:41:27 +01:00
parent db358591e9
commit d37cb4add1
1313 changed files with 450166 additions and 11300 deletions
Download Patch File Download Diff File Expand all files Collapse all files

BIN
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/.DS_Store vendored Normal file
View File

Binary file not shown.

44
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/MINUIT2.OUTPUT Normal file
View File

@ -0,0 +1,44 @@
*************************************************************************
musrfit MINUIT2 output file from Si_PECVD_100G_260K_asym.msr - 2023-01-30 14:25:45
*************************************************************************
elapsed times:
Minimize: 0.001 sec
Minos: 0.010 sec
*************************************************************************
Fval() = 18.8683, Edm() = 0.0925626, NFcn() = 230
*************************************************************************
PARAMETERS
-------------------------------------------------------------------------
Parabolic Minos
No Name Value Error Negative Positive Limits
1 f1 0.112915 0.000141292 --- --- 0 1
2 f2 0.068036 0.00044984 --- --- --- ---
3 x1 107.689 2.56525 --- --- --- ---
*************************************************************************
COVARIANCE MATRIX
-------------------------------------------------------------------------
no covariance matrix available
*************************************************************************
CORRELATION COEFFICIENTS
-------------------------------------------------------------------------
no correlation coefficients available
*************************************************************************
chisq/maxLH RESULT
*************************************************************************
Time Range: 0x1.4p+2, 0x1.6p+4
chisq = 18.8683, NDF = 8, chisq/NDF = 2.358536
*************************************************************************
DONE
*************************************************************************

BIN
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/MINUIT2.root Normal file
View File

Binary file not shown.

58
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/Si_PECVD_100G_260K_asym.msr Normal file
View File

@ -0,0 +1,58 @@
n/a
###############################################################
FITPARAMETER
# Nr. Name Value Step Pos_Error Boundaries
1 f1 0.11291 0.00014 none 0 1
2 f2 0.06804 0.00045 none
3 x1 107.7 2.6 none
###############################################################
THEORY
userFcn libPDepthProfile PDepthProfile 1 2 3
###############################################################
RUN data/Si10_260K_Escan_100GTF_withDiaFrac PIM3 PSI DAT (name beamline institute data-file-format)
fittype 8 (non muSR fit)
map 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
xy-data 3 8
fit 5 22
packing 1
########################################64#######################
COMMANDS
MINIMIZE
#HESSE
MINOS
SAVE
###############################################################
PLOT 8 (non muSR plot)
runs 1
range 5 25
###############################################################
STATISTIC --- 2023-01-30 14:25:45
chisq = 18.9, NDF = 8, chisq/NDF = 2.358536

58
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/Si_PECVD_100G_260K_diaFrac.msr Normal file
View File

@ -0,0 +1,58 @@
n/a
###############################################################
FITPARAMETER
# Nr. Name Value Step Pos_Error Boundaries
1 f1 0.49618 0.00062 none 0 1
2 f2 0.26731 0.00052 none
3 x1 107.3 4.8 none
###############################################################
THEORY
userFcn libPDepthProfile PDepthProfile 1 2 3
###############################################################
RUN data/Si10_260K_Escan_100GTF_withDiaFrac PIM3 PSI DAT (name beamline institute data-file-format)
fittype 8 (non muSR fit)
map 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
xy-data 3 30
fit 5 22
packing 1
########################################64#######################
COMMANDS
MINIMIZE
#HESSE
MINOS
SAVE
###############################################################
PLOT 8 (non muSR plot)
runs 1
range 0 25
###############################################################
STATISTIC --- 2023-01-30 14:25:21
chisq = 13.2, NDF = 8, chisq/NDF = 1.651215

54
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E1000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,54 @@
DEPTH PARTICLES
5. 99
15. 225
25. 275
35. 306
45. 345
55. 396
65. 419
75. 480
85. 478
95. 478
105. 510
115. 501
125. 505
135. 487
145. 456
155. 425
165. 389
175. 400
185. 330
195. 299
205. 252
215. 218
225. 191
235. 144
245. 112
255. 84
265. 76
275. 53
285. 36
295. 25
305. 24
315. 11
325. 6
335. 4
345. 3
355. 0
365. 0
375. 1
385. 0
395. 0
405. 0
415. 0
425. 0
435. 0
445. 0
455. 0
465. 0
475. 0
485. 0
495. 0
505. 0
515. 0
525. 0

135
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E10000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,135 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 2
25. 2
35. 0
45. 1
55. 0
65. 3
75. 3
85. 4
95. 7
105. 5
115. 4
125. 2
135. 3
145. 3
155. 7
165. 9
175. 4
185. 7
195. 4
205. 5
215. 9
225. 5
235. 8
245. 6
255. 6
265. 7
275. 13
285. 11
295. 12
305. 15
315. 10
325. 11
335. 13
345. 18
355. 16
365. 13
375. 21
385. 21
395. 21
405. 18
415. 18
425. 20
435. 18
445. 25
455. 25
465. 28
475. 38
485. 32
495. 38
505. 33
515. 47
525. 33
535. 36
545. 67
555. 52
565. 49
575. 59
585. 69
595. 88
605. 73
615. 85
625. 84
635. 92
645. 81
655. 102
665. 129
675. 132
685. 131
695. 137
705. 143
715. 153
725. 166
735. 157
745. 193
755. 210
765. 203
775. 205
785. 208
795. 241
805. 249
815. 227
825. 255
835. 278
845. 277
855. 267
865. 303
875. 297
885. 267
895. 316
905. 325
915. 303
925. 283
935. 257
945. 296
955. 254
965. 212
975. 221
985. 167
995. 178
1005. 145
1015. 145
1025. 98
1035. 71
1045. 76
1055. 45
1065. 37
1075. 26
1085. 12
1095. 12
1105. 3
1115. 4
1125. 1
1135. 1
1145. 0
1155. 1
1165. 0
1175. 0
1185. 0
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0

144
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E11000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,144 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 4
25. 1
35. 2
45. 3
55. 2
65. 2
75. 5
85. 3
95. 4
105. 1
115. 1
125. 1
135. 3
145. 3
155. 3
165. 4
175. 6
185. 5
195. 4
205. 3
215. 1
225. 3
235. 7
245. 6
255. 8
265. 7
275. 7
285. 5
295. 3
305. 11
315. 11
325. 6
335. 8
345. 15
355. 15
365. 13
375. 10
385. 11
395. 17
405. 18
415. 17
425. 14
435. 19
445. 15
455. 17
465. 17
475. 22
485. 18
495. 31
505. 27
515. 33
525. 30
535. 33
545. 21
555. 31
565. 43
575. 38
585. 36
595. 26
605. 56
615. 46
625. 55
635. 63
645. 66
655. 68
665. 72
675. 68
685. 89
695. 99
705. 93
715. 99
725. 105
735. 113
745. 116
755. 117
765. 126
775. 130
785. 135
795. 163
805. 133
815. 179
825. 183
835. 187
845. 172
855. 224
865. 227
875. 245
885. 277
895. 268
905. 266
915. 269
925. 285
935. 249
945. 294
955. 241
965. 310
975. 279
985. 298
995. 297
1005. 245
1015. 283
1025. 222
1035. 247
1045. 204
1055. 214
1065. 235
1075. 189
1085. 146
1095. 128
1105. 96
1115. 77
1125. 56
1135. 57
1145. 27
1155. 17
1165. 12
1175. 5
1185. 5
1195. 3
1205. 1
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0

