LMU/musrfit
5
0
Fork 0
Code Issues 6 Pull Requests Actions Packages Projects Releases 4 Activity

example files for depthProfile

Browse Source
This commit is contained in:
Maria Martins
2023-02-15 13:41:27 +01:00
committed by Andreas Suter
parent c34e711f37
commit 9fefa5b136
1313 changed files with 450166 additions and 11300 deletions
Download Patch File Download Diff File Expand all files Collapse all files

59
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E1000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,59 @@
DEPTH PARTICLES
5. 975
15. 2134
25. 2721
35. 3261
45. 3483
55. 3856
65. 4319
75. 4624
85. 4648
95. 4763
105. 5040
115. 4887
125. 4984
135. 4785
145. 4622
155. 4232
165. 4170
175. 3704
185. 3292
195. 3031
205. 2664
215. 2206
225. 1907
235. 1487
245. 1142
255. 896
265. 733
275. 527
285. 340
295. 270
305. 196
315. 125
325. 76
335. 49
345. 23
355. 15
365. 11
375. 4
385. 6
395. 2
405. 2
415. 0
425. 0
435. 0
445. 0
455. 0
465. 0
475. 0
485. 0
495. 0
505. 0
515. 0
525. 0
535. 0
545. 0
555. 0
565. 0
575. 0

134
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E10000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,134 @@
DEPTH PARTICLES
5. 6
15. 13
25. 14
35. 13
45. 17
55. 21
65. 29
75. 34
85. 28
95. 27
105. 29
115. 43
125. 45
135. 50
145. 53
155. 39
165. 54
175. 55
185. 60
195. 73
205. 71
215. 66
225. 78
235. 72
245. 77
255. 90
265. 93
275. 80
285. 107
295. 128
305. 113
315. 126
325. 120
335. 149
345. 123
355. 148
365. 152
375. 196
385. 176
395. 184
405. 196
415. 253
425. 254
435. 227
445. 270
455. 299
465. 335
475. 360
485. 372
495. 398
505. 382
515. 396
525. 465
535. 483
545. 532
555. 557
565. 626
575. 587
585. 672
595. 700
605. 780
615. 809
625. 833
635. 922
645. 972
655. 1092
665. 1118
675. 1145
685. 1240
695. 1385
705. 1626
715. 1688
725. 1757
735. 1890
745. 2059
755. 2198
765. 2309
775. 2406
785. 2551
795. 2617
805. 2854
815. 2942
825. 3052
835. 3157
845. 3229
855. 3211
865. 3364
875. 3278
885. 3224
895. 3208
905. 3147
915. 2933
925. 2778
935. 2679
945. 2494
955. 2155
965. 1874
975. 1615
985. 1277
995. 1045
1005. 1276
1015. 832
1025. 503
1035. 259
1045. 119
1055. 50
1065. 22
1075. 6
1085. 0
1095. 0
1105. 0
1115. 0
1125. 0
1135. 0
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0
1185. 0
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0

145
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E11000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,145 @@
DEPTH PARTICLES
5. 5
15. 4
25. 14
35. 13
45. 22
55. 24
65. 16
75. 26
85. 26
95. 25
105. 31
115. 33
125. 34
135. 25
145. 35
155. 37
165. 45
175. 39
185. 46
195. 48
205. 49
215. 44
225. 46
235. 61
245. 57
255. 60
265. 71
275. 67
285. 67
295. 85
305. 77
315. 72
325. 88
335. 77
345. 119
355. 102
365. 110
375. 132
385. 133
395. 143
405. 115
415. 136
425. 153
435. 168
445. 170
455. 182
465. 189
475. 186
485. 229
495. 235
505. 245
515. 275
525. 290
535. 305
545. 309
555. 299
565. 367
575. 389
585. 410
595. 413
605. 497
615. 461
625. 558
635. 603
645. 606
655. 661
665. 712
675. 768
685. 820
695. 827
705. 948
715. 1097
725. 1089
735. 1222
745. 1322
755. 1408
765. 1459
775. 1577
785. 1666
795. 1787
805. 1959
815. 1925
825. 2109
835. 2311
845. 2366
855. 2562
865. 2635
875. 2757
885. 2786
895. 2995
905. 2984
915. 2959
925. 3145
935. 3176
945. 3148
955. 3117
965. 3098
975. 2966
985. 2741
995. 2645
1005. 4038
1015. 3609
1025. 3047
1035. 2346
1045. 1706
1055. 1334
1065. 797
1075. 434
1085. 252
1095. 113
1105. 62
1115. 11
1125. 4
1135. 2
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0
1185. 0
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0

