LMU/musrfit
LMU/musrfit
5
0
Fork 0
Code Issues 6 Pull Requests Actions Packages Projects Releases 3 Activity

Merge remote-tracking branch 'origin/depthProf' into root6

Browse Source
This commit is contained in:
suter_a 2023-02-17 07:39:17 +01:00
commit 9e88ddb989
172 changed files with 18799 additions and 20 deletions
Show Stats Download Patch File Download Diff File Expand all files Collapse all files

BIN
.DS_Store vendored Normal file
View File

Binary file not shown.

BIN
doc/.DS_Store vendored Normal file
View File

Binary file not shown.

BIN
doc/examples/.DS_Store vendored Normal file
View File

Binary file not shown.

BIN
doc/examples/ASlibs/.DS_Store vendored Normal file
View File

Binary file not shown.

BIN
doc/examples/DepthProfiles/.DS_Store vendored Normal file
View File

Binary file not shown.

57
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/1300Ar_5G_260K_asym.msr Normal file
View File

@ -0,0 +1,57 @@
n/a
###############################################################
FITPARAMETER
# Nr. Name Value Step Pos_Error Boundaries
1 f1 0.1531 0.0078 none
2 f2 0.04051 0.00021 none
3 f3 0.00447 0.00054 none
4 x1 39.7 6.4 none
5 x2 103.8 4.8 none
###############################################################
THEORY
userFcn libPDepthProfile PDepthProfile 1 2 3 4 5
###############################################################
RUN data/1300Ar_PECVD_Escan_260K_5G_withDiaFrac MUE4 PSI DAT (name beamline institute data-file-format)
fittype 8 (non muSR fit)
map 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
xy-data dataE AsymCorrected
fit 1 25
packing 1
###############################################################
COMMANDS
MINIMIZE
#HESSE
MINOS
SAVE
###############################################################
PLOT 8 (non muSR plot)
runs 1
range 0 25
###############################################################
STATISTIC --- 2023-02-16 15:19:15
chisq = 28.6, NDF = 10, chisq/NDF = 2.856386

57
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/1300Ar_5G_260K_diaFrac.msr Normal file
View File

@ -0,0 +1,57 @@
n/a
###############################################################
FITPARAMETER
# Nr. Name Value Step Pos_Error Boundaries
1 f1 0.379 -0.014 0.014
2 f2 0.1866 -0.0034 0.0034
3 f3 0.0201 -0.0024 0.0024
4 x1 55.9 1.1 none
5 x2 103.80 0.19 none
###############################################################
THEORY
userFcn libPDepthProfile PDepthProfile 1 2 3 4 5
###############################################################
RUN data/1300Ar_PECVD_Escan_260K_5G_withDiaFrac MUE4 PSI DAT (name beamline institute data-file-format)
fittype 8 (non muSR fit)
map 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
xy-data dataE DiaFrac
fit 1 25
packing 1
###############################################################
COMMANDS
MINIMIZE
#HESSE
MINOS
SAVE
###############################################################
PLOT 8 (non muSR plot)
runs 1
range 0 25
###############################################################
STATISTIC --- 2023-02-16 15:20:11
chisq = 28.3, NDF = 10, chisq/NDF = 2.831612

BIN
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC1300x.png Normal file
View File

Binary file not shown.
Side by Side

After

Width:  |  Height:  |  Size: 34 KiB

BIN
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC1300x_fraction.png Normal file
View File

Binary file not shown.
Side by Side

After

Width:  |  Height:  |  Size: 14 KiB

55
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E1000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,55 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1085
15. 2257
25. 2936
35. 3431
45. 3826
55. 4232
65. 4472
75. 4777
85. 4907
95. 5151
105. 5117
115. 5205
125. 5038
135. 4803
145. 4568
155. 4366
165. 3973
175. 3570
185. 3174
195. 2766
205. 2294
215. 1932
225. 1520
235. 1279
245. 950
255. 737
265. 503
275. 374
285. 243
295. 181
305. 126
315. 75
325. 45
335. 27
345. 15
355. 8
365. 2
375. 2
385. 0
395. 0
405. 0
415. 0
425. 0
435. 0
445. 0
455. 0
465. 0
475. 0
485. 0
495. 0
505. 0
515. 0
525. 0
535. 0