151
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E12000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,151 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 1
25. 1
35. 1
45. 1
55. 2
65. 2
75. 3
85. 0
95. 1
105. 0
115. 1
125. 4
135. 1
145. 3
155. 4
165. 2
175. 3
185. 5
195. 2
205. 0
215. 2
225. 4
235. 6
245. 3
255. 9
265. 5
275. 7
285. 7
295. 3
305. 7
315. 7
325. 6
335. 9
345. 5
355. 8
365. 9
375. 7
385. 8
395. 8
405. 10
415. 11
425. 9
435. 14
445. 20
455. 9
465. 17
475. 14
485. 18
495. 15
505. 15
515. 22
525. 16
535. 19
545. 21
555. 20
565. 25
575. 29
585. 24
595. 25
605. 35
615. 35
625. 40
635. 30
645. 35
655. 41
665. 35
675. 51
685. 41
695. 49
705. 44
715. 50
725. 61
735. 58
745. 68
755. 89
765. 91
775. 103
785. 83
795. 103
805. 88
815. 101
825. 136
835. 117
845. 127
855. 168
865. 167
875. 147
885. 162
895. 192
905. 195
915. 196
925. 187
935. 190
945. 216
955. 215
965. 241
975. 237
985. 228
995. 242
1005. 266
1015. 288
1025. 274
1035. 276
1045. 266
1055. 325
1065. 314
1075. 314
1085. 301
1095. 300
1105. 267
1115. 263
1125. 241
1135. 208
1145. 183
1155. 167
1165. 139
1175. 109
1185. 70
1195. 56
1205. 44
1215. 27
1225. 22
1235. 21
1245. 6
1255. 4
1265. 2
1275. 3
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0

159
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E13000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,159 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 0
25. 0
35. 0
45. 0
55. 1
65. 2
75. 1
85. 1
95. 1
105. 1
115. 2
125. 2
135. 5
145. 2
155. 5
165. 2
175. 5
185. 2
195. 5
205. 1
215. 5
225. 4
235. 3
245. 5
255. 7
265. 5
275. 3
285. 6
295. 3
305. 4
315. 5
325. 3
335. 7
345. 4
355. 1
365. 4
375. 6
385. 7
395. 2
405. 2
415. 10
425. 8
435. 4
445. 8
455. 13
465. 12
475. 8
485. 11
495. 12
505. 16
515. 15
525. 12
535. 15
545. 15
555. 14
565. 16
575. 13
585. 22
595. 21
605. 23
615. 18
625. 14
635. 27
645. 25
655. 23
665. 28
675. 27
685. 34
695. 36
705. 29
715. 41
725. 45
735. 39
745. 44
755. 47
765. 47
775. 35
785. 69
795. 64
805. 59
815. 75
825. 59
835. 73
845. 83
855. 81
865. 92
875. 96
885. 97
895. 113
905. 124
915. 107
925. 135
935. 159
945. 147
955. 156
965. 166
975. 161
985. 169
995. 172
1005. 198
1015. 201
1025. 190
1035. 206
1045. 234
1055. 272
1065. 279
1075. 286
1085. 321
1095. 301
1105. 306
1115. 314
1125. 345
1135. 326
1145. 314
1155. 316
1165. 315
1175. 295
1185. 254
1195. 219
1205. 208
1215. 187
1225. 171
1235. 112
1245. 130
1255. 73
1265. 59
1275. 34
1285. 34
1295. 25
1305. 18
1315. 5
1325. 7
1335. 2
1345. 0
1355. 2
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0

167
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E14000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,167 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 0
35. 0
45. 3
55. 1
65. 3
75. 1
85. 1
95. 0
105. 2
115. 2
125. 4
135. 0
145. 1
155. 1
165. 2
175. 2
185. 2
195. 6
205. 2
215. 3
225. 3
235. 5
245. 0
255. 8
265. 3
275. 5
285. 1
295. 1
305. 1
315. 7
325. 4
335. 4
345. 9
355. 4
365. 7
375. 3
385. 5
395. 4
405. 3
415. 8
425. 12
435. 5
445. 6
455. 6
465. 5
475. 3
485. 13
495. 10
505. 7
515. 8
525. 6
535. 8
545. 20
555. 13
565. 9
575. 14
585. 12
595. 20
605. 15
615. 8
625. 12
635. 16
645. 15
655. 14
665. 23
675. 19
685. 19
695. 30
705. 19
715. 22
725. 32
735. 27
745. 22
755. 23
765. 26
775. 40
785. 34
795. 47
805. 45
815. 49
825. 35
835. 57
845. 51
855. 63
865. 49
875. 63
885. 64
895. 56
905. 54
915. 71
925. 75
935. 97
945. 90
955. 78
965. 108
975. 102
985. 101
995. 148
1005. 145
1015. 127
1025. 138
1035. 146
1045. 159
1055. 166
1065. 202
1075. 217
1085. 213
1095. 232
1105. 230
1115. 270
1125. 264
1135. 306
1145. 283
1155. 291
1165. 290
1175. 314
1185. 313
1195. 312
1205. 319
1215. 331
1225. 272
1235. 283
1245. 314
1255. 236
1265. 257
1275. 198
1285. 183
1295. 160
1305. 146
1315. 116
1325. 92
1335. 69
1345. 43
1355. 44
1365. 30
1375. 16
1385. 3
1395. 10
1405. 6
1415. 4
1425. 0
1435. 2
1445. 1
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0

176
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E15000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,176 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 1
25. 0
35. 0
45. 3
55. 3
65. 1
75. 1
85. 0
95. 1
105. 1
115. 1
125. 0
135. 0
145. 0
155. 3
165. 0
175. 2
185. 2
195. 3
205. 1
215. 1
225. 1
235. 2
245. 3
255. 4
265. 3
275. 2
285. 3
295. 2
305. 3
315. 1
325. 3
335. 1
345. 6
355. 4
365. 1
375. 1
385. 3
395. 5
405. 4
415. 5
425. 6
435. 3
445. 2
455. 7
465. 7
475. 7
485. 6
495. 7
505. 4
515. 5
525. 6
535. 5
545. 7
555. 11
565. 9
575. 8
585. 12
595. 8
605. 8
615. 5
625. 14
635. 12
645. 10
655. 10
665. 13
675. 10
685. 16
695. 13
705. 12
715. 19
725. 17
735. 17
745. 13
755. 17
765. 22
775. 23
785. 27
795. 19
805. 23
815. 29
825. 26
835. 43
845. 20
855. 34
865. 34
875. 37
885. 32
895. 41
905. 54
915. 34
925. 41
935. 58
945. 57
955. 63
965. 64
975. 64
985. 72
995. 73
1005. 80
1015. 75
1025. 79
1035. 99
1045. 128
1055. 121
1065. 132
1075. 132
1085. 157
1095. 171
1105. 184
1115. 188
1125. 200
1135. 201
1145. 198
1155. 220
1165. 238
1175. 258
1185. 220
1195. 271
1205. 292
1215. 337
1225. 282
1235. 275
1245. 299
1255. 322
1265. 307
1275. 290
1285. 281
1295. 330
1305. 259
1315. 251
1325. 251
1335. 213
1345. 227
1355. 227
1365. 153
1375. 145
1385. 122
1395. 92
1405. 75
1415. 60
1425. 44
1435. 30
1445. 21
1455. 20
1465. 7
1475. 5
1485. 2
1495. 2
1505. 0
1515. 0
1525. 1
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0