153
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E12000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,153 @@
DEPTH PARTICLES
5. 3
15. 5
25. 12
35. 2
45. 15
55. 14
65. 11
75. 12
85. 20
95. 23
105. 23
115. 29
125. 22
135. 19
145. 31
155. 38
165. 25
175. 41
185. 37
195. 27
205. 34
215. 34
225. 32
235. 45
245. 43
255. 49
265. 46
275. 43
285. 52
295. 50
305. 70
315. 71
325. 53
335. 58
345. 79
355. 60
365. 83
375. 78
385. 95
395. 75
405. 106
415. 100
425. 118
435. 119
445. 139
455. 126
465. 146
475. 144
485. 147
495. 149
505. 185
515. 145
525. 202
535. 197
545. 199
555. 250
565. 230
575. 266
585. 271
595. 253
605. 343
615. 313
625. 361
635. 330
645. 347
655. 390
665. 408
675. 471
685. 494
695. 516
705. 607
715. 684
725. 665
735. 713
745. 814
755. 817
765. 901
775. 947
785. 1072
795. 1065
805. 1185
815. 1238
825. 1346
835. 1417
845. 1538
855. 1683
865. 1774
875. 1872
885. 1965
895. 1990
905. 2142
915. 2292
925. 2367
935. 2551
945. 2552
955. 2668
965. 2753
975. 2832
985. 2758
995. 2822
1005. 4813
1015. 4811
1025. 4790
1035. 4656
1045. 4298
1055. 4009
1065. 3517
1075. 2963
1085. 2329
1095. 1697
1105. 1081
1115. 731
1125. 384
1135. 228
1145. 117
1155. 55
1165. 17
1175. 2
1185. 2
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0

163
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E13000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,163 @@
DEPTH PARTICLES
5. 4
15. 7
25. 13
35. 12
45. 18
55. 18
65. 14
75. 22
85. 12
95. 18
105. 24
115. 18
125. 15
135. 31
145. 11
155. 28
165. 25
175. 13
185. 33
195. 33
205. 37
215. 34
225. 36
235. 36
245. 27
255. 34
265. 38
275. 37
285. 39
295. 52
305. 34
315. 55
325. 47
335. 46
345. 52
355. 70
365. 56
375. 65
385. 64
395. 48
405. 67
415. 66
425. 72
435. 69
445. 79
455. 84
465. 89
475. 93
485. 113
495. 116
505. 120
515. 128
525. 129
535. 125
545. 150
555. 146
565. 168
575. 153
585. 169
595. 175
605. 195
615. 217
625. 193
635. 233
645. 247
655. 254
665. 279
675. 317
685. 288
695. 326
705. 368
715. 402
725. 466
735. 444
745. 498
755. 548
765. 551
775. 598
785. 672
795. 685
805. 770
815. 756
825. 871
835. 893
845. 941
855. 989
865. 1113
875. 1111
885. 1246
895. 1280
905. 1387
915. 1551
925. 1482
935. 1558
945. 1720
955. 1762
965. 1873
975. 1993
985. 2081
995. 2128
1005. 3823
1015. 3989
1025. 4227
1035. 4361
1045. 4594
1055. 4712
1065. 4732
1075. 4628
1085. 4617
1095. 4262
1105. 3894
1115. 3368
1125. 2849
1135. 2177
1145. 1673
1155. 1139
1165. 791
1175. 443
1185. 226
1195. 124
1205. 49
1215. 24
1225. 15
1235. 2
1245. 0
1255. 1
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0

169
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E14000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,169 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 6
25. 9
35. 10
45. 9
55. 11
65. 7
75. 7
85. 12
95. 14
105. 12
115. 21
125. 16
135. 16
145. 12
155. 23
165. 22
175. 15
185. 20
195. 20
205. 25
215. 21
225. 24
235. 23
245. 22
255. 24
265. 22
275. 24
285. 32
295. 37
305. 31
315. 40
325. 32
335. 33
345. 42
355. 48
365. 38
375. 51
385. 50
395. 38
405. 42
415. 36
425. 58
435. 73
445. 50
455. 60
465. 66
475. 76
485. 73
495. 83
505. 85
515. 81
525. 110
535. 83
545. 86
555. 85
565. 110
575. 122
585. 110
595. 113
605. 124
615. 154
625. 142
635. 151
645. 189
655. 181
665. 200
675. 164
685. 202
695. 215
705. 204
715. 244
725. 312
735. 306
745. 319
755. 374
765. 372
775. 396
785. 377
795. 450
805. 465
815. 513
825. 527
835. 545
845. 585
855. 662
865. 676
875. 713
885. 735
895. 829
905. 868
915. 903
925. 975
935. 1008
945. 1015
955. 1188
965. 1231
975. 1312
985. 1279
995. 1314
1005. 2598
1015. 2734
1025. 2953
1035. 3109
1045. 3417
1055. 3582
1065. 3873
1075. 4191
1085. 4401
1095. 4493
1105. 4630
1115. 4577
1125. 4559
1135. 4360
1145. 4174
1155. 3895
1165. 3275
1175. 2857
1185. 2306
1195. 1710
1205. 1181
1215. 868
1225. 466
1235. 265
1245. 142
1255. 63
1265. 21
1275. 7
1285. 3
1295. 1
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0