128
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E10000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,128 @@
DEPTH PARTICLES
5. 7
15. 12
25. 20
35. 19
45. 23
55. 38
65. 23
75. 29
85. 33
95. 34
105. 33
115. 48
125. 38
135. 64
145. 47
155. 60
165. 48
175. 58
185. 65
195. 83
205. 80
215. 72
225. 74
235. 84
245. 87
255. 108
265. 90
275. 115
285. 126
295. 104
305. 163
315. 153
325. 150
335. 158
345. 142
355. 195
365. 204
375. 183
385. 208
395. 211
405. 251
415. 245
425. 291
435. 294
445. 340
455. 338
465. 382
475. 398
485. 420
495. 475
505. 480
515. 505
525. 578
535. 637
545. 677
555. 752
565. 746
575. 816
585. 879
595. 1020
605. 1000
615. 1153
625. 1192
635. 1417
645. 1402
655. 1478
665. 1644
675. 1717
685. 1749
695. 1958
705. 2029
715. 2156
725. 2277
735. 2460
745. 2549
755. 2666
765. 2914
775. 2952
785. 3034
795. 3217
805. 3201
815. 3337
825. 3326
835. 3339
845. 3243
855. 3202
865. 3113
875. 3013
885. 2849
895. 2628
905. 2448
915. 2155
925. 1858
935. 1584
945. 1306
955. 1036
965. 854
975. 626
985. 437
995. 324
1005. 307
1015. 165
1025. 77
1035. 27
1045. 5
1055. 2
1065. 0
1075. 0
1085. 0
1095. 0
1105. 0
1115. 0
1125. 0
1135. 0
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0
1185. 0
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0

137
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E11000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,137 @@
DEPTH PARTICLES
5. 5
15. 5
25. 15
35. 15
45. 28
55. 23
65. 23
75. 27
85. 21
95. 37
105. 24
115. 29
125. 28
135. 44
145. 48
155. 46
165. 44
175. 45
185. 50
195. 53
205. 48
215. 59
225. 67
235. 51
245. 73
255. 85
265. 67
275. 79
285. 73
295. 95
305. 84
315. 88
325. 101
335. 107
345. 100
355. 126
365. 144
375. 120
385. 171
395. 146
405. 147
415. 175
425. 184
435. 205
445. 232
455. 238
465. 218
475. 237
485. 265
495. 279
505. 322
515. 334
525. 380
535. 426
545. 443
555. 424
565. 497
575. 544
585. 561
595. 561
605. 693
615. 714
625. 740
635. 832
645. 864
655. 924
665. 1018
675. 1108
685. 1094
695. 1197
705. 1264
715. 1357
725. 1570
735. 1600
745. 1650
755. 1817
765. 1924
775. 1936
785. 2128
795. 2243
805. 2346
815. 2541
825. 2609
835. 2766
845. 2827
855. 2990
865. 2999
875. 3090
885. 3040
895. 3146
905. 3202
915. 3192
925. 3114
935. 3080
945. 2964
955. 2814
965. 2629
975. 2340
985. 2091
995. 1843
1005. 2635
1015. 1996
1025. 1345
1035. 931
1045. 577
1055. 310
1065. 155
1075. 74
1085. 22
1095. 15
1105. 3
1115. 1
1125. 0
1135. 0
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0
1185. 0
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0

144
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E12000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,144 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 13
25. 11
35. 8
45. 18
55. 13
65. 12
75. 14
85. 16
95. 24
105. 23
115. 24
125. 28
135. 29
145. 29
155. 35
165. 25
175. 33
185. 37
195. 37
205. 30
215. 40
225. 52
235. 47
245. 49
255. 60
265. 59
275. 54
285. 51
295. 64
305. 60
315. 69
325. 62
335. 71
345. 48
355. 98
365. 97
375. 105
385. 91
395. 112
405. 130
415. 112
425. 134
435. 137
445. 155
455. 132
465. 165
475. 170
485. 192
495. 213
505. 228
515. 174
525. 229
535. 262
545. 286
555. 320
565. 319
575. 352
585. 378
595. 373
605. 396
615. 419
625. 466
635. 476
645. 560
655. 582
665. 605
675. 651
685. 675
695. 797
705. 796
715. 823
725. 942
735. 958
745. 1037
755. 1140
765. 1195
775. 1213
785. 1281
795. 1426
805. 1510
815. 1668
825. 1782
835. 1778
845. 1945
855. 2077
865. 2153
875. 2311
885. 2403
895. 2502
905. 2556
915. 2782
925. 2869
935. 2994
945. 2953
955. 3105
965. 2947
975. 3057
985. 2977
995. 2806
1005. 4704
1015. 4484
1025. 4038
1035. 3583
1045. 3104
1055. 2517
1065. 1902
1075. 1395
1085. 927
1095. 540
1105. 307
1115. 154
1125. 65
1135. 20
1145. 6
1155. 0
1165. 2
1175. 0
1185. 0
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0