187
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E16000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,187 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 1
35. 1
45. 0
55. 0
65. 0
75. 3
85. 1
95. 0
105. 1
115. 0
125. 0
135. 1
145. 1
155. 0
165. 2
175. 1
185. 0
195. 2
205. 0
215. 0
225. 3
235. 1
245. 3
255. 0
265. 0
275. 2
285. 0
295. 0
305. 2
315. 4
325. 1
335. 4
345. 5
355. 1
365. 1
375. 0
385. 3
395. 3
405. 4
415. 2
425. 4
435. 4
445. 1
455. 3
465. 1
475. 6
485. 4
495. 4
505. 6
515. 6
525. 4
535. 3
545. 3
555. 7
565. 9
575. 9
585. 5
595. 5
605. 5
615. 10
625. 6
635. 8
645. 9
655. 10
665. 10
675. 6
685. 13
695. 9
705. 9
715. 10
725. 10
735. 16
745. 16
755. 21
765. 13
775. 25
785. 16
795. 18
805. 18
815. 15
825. 23
835. 22
845. 21
855. 26
865. 22
875. 18
885. 27
895. 33
905. 27
915. 20
925. 30
935. 46
945. 45
955. 52
965. 40
975. 32
985. 52
995. 61
1005. 51
1015. 46
1025. 68
1035. 59
1045. 61
1055. 63
1065. 77
1075. 115
1085. 89
1095. 104
1105. 122
1115. 119
1125. 125
1135. 116
1145. 134
1155. 150
1165. 146
1175. 158
1185. 156
1195. 191
1205. 189
1215. 201
1225. 194
1235. 258
1245. 229
1255. 267
1265. 248
1275. 252
1285. 240
1295. 276
1305. 301
1315. 311
1325. 298
1335. 277
1345. 288
1355. 295
1365. 281
1375. 282
1385. 242
1395. 279
1405. 242
1415. 233
1425. 190
1435. 175
1445. 158
1455. 150
1465. 115
1475. 95
1485. 69
1495. 57
1505. 41
1515. 40
1525. 10
1535. 12
1545. 10
1555. 2
1565. 5
1575. 1
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0

197
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E17000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,197 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 0
35. 0
45. 0
55. 2
65. 1
75. 1
85. 1
95. 0
105. 1
115. 1
125. 1
135. 1
145. 1
155. 0
165. 1
175. 1
185. 1
195. 3
205. 3
215. 1
225. 0
235. 0
245. 1
255. 1
265. 2
275. 1
285. 2
295. 2
305. 3
315. 0
325. 4
335. 2
345. 2
355. 2
365. 2
375. 3
385. 3
395. 6
405. 2
415. 2
425. 3
435. 4
445. 4
455. 2
465. 2
475. 3
485. 2
495. 2
505. 4
515. 1
525. 3
535. 7
545. 3
555. 6
565. 4
575. 2
585. 3
595. 9
605. 6
615. 5
625. 4
635. 6
645. 6
655. 7
665. 6
675. 4
685. 6
695. 6
705. 9
715. 5
725. 9
735. 17
745. 6
755. 5
765. 9
775. 5
785. 7
795. 12
805. 15
815. 20
825. 15
835. 21
845. 18
855. 17
865. 14
875. 11
885. 13
895. 11
905. 17
915. 16
925. 22
935. 29
945. 21
955. 20
965. 22
975. 24
985. 27
995. 29
1005. 34
1015. 33
1025. 36
1035. 38
1045. 41
1055. 62
1065. 54
1075. 59
1085. 58
1095. 62
1105. 64
1115. 84
1125. 84
1135. 78
1145. 73
1155. 112
1165. 97
1175. 97
1185. 108
1195. 119
1205. 114
1215. 115
1225. 145
1235. 161
1245. 171
1255. 166
1265. 178
1275. 186
1285. 187
1295. 197
1305. 217
1315. 242
1325. 235
1335. 208
1345. 271
1355. 272
1365. 277
1375. 264
1385. 249
1395. 290
1405. 305
1415. 281
1425. 286
1435. 300
1445. 258
1455. 281
1465. 281
1475. 239
1485. 242
1495. 211
1505. 193
1515. 165
1525. 142
1535. 117
1545. 92
1555. 100
1565. 104
1575. 59
1585. 39
1595. 31
1605. 22
1615. 13
1625. 11
1635. 6
1645. 3
1655. 4
1665. 2
1675. 1
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0

210
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E18000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,210 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 1
35. 0
45. 1
55. 0
65. 1
75. 0
85. 0
95. 1
105. 3
115. 0
125. 0
135. 0
145. 0
155. 1
165. 0
175. 0
185. 1
195. 0
205. 0
215. 1
225. 2
235. 3
245. 0
255. 2
265. 1
275. 2
285. 2
295. 2
305. 2
315. 0
325. 1
335. 1
345. 1
355. 1
365. 1
375. 1
385. 0
395. 2
405. 5
415. 2
425. 1
435. 0
445. 3
455. 2
465. 1
475. 1
485. 0
495. 5
505. 4
515. 1
525. 3
535. 6
545. 1
555. 3
565. 4
575. 6
585. 4
595. 4
605. 5
615. 3
625. 2
635. 7
645. 4
655. 2
665. 3
675. 6
685. 6
695. 8
705. 4
715. 7
725. 8
735. 6
745. 8
755. 7
765. 8
775. 9
785. 13
795. 11
805. 7
815. 6
825. 17
835. 7
845. 15
855. 19
865. 14
875. 7
885. 16
895. 17
905. 10
915. 13
925. 14
935. 16
945. 10
955. 12
965. 13
975. 12
985. 19
995. 23
1005. 18
1015. 30
1025. 26
1035. 34
1045. 28
1055. 31
1065. 39
1075. 35
1085. 29
1095. 48
1105. 37
1115. 38
1125. 47
1135. 52
1145. 65
1155. 65
1165. 68
1175. 80
1185. 84
1195. 71
1205. 80
1215. 93
1225. 71
1235. 102
1245. 86
1255. 101
1265. 117
1275. 114
1285. 123
1295. 135
1305. 127
1315. 156
1325. 169
1335. 155
1345. 168
1355. 176
1365. 171
1375. 212
1385. 221
1395. 223
1405. 231
1415. 246
1425. 224
1435. 236
1445. 249
1455. 263
1465. 285
1475. 274
1485. 268
1495. 264
1505. 281
1515. 277
1525. 291
1535. 253
1545. 252
1555. 257
1565. 229
1575. 206
1585. 183
1595. 191
1605. 174
1615. 129
1625. 117
1635. 101
1645. 79
1655. 62
1665. 37
1675. 32
1685. 27
1695. 15
1705. 9
1715. 10
1725. 6
1735. 6
1745. 0
1755. 0
1765. 1
1775. 1
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0