178
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E15000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,178 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 2
25. 3
35. 5
45. 7
55. 4
65. 11
75. 13
85. 18
95. 7
105. 13
115. 19
125. 13
135. 16
145. 20
155. 26
165. 23
175. 20
185. 16
195. 15
205. 11
215. 11
225. 13
235. 21
245. 13
255. 25
265. 28
275. 18
285. 22
295. 32
305. 33
315. 34
325. 24
335. 39
345. 36
355. 26
365. 34
375. 34
385. 30
395. 37
405. 35
415. 49
425. 47
435. 41
445. 49
455. 46
465. 48
475. 64
485. 48
495. 52
505. 75
515. 53
525. 71
535. 68
545. 73
555. 81
565. 68
575. 82
585. 63
595. 89
605. 85
615. 92
625. 107
635. 114
645. 106
655. 123
665. 134
675. 143
685. 144
695. 149
705. 157
715. 176
725. 172
735. 197
745. 220
755. 202
765. 251
775. 238
785. 292
795. 283
805. 284
815. 304
825. 338
835. 379
845. 379
855. 405
865. 422
875. 470
885. 458
895. 456
905. 548
915. 537
925. 581
935. 666
945. 659
955. 692
965. 726
975. 759
985. 828
995. 845
1005. 1644
1015. 1799
1025. 1859
1035. 2039
1045. 2200
1055. 2424
1065. 2637
1075. 2848
1085. 3060
1095. 3284
1105. 3472
1115. 3866
1125. 4055
1135. 4131
1145. 4320
1155. 4460
1165. 4603
1175. 4521
1185. 4418
1195. 4135
1205. 3773
1215. 3433
1225. 2923
1235. 2391
1245. 1814
1255. 1311
1265. 903
1275. 583
1285. 355
1295. 152
1305. 88
1315. 44
1325. 18
1335. 8
1345. 1
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0

186
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E16000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,186 @@
DEPTH PARTICLES
5. 2
15. 3
25. 4
35. 8
45. 7
55. 6
65. 6
75. 9
85. 9
95. 14
105. 16
115. 8
125. 6
135. 10
145. 16
155. 12
165. 12
175. 14
185. 10
195. 17
205. 24
215. 15
225. 14
235. 17
245. 18
255. 14
265. 16
275. 19
285. 17
295. 13
305. 19
315. 24
325. 12
335. 30
345. 16
355. 29
365. 27
375. 32
385. 28
395. 25
405. 32
415. 27
425. 29
435. 33
445. 35
455. 38
465. 35
475. 43
485. 36
495. 40
505. 53
515. 47
525. 43
535. 54
545. 62
555. 42
565. 45
575. 53
585. 66
595. 69
605. 72
615. 61
625. 75
635. 62
645. 78
655. 73
665. 80
675. 85
685. 97
695. 110
705. 110
715. 105
725. 129
735. 150
745. 153
755. 136
765. 174
775. 186
785. 165
795. 207
805. 205
815. 215
825. 226
835. 234
845. 271
855. 261
865. 275
875. 262
885. 287
895. 327
905. 347
915. 337
925. 370
935. 375
945. 399
955. 451
965. 425
975. 509
985. 502
995. 545
1005. 1031
1015. 1065
1025. 1151
1035. 1284
1045. 1358
1055. 1553
1065. 1673
1075. 1734
1085. 2064
1095. 2170
1105. 2302
1115. 2579
1125. 2777
1135. 3049
1145. 3183
1155. 3484
1165. 3701
1175. 3876
1185. 4036
1195. 4298
1205. 4238
1215. 4504
1225. 4400
1235. 4313
1245. 4109
1255. 3858
1265. 3576
1275. 2998
1285. 2518
1295. 2009
1305. 1484
1315. 1064
1325. 787
1335. 395
1345. 239
1355. 127
1365. 67
1375. 32
1385. 8
1395. 5
1405. 2
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0