214
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E19000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,214 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 1
35. 0
45. 1
55. 0
65. 1
75. 1
85. 0
95. 1
105. 0
115. 3
125. 0
135. 0
145. 0
155. 1
165. 1
175. 1
185. 1
195. 2
205. 2
215. 2
225. 1
235. 2
245. 3
255. 1
265. 3
275. 1
285. 2
295. 2
305. 1
315. 2
325. 2
335. 1
345. 2
355. 3
365. 1
375. 4
385. 1
395. 2
405. 1
415. 2
425. 2
435. 0
445. 4
455. 3
465. 1
475. 1
485. 4
495. 0
505. 3
515. 3
525. 6
535. 2
545. 3
555. 3
565. 3
575. 5
585. 1
595. 6
605. 3
615. 2
625. 2
635. 3
645. 2
655. 3
665. 6
675. 3
685. 9
695. 3
705. 6
715. 3
725. 7
735. 2
745. 7
755. 5
765. 4
775. 3
785. 10
795. 6
805. 3
815. 7
825. 9
835. 8
845. 7
855. 7
865. 11
875. 5
885. 11
895. 7
905. 11
915. 10
925. 12
935. 15
945. 7
955. 8
965. 14
975. 10
985. 21
995. 16
1005. 11
1015. 18
1025. 15
1035. 13
1045. 21
1055. 22
1065. 26
1075. 14
1085. 22
1095. 23
1105. 27
1115. 37
1125. 30
1135. 39
1145. 38
1155. 37
1165. 36
1175. 39
1185. 53
1195. 51
1205. 54
1215. 50
1225. 70
1235. 66
1245. 63
1255. 74
1265. 82
1275. 83
1285. 92
1295. 86
1305. 86
1315. 81
1325. 100
1335. 83
1345. 124
1355. 114
1365. 116
1375. 140
1385. 135
1395. 153
1405. 161
1415. 161
1425. 182
1435. 168
1445. 197
1455. 202
1465. 192
1475. 215
1485. 190
1495. 215
1505. 224
1515. 231
1525. 257
1535. 228
1545. 266
1555. 259
1565. 276
1575. 264
1585. 273
1595. 275
1605. 261
1615. 232
1625. 234
1635. 251
1645. 221
1655. 198
1665. 201
1675. 170
1685. 147
1695. 169
1705. 134
1715. 122
1725. 89
1735. 88
1745. 47
1755. 43
1765. 47
1775. 21
1785. 13
1795. 18
1805. 8
1815. 5
1825. 0
1835. 1
1845. 2
1855. 1
1865. 1
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0

66
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E2000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,66 @@
DEPTH PARTICLES
5. 18
15. 60
25. 74
35. 101
45. 90
55. 134
65. 142
75. 150
85. 159
95. 216
105. 196
115. 274
125. 255
135. 249
145. 313
155. 322
165. 368
175. 380
185. 390
195. 397
205. 410
215. 386
225. 456
235. 416
245. 394
255. 401
265. 391
275. 346
285. 328
295. 316
305. 247
315. 264
325. 198
335. 156
345. 154
355. 120
365. 84
375. 63
385. 30
395. 33
405. 18
415. 18
425. 12
435. 5
445. 4
455. 2
465. 0
475. 1
485. 0
495. 0
505. 0
515. 0
525. 0
535. 0
545. 0
555. 0
565. 0
575. 0
585. 0
595. 0
605. 0
615. 0
625. 0
635. 0
645. 0

225
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E20000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,225 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 0
35. 0
45. 1
55. 1
65. 0
75. 0
85. 0
95. 1
105. 1
115. 2
125. 0
135. 0
145. 0
155. 0
165. 1
175. 0
185. 0
195. 0
205. 0
215. 1
225. 1
235. 1
245. 0
255. 2
265. 0
275. 0
285. 1
295. 1
305. 1
315. 0
325. 4
335. 0
345. 0
355. 1
365. 2
375. 0
385. 1
395. 1
405. 1
415. 3
425. 0
435. 3
445. 2
455. 2
465. 1
475. 1
485. 3
495. 1
505. 3
515. 2
525. 1
535. 3
545. 3
555. 4
565. 2
575. 1
585. 4
595. 3
605. 1
615. 4
625. 3
635. 2
645. 1
655. 3
665. 2
675. 3
685. 2
695. 2
705. 3
715. 4
725. 4
735. 1
745. 2
755. 5
765. 3
775. 6
785. 4
795. 4
805. 7
815. 3
825. 9
835. 9
845. 4
855. 7
865. 7
875. 6
885. 4
895. 4
905. 6
915. 4
925. 7
935. 8
945. 13
955. 7
965. 10
975. 11
985. 16
995. 4
1005. 4
1015. 9
1025. 14
1035. 15
1045. 10
1055. 11
1065. 16
1075. 21
1085. 17
1095. 16
1105. 17
1115. 16
1125. 25
1135. 21
1145. 20
1155. 26
1165. 25
1175. 27
1185. 26
1195. 36
1205. 44
1215. 34
1225. 37
1235. 23
1245. 37
1255. 40
1265. 46
1275. 50
1285. 46
1295. 55
1305. 61
1315. 63
1325. 62
1335. 79
1345. 60
1355. 65
1365. 67
1375. 84
1385. 78
1395. 75
1405. 108
1415. 103
1425. 104
1435. 120
1445. 126
1455. 131
1465. 115
1475. 130
1485. 158
1495. 146
1505. 185
1515. 154
1525. 186
1535. 172
1545. 198
1555. 212
1565. 199
1575. 200
1585. 220
1595. 232
1605. 253
1615. 222
1625. 235
1635. 251
1645. 251
1655. 290
1665. 240
1675. 258
1685. 257
1695. 260
1705. 258
1715. 254
1725. 271
1735. 212
1745. 191
1755. 179
1765. 210
1775. 170
1785. 146
1795. 124
1805. 114
1815. 99
1825. 54
1835. 65
1845. 48
1855. 31
1865. 27
1875. 21
1885. 9
1895. 13
1905. 5
1915. 4
1925. 3
1935. 2
1945. 1
1955. 1
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0
2135. 0
2145. 0
2155. 0
2165. 0
2175. 0
2185. 0
2195. 0
2205. 0
2215. 0
2225. 0
2235. 0

233
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E21000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,233 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 0
35. 0
45. 0
55. 0
65. 1
75. 0
85. 1
95. 0
105. 1
115. 0
125. 0
135. 1
145. 0
155. 0
165. 0
175. 1
185. 1
195. 1
205. 0
215. 1
225. 1
235. 2
245. 2
255. 1
265. 0
275. 0
285. 3
295. 3
305. 0
315. 1
325. 0
335. 0
345. 0
355. 1
365. 1
375. 1
385. 0
395. 2
405. 0
415. 0
425. 0
435. 3
445. 1
455. 1
465. 3
475. 3
485. 2
495. 2
505. 3
515. 1
525. 0
535. 5
545. 4
555. 2
565. 2
575. 1
585. 4
595. 8
605. 3
615. 4
625. 2
635. 4
645. 1
655. 2
665. 0
675. 1
685. 1
695. 2
705. 3
715. 4
725. 4
735. 2
745. 2
755. 3
765. 0
775. 2
785. 7
795. 1
805. 4
815. 5
825. 4
835. 5
845. 3
855. 5
865. 4
875. 4
885. 2
895. 5
905. 5
915. 1
925. 4
935. 7
945. 1
955. 6
965. 6
975. 9
985. 2
995. 6
1005. 7
1015. 10
1025. 13
1035. 4
1045. 9
1055. 7
1065. 17
1075. 5
1085. 17
1095. 16
1105. 16
1115. 20
1125. 19
1135. 19
1145. 17
1155. 20
1165. 14
1175. 15
1185. 29
1195. 22
1205. 30
1215. 31
1225. 22
1235. 22
1245. 27
1255. 18
1265. 29
1275. 37
1285. 34
1295. 27
1305. 41
1315. 33
1325. 33
1335. 53
1345. 54
1355. 55
1365. 54
1375. 49
1385. 52
1395. 66
1405. 48
1415. 66
1425. 67
1435. 74
1445. 83
1455. 70
1465. 80
1475. 90
1485. 90
1495. 88
1505. 108
1515. 116
1525. 109
1535. 112
1545. 123
1555. 141
1565. 122
1575. 163
1585. 159
1595. 140
1605. 154
1615. 173
1625. 168
1635. 200
1645. 197
1655. 200
1665. 213
1675. 248
1685. 245
1695. 214
1705. 236
1715. 249
1725. 245
1735. 262
1745. 225
1755. 259
1765. 258
1775. 248
1785. 222
1795. 243
1805. 247
1815. 221
1825. 221
1835. 190
1845. 190
1855. 158
1865. 144
1875. 140
1885. 125
1895. 106
1905. 88
1915. 78
1925. 79
1935. 50
1945. 41
1955. 46
1965. 24
1975. 23
1985. 9
1995. 11
2005. 5
2015. 3
2025. 2
2035. 5
2045. 1
2055. 1
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0
2135. 0
2145. 0
2155. 0
2165. 0
2175. 0
2185. 0
2195. 0
2205. 0
2215. 0
2225. 0
2235. 0
2245. 0
2255. 0
2265. 0
2275. 0
2285. 0
2295. 0
2305. 0
2315. 0

243
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E22000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,243 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 2
35. 0
45. 0
55. 0
65. 1
75. 0
85. 0
95. 1
105. 0
115. 0
125. 1
135. 0
145. 0
155. 0
165. 0
175. 0
185. 1
195. 0
205. 1
215. 0
225. 1
235. 0
245. 0
255. 0
265. 0
275. 0
285. 1
295. 1
305. 1
315. 2
325. 0
335. 0
345. 2
355. 1
365. 3
375. 0
385. 0
395. 0
405. 0
415. 0
425. 0
435. 1
445. 0
455. 2
465. 2
475. 1
485. 1
495. 1
505. 0
515. 1
525. 1
535. 2
545. 0
555. 2
565. 2
575. 1
585. 1
595. 1
605. 2
615. 3
625. 2
635. 2
645. 4
655. 7
665. 1
675. 1
685. 2
695. 0
705. 1
715. 3
725. 3
735. 1
745. 1
755. 2
765. 3
775. 3
785. 3
795. 5
805. 5
815. 4
825. 1
835. 1
845. 3
855. 6
865. 4
875. 9
885. 3
895. 8
905. 2
915. 1
925. 5
935. 4
945. 5
955. 5
965. 4
975. 6
985. 7
995. 5
1005. 6
1015. 7
1025. 3
1035. 3
1045. 5
1055. 10
1065. 8
1075. 10
1085. 9
1095. 7
1105. 10
1115. 14
1125. 10
1135. 12
1145. 9
1155. 13
1165. 16
1175. 8
1185. 13
1195. 17
1205. 16
1215. 12
1225. 20
1235. 21
1245. 25
1255. 21
1265. 26
1275. 16
1285. 17
1295. 23
1305. 26
1315. 37
1325. 31
1335. 25
1345. 28
1355. 31
1365. 29
1375. 25
1385. 30
1395. 33
1405. 33
1415. 35
1425. 39
1435. 34
1445. 48
1455. 48
1465. 58
1475. 51
1485. 59
1495. 57
1505. 64
1515. 64
1525. 71
1535. 65
1545. 77
1555. 91
1565. 87
1575. 99
1585. 100
1595. 112
1605. 109
1615. 107
1625. 124
1635. 151
1645. 137
1655. 118
1665. 146
1675. 143
1685. 144
1695. 195
1705. 159
1715. 162
1725. 198
1735. 219
1745. 209
1755. 209
1765. 215
1775. 183
1785. 200
1795. 206
1805. 212
1815. 218
1825. 240
1835. 242
1845. 268
1855. 222
1865. 244
1875. 251
1885. 231
1895. 230
1905. 211
1915. 216
1925. 206
1935. 185
1945. 183
1955. 169
1965. 144
1975. 137
1985. 126
1995. 101
2005. 82
2015. 83
2025. 69
2035. 61
2045. 38
2055. 43
2065. 21
2075. 21
2085. 17
2095. 12
2105. 7
2115. 6
2125. 1
2135. 0
2145. 1
2155. 2
2165. 0
2175. 0
2185. 0
2195. 0
2205. 0
2215. 0
2225. 0
2235. 0
2245. 0
2255. 0
2265. 0
2275. 0
2285. 0
2295. 0
2305. 0
2315. 0
2325. 0
2335. 0
2345. 0
2355. 0
2365. 0
2375. 0
2385. 0
2395. 0
2405. 0
2415. 0

255
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E23000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,255 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 0
35. 1
45. 0
55. 0
65. 0
75. 0
85. 0
95. 1
105. 0
115. 1
125. 1
135. 0
145. 1
155. 0
165. 1
175. 0
185. 0
195. 1
205. 0
215. 0
225. 2
235. 0
245. 0
255. 0
265. 2
275. 0
285. 0
295. 1
305. 3
315. 1
325. 1
335. 1
345. 1
355. 1
365. 1
375. 1
385. 0
395. 1
405. 0
415. 0
425. 0
435. 1
445. 1
455. 0
465. 0
475. 1
485. 1
495. 0
505. 2
515. 2
525. 0
535. 1
545. 3
555. 1
565. 1
575. 1
585. 2
595. 0
605. 0
615. 1
625. 0
635. 3
645. 2
655. 2
665. 0
675. 2
685. 0
695. 4
705. 1
715. 3
725. 2
735. 1
745. 3
755. 2
765. 1
775. 1
785. 3
795. 3
805. 2
815. 6
825. 2
835. 3
845. 1
855. 6
865. 3
875. 3
885. 3
895. 7
905. 3
915. 6
925. 0
935. 7
945. 0
955. 7
965. 2
975. 5
985. 4
995. 1
1005. 2
1015. 3
1025. 8
1035. 6
1045. 5
1055. 2
1065. 4
1075. 9
1085. 6
1095. 13
1105. 7
1115. 6
1125. 9
1135. 10
1145. 5
1155. 11
1165. 10
1175. 10
1185. 13
1195. 15
1205. 15
1215. 11
1225. 7
1235. 8
1245. 17
1255. 21
1265. 17
1275. 8
1285. 15
1295. 13
1305. 17
1315. 13
1325. 14
1335. 21
1345. 11
1355. 17
1365. 25
1375. 17
1385. 32
1395. 18
1405. 23
1415. 20
1425. 23
1435. 22
1445. 36
1455. 25
1465. 25
1475. 36
1485. 52
1495. 26
1505. 47
1515. 38
1525. 42
1535. 52
1545. 43
1555. 52
1565. 68
1575. 56
1585. 65
1595. 56
1605. 68
1615. 65
1625. 77
1635. 69
1645. 81
1655. 84
1665. 61
1675. 103
1685. 112
1695. 99
1705. 103
1715. 109
1725. 131
1735. 124
1745. 125
1755. 153
1765. 118
1775. 154
1785. 128
1795. 155
1805. 159
1815. 163
1825. 174
1835. 179
1845. 198
1855. 176
1865. 221
1875. 198
1885. 242
1895. 214
1905. 209
1915. 222
1925. 231
1935. 228
1945. 243
1955. 230
1965. 227
1975. 246
1985. 231
1995. 211
2005. 223
2015. 223
2025. 222
2035. 209
2045. 193
2055. 160
2065. 159
2075. 140
2085. 139
2095. 100
2105. 85
2115. 85
2125. 74
2135. 60
2145. 57
2155. 35
2165. 27
2175. 19
2185. 12
2195. 7
2205. 2
2215. 4
2225. 3
2235. 1
2245. 1
2255. 1
2265. 0
2275. 0
2285. 0
2295. 0
2305. 0
2315. 0
2325. 0
2335. 0
2345. 0
2355. 0
2365. 0
2375. 0
2385. 0
2395. 0
2405. 0
2415. 0
2425. 0
2435. 0
2445. 0
2455. 0
2465. 0
2475. 0
2485. 0
2495. 0
2505. 0
2515. 0
2525. 0
2535. 0