196
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E17000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,196 @@
DEPTH PARTICLES
5. 2
15. 4
25. 6
35. 6
45. 7
55. 5
65. 6
75. 6
85. 6
95. 10
105. 6
115. 8
125. 11
135. 10
145. 4
155. 9
165. 8
175. 11
185. 19
195. 10
205. 9
215. 16
225. 13
235. 10
245. 11
255. 19
265. 10
275. 13
285. 15
295. 10
305. 18
315. 13
325. 16
335. 22
345. 20
355. 21
365. 25
375. 23
385. 23
395. 14
405. 28
415. 26
425. 13
435. 22
445. 24
455. 29
465. 25
475. 31
485. 32
495. 39
505. 37
515. 29
525. 44
535. 34
545. 32
555. 27
565. 40
575. 39
585. 48
595. 42
605. 51
615. 53
625. 54
635. 41
645. 52
655. 64
665. 78
675. 67
685. 59
695. 68
705. 81
715. 86
725. 114
735. 106
745. 93
755. 111
765. 114
775. 136
785. 123
795. 127
805. 127
815. 138
825. 153
835. 146
845. 163
855. 203
865. 196
875. 212
885. 187
895. 222
905. 230
915. 216
925. 250
935. 245
945. 280
955. 274
965. 290
975. 300
985. 362
995. 320
1005. 633
1015. 681
1025. 758
1035. 788
1045. 896
1055. 939
1065. 1008
1075. 1170
1085. 1285
1095. 1363
1105. 1544
1115. 1634
1125. 1737
1135. 1944
1145. 2083
1155. 2264
1165. 2495
1175. 2633
1185. 2859
1195. 3227
1205. 3363
1215. 3454
1225. 3684
1235. 3926
1245. 3979
1255. 4209
1265. 4333
1275. 4386
1285. 4255
1295. 4103
1305. 3880
1315. 3523
1325. 3255
1335. 2693
1345. 2172
1355. 1741
1365. 1290
1375. 909
1385. 554
1395. 333
1405. 221
1415. 117
1425. 58
1435. 20
1445. 14
1455. 1
1465. 0
1475. 1
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0

206
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E18000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,206 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 2
25. 4
35. 5
45. 2
55. 9
65. 6
75. 6
85. 6
95. 7
105. 5
115. 6
125. 7
135. 6
145. 16
155. 11
165. 9
175. 13
185. 10
195. 8
205. 5
215. 12
225. 12
235. 12
245. 13
255. 14
265. 16
275. 10
285. 9
295. 15
305. 14
315. 12
325. 11
335. 18
345. 13
355. 20
365. 9
375. 14
385. 12
395. 21
405. 24
415. 15
425. 19
435. 16
445. 30
455. 23
465. 20
475. 20
485. 37
495. 19
505. 27
515. 22
525. 29
535. 28
545. 23
555. 24
565. 32
575. 34
585. 33
595. 28
605. 41
615. 38
625. 42
635. 47
645. 38
655. 39
665. 39
675. 47
685. 45
695. 55
705. 69
715. 82
725. 77
735. 81
745. 64
755. 66
765. 68
775. 86
785. 68
795. 80
805. 96
815. 101
825. 104
835. 125
845. 128
855. 118
865. 121
875. 115
885. 133
895. 138
905. 119
915. 135
925. 187
935. 174
945. 196
955. 212
965. 214
975. 214
985. 234
995. 216
1005. 410
1015. 448
1025. 501
1035. 541
1045. 609
1055. 629
1065. 635
1075. 722
1085. 836
1095. 884
1105. 934
1115. 995
1125. 1130
1135. 1165
1145. 1376
1155. 1411
1165. 1568
1175. 1661
1185. 1874
1195. 1960
1205. 2210
1215. 2353
1225. 2478
1235. 2678
1245. 2898
1255. 3085
1265. 3352
1275. 3524
1285. 3797
1295. 3912
1305. 4052
1315. 4159
1325. 4205
1335. 4342
1345. 4019
1355. 3996
1365. 3669
1375. 3344
1385. 2917
1395. 2492
1405. 2048
1415. 1554
1425. 1189
1435. 819
1445. 533
1455. 307
1465. 211
1475. 78
1485. 38
1495. 24
1505. 6
1515. 1
1525. 2
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0

213
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E19000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,213 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 2
25. 4
35. 9
45. 2
55. 2
65. 6
75. 4
85. 7
95. 8
105. 6
115. 6
125. 8
135. 6
145. 9
155. 9
165. 10
175. 7
185. 3
195. 13
205. 13
215. 6
225. 8
235. 9
245. 16
255. 14
265. 9
275. 14
285. 10
295. 16
305. 7
315. 16
325. 15
335. 15
345. 10
355. 13
365. 13
375. 15
385. 14
395. 16
405. 12
415. 14
425. 15
435. 16
445. 14
455. 17
465. 18
475. 19
485. 23
495. 24
505. 21
515. 23
525. 22
535. 25
545. 15
555. 21
565. 22
575. 21
585. 29
595. 29
605. 30
615. 23
625. 36
635. 29
645. 31
655. 24
665. 27
675. 41
685. 48
695. 44
705. 35
715. 54
725. 49
735. 53
745. 44
755. 55
765. 42
775. 66
785. 62
795. 57
805. 72
815. 81
825. 77
835. 69
845. 83
855. 109
865. 93
875. 97
885. 112
895. 96
905. 121
915. 108
925. 120
935. 122
945. 129
955. 106
965. 143
975. 133
985. 183
995. 160
1005. 255
1015. 288
1025. 330
1035. 341
1045. 361
1055. 387
1065. 474
1075. 443
1085. 514
1095. 526
1105. 581
1115. 643
1125. 661
1135. 762
1145. 779
1155. 935
1165. 972
1175. 1064
1185. 1159
1195. 1282
1205. 1340
1215. 1574
1225. 1617
1235. 1805
1245. 1779
1255. 2012
1265. 2224
1275. 2310
1285. 2537
1295. 2785
1305. 2962
1315. 3071
1325. 3342
1335. 3534
1345. 3659
1355. 3909
1365. 3966
1375. 4020
1385. 4041
1395. 4060
1405. 3997
1415. 3835
1425. 3568
1435. 3191
1445. 2815
1455. 2478
1465. 2097
1475. 1505
1485. 1154
1495. 756
1505. 489
1515. 327
1525. 210
1535. 94
1545. 62
1555. 20
1565. 9
1575. 3
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0