264
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E24000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,264 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 0
35. 1
45. 0
55. 0
65. 0
75. 1
85. 1
95. 1
105. 0
115. 0
125. 0
135. 0
145. 0
155. 0
165. 2
175. 1
185. 0
195. 0
205. 0
215. 0
225. 2
235. 0
245. 0
255. 0
265. 0
275. 0
285. 0
295. 0
305. 1
315. 0
325. 2
335. 0
345. 1
355. 1
365. 0
375. 2
385. 0
395. 1
405. 0
415. 0
425. 1
435. 0
445. 0
455. 1
465. 1
475. 0
485. 0
495. 3
505. 0
515. 0
525. 0
535. 0
545. 0
555. 0
565. 1
575. 0
585. 1
595. 3
605. 2
615. 3
625. 1
635. 1
645. 1
655. 0
665. 0
675. 0
685. 0
695. 0
705. 0
715. 5
725. 1
735. 0
745. 2
755. 0
765. 4
775. 2
785. 3
795. 1
805. 0
815. 1
825. 6
835. 0
845. 1
855. 0
865. 0
875. 4
885. 2
895. 3
905. 1
915. 2
925. 4
935. 2
945. 5
955. 3
965. 2
975. 4
985. 2
995. 2
1005. 5
1015. 3
1025. 5
1035. 0
1045. 4
1055. 4
1065. 5
1075. 3
1085. 5
1095. 2
1105. 3
1115. 9
1125. 7
1135. 9
1145. 4
1155. 4
1165. 7
1175. 9
1185. 4
1195. 8
1205. 10
1215. 10
1225. 9
1235. 8
1245. 10
1255. 9
1265. 7
1275. 7
1285. 20
1295. 15
1305. 16
1315. 14
1325. 6
1335. 15
1345. 13
1355. 15
1365. 17
1375. 19
1385. 13
1395. 15
1405. 17
1415. 25
1425. 21
1435. 17
1445. 18
1455. 19
1465. 20
1475. 32
1485. 25
1495. 26
1505. 25
1515. 22
1525. 23
1535. 31
1545. 30
1555. 35
1565. 42
1575. 41
1585. 36
1595. 39
1605. 44
1615. 51
1625. 46
1635. 66
1645. 51
1655. 66
1665. 49
1675. 61
1685. 50
1695. 67
1705. 68
1715. 53
1725. 61
1735. 88
1745. 79
1755. 75
1765. 88
1775. 90
1785. 84
1795. 99
1805. 119
1815. 113
1825. 114
1835. 121
1845. 124
1855. 131
1865. 143
1875. 143
1885. 162
1895. 129
1905. 142
1915. 167
1925. 155
1935. 182
1945. 181
1955. 180
1965. 206
1975. 213
1985. 204
1995. 203
2005. 238
2015. 206
2025. 236
2035. 235
2045. 235
2055. 232
2065. 198
2075. 213
2085. 228
2095. 218
2105. 212
2115. 228
2125. 205
2135. 202
2145. 188
2155. 160
2165. 165
2175. 147
2185. 138
2195. 117
2205. 94
2215. 88
2225. 75
2235. 67
2245. 34
2255. 28
2265. 34
2275. 31
2285. 17
2295. 15
2305. 10
2315. 9
2325. 6
2335. 3
2345. 6
2355. 1
2365. 0
2375. 0
2385. 0
2395. 0
2405. 0
2415. 0
2425. 0
2435. 0
2445. 0
2455. 0
2465. 0
2475. 0
2485. 0
2495. 0
2505. 0
2515. 0
2525. 0
2535. 0
2545. 0
2555. 0
2565. 0
2575. 0
2585. 0
2595. 0
2605. 0
2615. 0
2625. 0

74
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E3000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,74 @@
DEPTH PARTICLES
5. 10
15. 21
25. 28
35. 30
45. 41
55. 49
65. 51
75. 43
85. 52
95. 79
105. 87
115. 95
125. 120
135. 120
145. 124
155. 121
165. 139
175. 159
185. 191
195. 211
205. 214
215. 250
225. 296
235. 296
245. 265
255. 304
265. 322
275. 359
285. 386
295. 378
305. 372
315. 382
325. 413
335. 413
345. 399
355. 357
365. 375
375. 346
385. 299
395. 287
405. 243
415. 209
425. 157
435. 164
445. 118
455. 86
465. 68
475. 54
485. 32
495. 26
505. 11
515. 14
525. 10
535. 8
545. 5
555. 0
565. 1
575. 0
585. 0
595. 0
605. 0
615. 0
625. 0
635. 0
645. 0
655. 0
665. 0
675. 0
685. 0
695. 0
705. 0
715. 0
725. 0

84
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E4000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,84 @@
DEPTH PARTICLES
5. 3
15. 10
25. 18
35. 17
45. 29
55. 25
65. 27
75. 25
85. 37
95. 35
105. 42
115. 41
125. 48
135. 43
145. 57
155. 60
165. 64
175. 78
185. 78
195. 106
205. 119
215. 102
225. 119
235. 123
245. 176
255. 179
265. 165
275. 183
285. 214
295. 221
305. 260
315. 248
325. 279
335. 279
345. 308
355. 337
365. 367
375. 363
385. 363
395. 375
405. 375
415. 386
425. 380
435. 396
445. 348
455. 298
465. 295
475. 284
485. 261
495. 236
505. 213
515. 157
525. 152
535. 122
545. 85
555. 69
565. 34
575. 32
585. 20
595. 17
605. 12
615. 3
625. 6
635. 4
645. 2
655. 0
665. 0
675. 0
685. 0
695. 0
705. 0
715. 0
725. 0
735. 0
745. 0
755. 0
765. 0
775. 0
785. 0
795. 0
805. 0
815. 0
825. 0

93
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E5000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,93 @@
DEPTH PARTICLES
5. 4
15. 7
25. 5
35. 13
45. 6
55. 14
65. 16
75. 11
85. 13
95. 28
105. 15
115. 17
125. 23
135. 43
145. 28
155. 26
165. 42
175. 39
185. 49
195. 45
205. 49
215. 62
225. 61
235. 66
245. 92
255. 84
265. 96
275. 112
285. 95
295. 108
305. 119
315. 157
325. 148
335. 163
345. 186
355. 172
365. 198
375. 218
385. 242
395. 251
405. 272
415. 302
425. 291
435. 333
445. 335
455. 338
465. 365
475. 393
485. 370
495. 343
505. 365
515. 357
525. 342
535. 332
545. 311
555. 287
565. 246
575. 231
585. 214
595. 135
605. 129
615. 124
625. 94
635. 60
645. 56
655. 44
665. 20
675. 14
685. 8
695. 9
705. 4
715. 1
725. 2
735. 1
745. 1
755. 0
765. 0
775. 0
785. 0
795. 0
805. 0
815. 0
825. 0
835. 0
845. 0
855. 0
865. 0
875. 0
885. 0
895. 0
905. 0
915. 0

100
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E6000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,100 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 4
25. 7
35. 8
45. 13
55. 3
65. 9
75. 11
85. 7
95. 14
105. 13
115. 18
125. 16
135. 19
145. 21
155. 22
165. 20
175. 21
185. 36
195. 26
205. 35
215. 41
225. 46
235. 47
245. 41
255. 52
265. 49
275. 54
285. 51
295. 71
305. 84
315. 92
325. 86
335. 112
345. 104
355. 97
365. 108
375. 141
385. 124
395. 164
405. 134
415. 184
425. 144
435. 194
445. 207
455. 223
465. 256
475. 238
485. 255
495. 265
505. 288
515. 298
525. 303
535. 315
545. 303
555. 328
565. 345
575. 341
585. 335
595. 335
605. 339
615. 313
625. 293
635. 281
645. 246
655. 253
665. 215
675. 168
685. 155
695. 103
705. 85
715. 72
725. 53
735. 51
745. 29
755. 20
765. 15
775. 6
785. 6
795. 4
805. 1
815. 1
825. 1
835. 0
845. 0
855. 0
865. 0
875. 0
885. 0
895. 0
905. 0
915. 0
925. 0
935. 0
945. 0
955. 0
965. 0
975. 0
985. 0

111
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E7000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,111 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 3
25. 4
35. 6
45. 5
55. 9
65. 9
75. 7
85. 11
95. 10
105. 11
115. 10
125. 12
135. 5
145. 15
155. 7
165. 13
175. 19
185. 19
195. 29
205. 14
215. 26
225. 18
235. 24
245. 23
255. 24
265. 29
275. 37
285. 31
295. 36
305. 40
315. 57
325. 45
335. 56
345. 64
355. 58
365. 83
375. 60
385. 81
395. 75
405. 79
415. 84
425. 91
435. 111
445. 127
455. 126
465. 176
475. 145
485. 146
495. 193
505. 169
515. 171
525. 196
535. 225
545. 245
555. 250
565. 271
575. 253
585. 248
595. 323
605. 290
615. 320
625. 316
635. 328
645. 343
655. 328
665. 349
675. 311
685. 305
695. 284
705. 281
715. 250
725. 239
735. 232
745. 215
755. 162
765. 155
775. 126
785. 101
795. 63
805. 57
815. 40
825. 23
835. 23
845. 11
855. 9
865. 12
875. 4
885. 4
895. 0
905. 1
915. 0
925. 0
935. 0
945. 0
955. 0
965. 0
975. 0
985. 0
995. 0
1005. 0
1015. 0
1025. 0
1035. 0
1045. 0
1055. 0
1065. 0
1075. 0
1085. 0
1095. 0

119
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E8000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,119 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 2
25. 3
35. 2
45. 5
55. 3
65. 6
75. 8
85. 6
95. 4
105. 5
115. 8
125. 4
135. 8
145. 8
155. 8
165. 9
175. 9
185. 11
195. 6
205. 7
215. 12
225. 15
235. 18
245. 13
255. 17
265. 21
275. 27
285. 21
295. 28
305. 32
315. 25
325. 37
335. 22
345. 37
355. 44
365. 44
375. 41
385. 52
395. 50
405. 65
415. 63
425. 47
435. 66
445. 63
455. 77
465. 75
475. 95
485. 114
495. 89
505. 146
515. 131
525. 122
535. 114
545. 144
555. 142
565. 150
575. 193
585. 172
595. 199
605. 215
615. 219
625. 192
635. 229
645. 226
655. 265
665. 269
675. 305
685. 305
695. 315
705. 297
715. 328
725. 341
735. 301
745. 328
755. 298
765. 295
775. 284
785. 280
795. 258
805. 218
815. 238
825. 185
835. 188
845. 124
855. 128
865. 102
875. 65
885. 51
895. 46
905. 29
915. 25
925. 14
935. 11
945. 2
955. 3
965. 3
975. 2
985. 0
995. 0
1005. 0
1015. 0
1025. 0
1035. 0
1045. 0
1055. 0
1065. 0
1075. 0
1085. 0
1095. 0
1105. 0
1115. 0
1125. 0
1135. 0
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0

130
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E9000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,130 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 1
35. 2
45. 3
55. 2
65. 2
75. 3
85. 5
95. 9
105. 3
115. 7
125. 3
135. 4
145. 8
155. 5
165. 4
175. 8
185. 8
195. 7
205. 7
215. 6
225. 9
235. 7
245. 16
255. 10
265. 21
275. 15
285. 11
295. 15
305. 12
315. 27
325. 19
335. 17
345. 22
355. 32
365. 19
375. 22
385. 34
395. 43
405. 43
415. 35
425. 24
435. 38
445. 33
455. 43
465. 51
475. 64
485. 45
495. 66
505. 74
515. 64
525. 77
535. 89
545. 96
555. 85
565. 98
575. 101
585. 117
595. 121
605. 126
615. 121
625. 142
635. 154
645. 153
655. 161
665. 181
675. 220
685. 211
695. 211
705. 239
715. 245
725. 239
735. 265
745. 254
755. 262
765. 312
775. 302
785. 315
795. 301
805. 298
815. 350
825. 282
835. 329
845. 253
855. 296
865. 269
875. 264
885. 223
895. 208
905. 178
915. 152
925. 153
935. 114
945. 90
955. 62
965. 61
975. 45
985. 24
995. 17
1005. 13
1015. 13
1025. 3
1035. 2
1045. 1
1055. 1
1065. 2
1075. 0
1085. 0
1095. 0
1105. 0
1115. 0
1125. 0
1135. 0
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0
1185. 0
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0

13
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/data/Si10_260K_Escan_100GTF_withDiaFrac.dat Executable file
View File