70
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E2000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,70 @@
DEPTH PARTICLES
5. 199
15. 511
25. 703
35. 880
45. 932
55. 1166
65. 1341
75. 1486
85. 1674
95. 1898
105. 2052
115. 2400
125. 2564
135. 2779
145. 3080
155. 3228
165. 3516
175. 3555
185. 3865
195. 3896
205. 4109
215. 4308
225. 4364
235. 4320
245. 4292
255. 4157
265. 3960
275. 3700
285. 3369
295. 3108
305. 2628
315. 2369
325. 2009
335. 1637
345. 1363
355. 1079
365. 839
375. 676
385. 410
395. 339
405. 223
415. 134
425. 104
435. 51
445. 25
455. 23
465. 5
475. 8
485. 5
495. 1
505. 0
515. 0
525. 0
535. 0
545. 0
555. 0
565. 0
575. 0
585. 0
595. 0
605. 0
615. 0
625. 0
635. 0
645. 0
655. 0
665. 0
675. 0
685. 0

224
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E20000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,224 @@
DEPTH PARTICLES
5. 3
15. 0
25. 1
35. 3
45. 4
55. 5
65. 5
75. 3
85. 5
95. 8
105. 2
115. 7
125. 4
135. 8
145. 5
155. 8
165. 5
175. 6
185. 4
195. 5
205. 10
215. 5
225. 7
235. 5
245. 7
255. 5
265. 7
275. 9
285. 4
295. 15
305. 7
315. 8
325. 11
335. 8
345. 5
355. 14
365. 15
375. 21
385. 12
395. 10
405. 12
415. 12
425. 13
435. 19
445. 10
455. 15
465. 11
475. 11
485. 10
495. 19
505. 12
515. 12
525. 25
535. 22
545. 19
555. 17
565. 18
575. 24
585. 18
595. 18
605. 23
615. 17
625. 20
635. 35
645. 31
655. 26
665. 29
675. 18
685. 29
695. 24
705. 31
715. 30
725. 28
735. 46
745. 43
755. 46
765. 46
775. 45
785. 39
795. 50
805. 44
815. 56
825. 54
835. 54
845. 44
855. 53
865. 74
875. 64
885. 69
895. 71
905. 65
915. 67
925. 85
935. 95
945. 73
955. 92
965. 101
975. 107
985. 94
995. 112
1005. 181
1015. 195
1025. 222
1035. 225
1045. 263
1055. 272
1065. 310
1075. 304
1085. 361
1095. 374
1105. 396
1115. 411
1125. 454
1135. 495
1145. 568
1155. 599
1165. 632
1175. 659
1185. 743
1195. 775
1205. 858
1215. 949
1225. 980
1235. 1072
1245. 1173
1255. 1261
1265. 1471
1275. 1508
1285. 1606
1295. 1787
1305. 1946
1315. 2081
1325. 2215
1335. 2407
1345. 2573
1355. 2697
1365. 3017
1375. 3141
1385. 3239
1395. 3486
1405. 3588
1415. 3803
1425. 3792
1435. 3938
1445. 3961
1455. 3928
1465. 3888
1475. 3652
1485. 3416
1495. 3100
1505. 2857
1515. 2376
1525. 1949
1535. 1531
1545. 1116
1555. 887
1565. 555
1575. 355
1585. 226
1595. 99
1605. 53
1615. 26
1625. 13
1635. 6
1645. 1
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0
2135. 0
2145. 0
2155. 0
2165. 0
2175. 0
2185. 0
2195. 0
2205. 0
2215. 0
2225. 0

235
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E21000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,235 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 2
25. 3
35. 0
45. 1
55. 4
65. 4
75. 2
85. 5
95. 7
105. 6
115. 4
125. 5
135. 11
145. 9
155. 7
165. 6
175. 2
185. 8
195. 2
205. 9
215. 8
225. 9
235. 5
245. 7
255. 7
265. 9
275. 7
285. 7
295. 3
305. 9
315. 11
325. 6
335. 14
345. 8
355. 11
365. 7
375. 12
385. 7
395. 4
405. 7
415. 15
425. 12
435. 9
445. 10
455. 7
465. 16
475. 11
485. 10
495. 6
505. 18
515. 16
525. 15
535. 15
545. 19
555. 18
565. 21
575. 14
585. 23
595. 16
605. 10
615. 16
625. 14
635. 23
645. 17
655. 20
665. 13
675. 31
685. 13
695. 21
705. 28
715. 27
725. 34
735. 19
745. 33
755. 29
765. 27
775. 29
785. 31
795. 42
805. 40
815. 37
825. 51
835. 43
845. 50
855. 43
865. 48
875. 59
885. 46
895. 53
905. 54
915. 50
925. 58
935. 52
945. 67
955. 67
965. 69
975. 80
985. 83
995. 70
1005. 157
1015. 151
1025. 171
1035. 124
1045. 170
1055. 184
1065. 167
1075. 220
1085. 250
1095. 234
1105. 255
1115. 274
1125. 304
1135. 359
1145. 352
1155. 383
1165. 372
1175. 394
1185. 457
1195. 477
1205. 522
1215. 591
1225. 650
1235. 678
1245. 774
1255. 805
1265. 818
1275. 937
1285. 977
1295. 1136
1305. 1142
1315. 1243
1325. 1373
1335. 1470
1345. 1569
1355. 1711
1365. 1869
1375. 2060
1385. 2182
1395. 2429
1405. 2530
1415. 2723
1425. 2893
1435. 3043
1445. 3226
1455. 3342
1465. 3503
1475. 3648
1485. 3665
1495. 3900
1505. 3971
1515. 3822
1525. 3741
1535. 3705
1545. 3427
1555. 3152
1565. 2811
1575. 2455
1585. 2142
1595. 1676
1605. 1223
1615. 938
1625. 683
1635. 430
1645. 287
1655. 153
1665. 100
1675. 34
1685. 25
1695. 7
1705. 6
1715. 2
1725. 1
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0
2135. 0
2145. 0
2155. 0
2165. 0
2175. 0
2185. 0
2195. 0
2205. 0
2215. 0
2225. 0
2235. 0
2245. 0
2255. 0
2265. 0
2275. 0
2285. 0
2295. 0
2305. 0
2315. 0
2325. 0
2335. 0

245
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E22000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,245 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 1
25. 2
35. 7
45. 3
55. 6
65. 1
75. 3
85. 2
95. 5
105. 7
115. 7
125. 1
135. 2
145. 2
155. 6
165. 4
175. 2
185. 5
195. 5
205. 6
215. 12
225. 2
235. 8
245. 10
255. 3
265. 8
275. 2
285. 4
295. 5
305. 10
315. 8
325. 3
335. 2
345. 5
355. 5
365. 5
375. 6
385. 8
395. 7
405. 8
415. 15
425. 9
435. 6
445. 13
455. 13
465. 12
475. 8
485. 6
495. 11
505. 7
515. 16
525. 18
535. 9
545. 11
555. 10
565. 20
575. 9
585. 13
595. 9
605. 20
615. 18
625. 15
635. 21
645. 13
655. 21
665. 20
675. 13
685. 18
695. 19
705. 16
715. 28
725. 23
735. 21
745. 25
755. 23
765. 27
775. 25
785. 20
795. 21
805. 28
815. 29
825. 30
835. 47
845. 36
855. 36
865. 43
875. 29
885. 30
895. 40
905. 38
915. 43
925. 46
935. 39
945. 43
955. 64
965. 59
975. 45
985. 51
995. 47
1005. 94
1015. 90
1025. 106
1035. 97
1045. 128
1055. 145
1065. 136
1075. 141
1085. 150
1095. 141
1105. 194
1115. 183
1125. 214
1135. 233
1145. 218
1155. 254
1165. 263
1175. 307
1185. 323
1195. 343
1205. 327
1215. 368
1225. 392
1235. 452
1245. 515
1255. 565
1265. 540
1275. 560
1285. 658
1295. 693
1305. 761
1315. 858
1325. 845
1335. 971
1345. 1048
1355. 1067
1365. 1137
1375. 1285
1385. 1314
1395. 1452
1405. 1543
1415. 1717
1425. 1805
1435. 2068
1445. 2216
1455. 2345
1465. 2459
1475. 2603
1485. 2916
1495. 2821
1505. 3128
1515. 3333
1525. 3447
1535. 3547
1545. 3639
1555. 3723
1565. 3828
1575. 3777
1585. 3690
1595. 3540
1605. 3388
1615. 3235
1625. 2873
1635. 2512
1645. 2161
1655. 1735
1665. 1402
1675. 1056
1685. 760
1695. 511
1705. 334
1715. 197
1725. 123
1735. 72
1745. 35
1755. 12
1765. 5
1775. 5
1785. 3
1795. 0
1805. 1
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0
2135. 0
2145. 0
2155. 0
2165. 0
2175. 0
2185. 0
2195. 0
2205. 0
2215. 0
2225. 0
2235. 0
2245. 0
2255. 0
2265. 0
2275. 0
2285. 0
2295. 0
2305. 0
2315. 0
2325. 0
2335. 0
2345. 0
2355. 0
2365. 0
2375. 0
2385. 0
2395. 0
2405. 0
2415. 0
2425. 0
2435. 0