@ -0,0 +1,13 @@
dataT dataTErr dataB dataE dataTr dataRALRAR dataRATRAB dataSpinRot Asy AsyPosErr AsyNegErr Lambda LambdaPosErr LambdaNegErr Ph PhPosErr PhNegErr Field FieldPosErr FieldNegErr RelPh_L RelPh_LPosErr RelPh_LNegErr N0_L N0_LPosErr N0_LNegErr N_bkg_L N_bkg_LPosErr N_bkg_LNegErr RelPh_T RelPh_TPosErr RelPh_TNegErr N0_T N0_TPosErr N0_TNegErr N_bkg_T N_bkg_TPosErr N_bkg_TNegErr RelPh_R RelPh_RPosErr RelPh_RNegErr alpha_LR alpha_LRPosErr alpha_LRNegErr N_bkg_R N_bkg_RPosErr N_bkg_RNegErr RelPh_B RelPh_BPosErr RelPh_BNegErr alpha_TB alpha_TBPosErr alpha_TBNegErr N_bkg_B N_bkg_BPosErr N_bkg_BNegErr CHISQ NDF CHISQred RUN AsymCorrected AsymCorrectedErr AsymAg DiaFrac eDiaFrac
260.0000 0.0080 99.4220 3.9811 15.0030 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.1080 0.0017 0.0016 0.1220 0.0080 0.0078 23.4100 0.8600 0.8600 100.7990 0.0900 0.0900 0.0000 0.0000 0.0000 301.9700 0.4700 0.4700 4.3850 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 324.5600 0.4900 0.4900 4.6150 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.1134 0.0024 0.0024 5.3370 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9437 0.0021 0.0020 4.6280 0.0700 0.0700 3709.6001 3648.0000 1.0169 1151.0000 0.0871 0.0017 0.1770 0.4923 0.0096
260.0000 0.0090 99.4240 5.9798 15.0023 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.1142 0.0018 0.0018 0.1862 0.0095 0.0093 20.5200 0.8800 0.8800 101.2400 0.1100 0.1100 0.0000 0.0000 0.0000 301.3500 0.4700 0.4700 4.4690 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 322.4300 0.4900 0.4900 4.7600 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.1079 0.0024 0.0024 5.3200 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9508 0.0021 0.0021 4.5680 0.0700 0.0700 3554.3999 3648.0000 0.9743 1150.0000 0.1009 0.0018 0.1971 0.5120 0.0091
260.0000 0.0060 99.4250 7.9819 15.0026 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.1130 0.0018 0.0018 0.1707 0.0091 0.0089 21.8600 0.8700 0.8700 101.2900 0.1000 0.1000 0.0000 0.0000 0.0000 303.0800 0.4700 0.4800 4.3980 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 322.9100 0.4900 0.4800 4.7020 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.1027 0.0024 0.0024 5.2930 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9507 0.0021 0.0021 4.5450 0.0700 0.0700 3662.8000 3648.0000 1.0041 1149.0000 0.1022 0.0018 0.2072 0.4934 0.0087
260.0000 0.0060 99.4240 9.9805 15.0030 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.1153 0.0017 0.0017 0.1493 0.0083 0.0081 21.6000 0.8300 0.8300 101.3250 0.0920 0.0920 0.0000 0.0000 0.0000 303.7600 0.4800 0.4700 4.3970 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 321.5800 0.4900 0.4800 4.8000 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.0941 0.0024 0.0024 5.3280 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9561 0.0021 0.0021 4.6310 0.0700 0.0700 3716.6001 3648.0000 1.0188 1152.0000 0.1054 0.0017 0.2126 0.4956 0.0080
260.0000 0.0060 99.4250 10.9813 15.0024 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.1114 0.0017 0.0017 0.1392 0.0083 0.0082 18.2500 0.8500 0.8500 101.5710 0.0920 0.0920 0.0000 0.0000 0.0000 302.5900 0.4700 0.4700 4.5400 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 321.9600 0.4900 0.4900 4.9440 0.0720 0.0720 180.0000 0.0000 0.0000 1.1002 0.0024 0.0024 5.4940 0.0740 0.0740 90.0000 0.0000 0.0000 0.9525 0.0021 0.0021 4.7490 0.0700 0.0700 3614.8000 3648.0000 0.9909 1153.0000 0.1017 0.0017 0.2143 0.4743 0.0079
260.0000 0.0060 99.4250 11.9834 15.0024 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.1027 0.0016 0.0016 0.1183 0.0083 0.0081 18.2200 0.9000 0.9000 101.1080 0.0930 0.0930 0.0000 0.0000 0.0000 302.5000 0.4800 0.4800 4.5740 0.0700 0.0700 -90.0000 0.0000 0.0000 321.5700 0.4900 0.4900 4.8820 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.1014 0.0024 0.0024 5.4490 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9569 0.0021 0.0021 4.6530 0.0700 0.0700 3759.3999 3648.0000 1.0305 1154.0000 0.0931 0.0016 0.2156 0.4315 0.0074
260.0000 0.0080 99.4240 12.9803 15.0025 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.0954 0.0016 0.0016 0.0909 0.0080 0.0079 14.4700 0.9400 0.9400 101.1510 0.0910 0.0910 0.0000 0.0000 0.0000 303.2400 0.4700 0.4800 4.4000 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 321.3500 0.4900 0.4900 4.8710 0.0720 0.0720 180.0000 0.0000 0.0000 1.0991 0.0024 0.0024 5.2770 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9560 0.0021 0.0021 4.7920 0.0700 0.0700 3681.8999 3648.0000 1.0093 1155.0000 0.0858 0.0016 0.2166 0.3961 0.0074
260.0010 0.0050 99.4250 13.9946 15.0027 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.0830 0.0015 0.0015 0.0474 0.0077 0.0075 11.8000 1.0000 1.0000 101.1020 0.0890 0.0890 0.0000 0.0000 0.0000 303.5400 0.4700 0.4700 4.3940 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 322.4800 0.4900 0.4900 4.7190 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.1009 0.0024 0.0024 5.2670 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9574 0.0021 0.0021 4.5960 0.0700 0.0700 3511.6001 3648.0000 0.9626 1156.0000 0.0735 0.0015 0.2174 0.3378 0.0069
260.0000 0.0050 99.4250 14.9936 15.0027 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.0802 0.0016 0.0016 0.0419 0.0086 0.0084 7.6000 1.1000 1.1000 101.2880 0.0960 0.0960 0.0000 0.0000 0.0000 256.1900 0.4400 0.4300 3.7690 0.0630 0.0640 -90.0000 0.0000 0.0000 272.3500 0.4500 0.4500 3.9930 0.0650 0.0660 180.0000 0.0000 0.0000 1.1047 0.0026 0.0026 4.3960 0.0680 0.0670 90.0000 0.0000 0.0000 0.9598 0.0023 0.0023 3.9290 0.0640 0.0640 3713.0000 3648.0000 1.0178 1157.0000 0.0707 0.0016 0.2180 0.3242 0.0073
260.0000 0.0070 99.4250 15.9956 15.0030 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.0772 0.0014 0.0014 0.0306 0.0077 0.0076 3.1000 1.1000 1.1000 101.2550 0.0880 0.0880 0.0000 0.0000 0.0000 303.5800 0.4700 0.4700 4.1880 0.0680 0.0680 -90.0000 0.0000 0.0000 321.9600 0.4900 0.4900 4.6510 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.1020 0.0024 0.0024 4.8620 0.0720 0.0720 90.0000 0.0000 0.0000 0.9616 0.0021 0.0021 4.4080 0.0690 0.0690 3660.5000 3648.0000 1.0034 1158.0000 0.0677 0.0014 0.2185 0.3098 0.0064
260.0000 0.0060 99.4270 17.9965 15.0023 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.0707 0.0014 0.0014 0.0195 0.0081 0.0080 2.4000 1.1000 1.1000 101.2420 0.0920 0.0920 0.0000 0.0000 0.0000 301.9500 0.4700 0.4700 4.3630 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 320.2000 0.4800 0.4800 4.5140 0.0700 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.0976 0.0024 0.0024 5.2190 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9629 0.0021 0.0021 4.4640 0.0700 0.0690 3514.7000 3648.0000 0.9635 1159.0000 0.0612 0.0014 0.2191 0.2793 0.0064
260.0000 0.0090 99.4290 19.9949 15.0030 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.0680 0.0014 0.0014 0.0128 0.0082 0.0081 0.2000 1.2000 1.2000 101.1990 0.0940 0.0940 0.0000 0.0000 0.0000 301.9100 0.4700 0.4700 4.5250 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 321.2600 0.4900 0.4900 4.6440 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.1004 0.0024 0.0024 5.2590 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9587 0.0021 0.0021 4.7530 0.0700 0.0700 3527.5000 3648.0000 0.9670 1160.0000 0.0585 0.0014 0.2194 0.2666 0.0064

35
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/depth_profile_startup.xml Normal file
View File

@ -0,0 +1,35 @@
<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<nonlocal xmlns="http://nemu.web.psi.ch/musrfit/nonlocal">
<comment>
TrimSp information
</comment>
<trim_sp>
<data_path>./TRIMSP/</data_path>
<rge_fln_pre>Si10_2.0_E</rge_fln_pre>
<energy_list>
<energy>1000</energy>
<energy>2000</energy>
<energy>3000</energy>
<energy>4000</energy>
<energy>5000</energy>
<energy>6000</energy>
<energy>7000</energy>
<energy>8000</energy>
<energy>9000</energy>
<energy>10000</energy>
<energy>11000</energy>
<energy>12000</energy>
<energy>13000</energy>
<energy>14000</energy>
<energy>15000</energy>
<energy>16000</energy>
<energy>17000</energy>
<energy>17000</energy>
<energy>18000</energy>
<energy>19000</energy>
<energy>20000</energy>
<energy>21000</energy>
<energy>22000</energy>
</energy_list>
</trim_sp>
</nonlocal>