77
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E3000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,77 @@
DEPTH PARTICLES
5. 76
15. 208
25. 266
35. 335
45. 412
55. 430
65. 526
75. 557
85. 670
95. 797
105. 843
115. 953
125. 1018
135. 1173
145. 1309
155. 1414
165. 1491
175. 1616
185. 1808
195. 2087
205. 2222
215. 2435
225. 2668
235. 2867
245. 2987
255. 3078
265. 3438
275. 3466
285. 3693
295. 3862
305. 3861
315. 3986
325. 4040
335. 4028
345. 3894
355. 3764
365. 3618
375. 3309
385. 3131
395. 2817
405. 2454
415. 2073
425. 1727
435. 1496
445. 1195
455. 866
465. 692
475. 505
485. 320
495. 237
505. 170
515. 111
525. 54
535. 35
545. 19
555. 6
565. 4
575. 6
585. 0
595. 0
605. 2
615. 0
625. 0
635. 0
645. 0
655. 0
665. 0
675. 0
685. 0
695. 0
705. 0
715. 0
725. 0
735. 0
745. 0
755. 0

86
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E4000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,86 @@
DEPTH PARTICLES
5. 44
15. 119
25. 153
35. 163
45. 233
55. 247
65. 274
75. 287
85. 336
95. 379
105. 437
115. 492
125. 484
135. 521
145. 667
155. 644
165. 753
175. 810
185. 909
195. 1000
205. 1129
215. 1165
225. 1295
235. 1376
245. 1607
255. 1626
265. 1775
275. 1924
285. 2074
295. 2222
305. 2385
315. 2591
325. 2704
335. 2958
345. 3150
355. 3280
365. 3467
375. 3440
385. 3580
395. 3666
405. 3786
415. 3727
425. 3780
435. 3698
445. 3496
455. 3389
465. 3144
475. 2794
485. 2587
495. 2324
505. 2008
515. 1673
525. 1317
535. 1097
545. 862
555. 610
565. 419
575. 343
585. 225
595. 147
605. 89
615. 56
625. 38
635. 14
645. 5
655. 6
665. 2
675. 2
685. 0
695. 0
705. 0
715. 0
725. 0
735. 0
745. 0
755. 0
765. 0
775. 0
785. 0
795. 0
805. 0
815. 0
825. 0
835. 0
845. 0

94
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E5000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,94 @@
DEPTH PARTICLES
5. 20
15. 80
25. 100
35. 123
45. 120
55. 179
65. 197
75. 189
85. 207
95. 211
105. 245
115. 274
125. 301
135. 308
145. 338
155. 380
165. 382
175. 427
185. 424
195. 513
205. 558
215. 620
225. 668
235. 728
245. 800
255. 860
265. 941
275. 1037
285. 1127
295. 1243
305. 1244
315. 1442
325. 1507
335. 1604
345. 1728
355. 1867
365. 2059
375. 2225
385. 2274
395. 2470
405. 2595
415. 2873
425. 2945
435. 3134
445. 3301
455. 3425
465. 3479
475. 3532
485. 3568
495. 3529
505. 3517
515. 3511
525. 3457
535. 3266
545. 3100
555. 2892
565. 2499
575. 2348
585. 2017
595. 1735
605. 1448
615. 1144
625. 910
635. 738
645. 517
655. 358
665. 229
675. 162
685. 120
695. 67
705. 48
715. 28
725. 6
735. 5
745. 4
755. 2
765. 0
775. 0
785. 0
795. 0
805. 0
815. 0
825. 0
835. 0
845. 0
855. 0
865. 0
875. 0
885. 0
895. 0
905. 0
915. 0
925. 0

102
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E6000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,102 @@
DEPTH PARTICLES
5. 20
15. 55
25. 50
35. 73
45. 85
55. 93
65. 92
75. 112
85. 106
95. 141
105. 147
115. 177
125. 173
135. 186
145. 207
155. 213
165. 231
175. 268
185. 262
195. 318
205. 355
215. 346
225. 397
235. 426
245. 438
255. 489
265. 571
275. 582
285. 633
295. 685
305. 748
315. 785
325. 876
335. 876
345. 980
355. 1062
365. 1201
375. 1229
385. 1308
395. 1421
405. 1579
415. 1617
425. 1804
435. 1871
445. 2006
455. 2173
465. 2303
475. 2395
485. 2573
495. 2779
505. 2830
515. 3023
525. 3093
535. 3101
545. 3222
555. 3435
565. 3388
575. 3462
585. 3311
595. 3407
605. 3377
615. 3118
625. 2973
635. 2885
645. 2649
655. 2283
665. 2052
675. 1788
685. 1332
695. 1213
705. 1048
715. 752
725. 569
735. 383
745. 248
755. 168
765. 96
775. 65
785. 35
795. 10
805. 5
815. 2
825. 2
835. 0
845. 1
855. 0
865. 0
875. 0
885. 0
895. 0
905. 0
915. 0
925. 0
935. 0
945. 0
955. 0
965. 0
975. 0
985. 0
995. 0
1005. 0

112
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E7000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,112 @@
DEPTH PARTICLES
5. 13
15. 30
25. 43
35. 51
45. 62
55. 54
65. 48
75. 61
85. 100
95. 80
105. 92
115. 97
125. 115
135. 128
145. 137
155. 144
165. 166
175. 140
185. 196
195. 202
205. 179
215. 194
225. 247
235. 242
245. 295
255. 299
265. 316
275. 328
285. 360
295. 364
305. 445
315. 441
325. 516
335. 521
345. 563
355. 610
365. 623
375. 737
385. 758
395. 819
405. 851
415. 1008
425. 1074
435. 1114
445. 1177
455. 1319
465. 1400
475. 1513
485. 1572
495. 1701
505. 1742
515. 1960
525. 2001
535. 2168
545. 2277
555. 2433
565. 2605
575. 2701
585. 2875
595. 2838
605. 3080
615. 3187
625. 3180
635. 3165
645. 3218
655. 3344
665. 3246
675. 3087
685. 3067
695. 2908
705. 3299
715. 2921
725. 2718
735. 2434
745. 1997
755. 1830
765. 1394
775. 1087
785. 887
795. 625
805. 444
815. 316
825. 220
835. 118
845. 60
855. 31
865. 22
875. 12
885. 4
895. 3
905. 0
915. 0
925. 0
935. 0
945. 0
955. 0
965. 0
975. 0
985. 0
995. 0
1005. 0
1015. 0
1025. 0
1035. 0
1045. 0
1055. 0
1065. 0
1075. 0
1085. 0
1095. 0
1105. 0

119
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E8000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,119 @@
DEPTH PARTICLES
5. 13
15. 18
25. 38
35. 39
45. 40
55. 45
65. 54
75. 61
85. 62
95. 77
105. 66
115. 71
125. 72
135. 96
145. 90
155. 84
165. 111
175. 96
185. 113
195. 135
205. 124
215. 134
225. 150
235. 188
245. 148
255. 185
265. 197
275. 214
285. 242
295. 233
305. 259
315. 287
325. 297
335. 309
345. 323
355. 374
365. 411
375. 409
385. 436
395. 528
405. 518
415. 594
425. 592
435. 612
445. 725
455. 799
465. 806
475. 908
485. 944
495. 965
505. 1038
515. 1170
525. 1234
535. 1331
545. 1432
555. 1580
565. 1552
575. 1746
585. 1784
595. 1971
605. 2011
615. 2173
625. 2323
635. 2407
645. 2531
655. 2659
665. 2672
675. 2883
685. 2938
695. 3059
705. 3419
715. 3496
725. 3536
735. 3527
745. 3428
755. 3304
765. 3267
775. 3113
785. 2915
795. 2672
805. 2373
815. 2039
825. 1694
835. 1392
845. 1192
855. 956
865. 674
875. 515
885. 307
895. 279
905. 130
915. 99
925. 51
935. 31
945. 10
955. 6
965. 4
975. 2
985. 0
995. 0
1005. 0
1015. 0
1025. 0
1035. 0
1045. 0
1055. 0
1065. 0
1075. 0
1085. 0
1095. 0
1105. 0
1115. 0
1125. 0
1135. 0
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0

128
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E9000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,128 @@
DEPTH PARTICLES
5. 6
15. 20
25. 24
35. 23
45. 29
55. 26
65. 39
75. 43
85. 39
95. 35
105. 46
115. 47
125. 62
135. 58
145. 55
155. 60
165. 63
175. 80
185. 71
195. 86
205. 75
215. 107
225. 101
235. 114
245. 106
255. 133
265. 119
275. 147
285. 150
295. 177
305. 191
315. 179
325. 175
335. 210
345. 234
355. 205
365. 271
375. 254
385. 270
395. 331
405. 314
415. 354
425. 385
435. 438
445. 424
455. 466
465. 480
475. 550
485. 588
495. 621
505. 640
515. 713
525. 775
535. 799
545. 835
555. 925
565. 927
575. 1055
585. 1098
595. 1145
605. 1264
615. 1399
625. 1436
635. 1424
645. 1655
655. 1655
665. 1882
675. 1877
685. 2067
695. 2117
705. 2482
715. 2516
725. 2676
735. 2827
745. 3007
755. 3151
765. 3268
775. 3315
785. 3325
795. 3408
805. 3363
815. 3382
825. 3454
835. 3102
845. 2999
855. 2863
865. 2649
875. 2393
885. 2180
895. 1846
905. 1552
915. 1257
925. 1028
935. 787
945. 559
955. 416
965. 267
975. 194
985. 114
995. 69
1005. 47
1015. 20
1025. 5
1035. 2
1045. 0
1055. 0
1065. 0
1075. 0
1085. 0
1095. 0
1105. 0
1115. 0
1125. 0
1135. 0
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0
1185. 0
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0