151
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E13000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,151 @@
DEPTH PARTICLES
5. 3
15. 5
25. 10
35. 9
45. 14
55. 10
65. 5
75. 15
85. 18
95. 15
105. 30
115. 21
125. 15
135. 19
145. 28
155. 32
165. 30
175. 19
185. 27
195. 35
205. 25
215. 27
225. 32
235. 32
245. 27
255. 36
265. 34
275. 37
285. 32
295. 42
305. 43
315. 53
325. 55
335. 43
345. 62
355. 62
365. 60
375. 78
385. 66
395. 69
405. 81
415. 79
425. 84
435. 99
445. 83
455. 79
465. 108
475. 108
485. 112
495. 122
505. 146
515. 142
525. 163
535. 154
545. 149
555. 179
565. 199
575. 219
585. 211
595. 243
605. 305
615. 293
625. 320
635. 298
645. 299
655. 323
665. 383
675. 410
685. 423
695. 494
705. 531
715. 504
725. 578
735. 614
745. 610
755. 688
765. 709
775. 809
785. 848
795. 888
805. 1009
815. 1027
825. 1091
835. 1228
845. 1288
855. 1275
865. 1435
875. 1466
885. 1535
895. 1725
905. 1754
915. 1868
925. 1920
935. 2067
945. 2168
955. 2280
965. 2337
975. 2390
985. 2442
995. 2404
1005. 4622
1015. 4594
1025. 4645
1035. 4742
1045. 4683
1055. 4587
1065. 4305
1075. 4175
1085. 3515
1095. 3009
1105. 2458
1115. 1837
1125. 1301
1135. 909
1145. 573
1155. 290
1165. 179
1175. 79
1185. 30
1195. 12
1205. 3
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0

160
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E14000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,160 @@
DEPTH PARTICLES
5. 4
15. 0
25. 13
35. 12
45. 3
55. 13
65. 12
75. 13
85. 16
95. 19
105. 8
115. 16
125. 9
135. 8
145. 21
155. 22
165. 20
175. 16
185. 23
195. 23
205. 23
215. 26
225. 25
235. 28
245. 37
255. 26
265. 27
275. 39
285. 51
295. 38
305. 31
315. 32
325. 28
335. 48
345. 42
355. 57
365. 55
375. 56
385. 62
395. 57
405. 60
415. 60
425. 60
435. 74
445. 81
455. 77
465. 83
475. 72
485. 86
495. 110
505. 86
515. 104
525. 106
535. 108
545. 122
555. 145
565. 167
575. 145
585. 142
595. 161
605. 177
615. 186
625. 207
635. 213
645. 239
655. 237
665. 266
675. 306
685. 304
695. 315
705. 314
715. 362
725. 354
735. 372
745. 392
755. 438
765. 493
775. 472
785. 530
795. 557
805. 545
815. 649
825. 730
835. 656
845. 727
855. 841
865. 861
875. 895
885. 940
895. 988
905. 1116
915. 1141
925. 1188
935. 1309
945. 1335
955. 1446
965. 1534
975. 1560
985. 1651
995. 1722
1005. 3264
1015. 3379
1025. 3688
1035. 3695
1045. 4036
1055. 4218
1065. 4500
1075. 4620
1085. 4648
1095. 4579
1105. 4502
1115. 4213
1125. 3958
1135. 3524
1145. 3046
1155. 2451
1165. 2001
1175. 1364
1185. 1009
1195. 619
1205. 316
1215. 189
1225. 89
1235. 42
1245. 13
1255. 5
1265. 3
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0

171
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E15000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,171 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 4
25. 10
35. 11
45. 16
55. 11
65. 6
75. 13
85. 6
95. 18
105. 15
115. 16
125. 14
135. 14
145. 11
155. 15
165. 15
175. 17
185. 15
195. 18
205. 21
215. 18
225. 23
235. 17
245. 17
255. 27
265. 24
275. 23
285. 38
295. 21
305. 23
315. 22
325. 26
335. 29
345. 28
355. 40
365. 44
375. 30
385. 40
395. 37
405. 57
415. 43
425. 24
435. 41
445. 47
455. 55
465. 54
475. 64
485. 67
495. 64
505. 69
515. 72
525. 72
535. 94
545. 92
555. 85
565. 100
575. 101
585. 99
595. 118
605. 104
615. 140
625. 120
635. 132
645. 159
655. 139
665. 181
675. 178
685. 174
695. 202
705. 218
715. 254
725. 229
735. 234
745. 254
755. 308
765. 273
775. 297
785. 347
795. 370
805. 409
815. 385
825. 451
835. 470
845. 477
855. 458
865. 568
875. 619
885. 605
895. 650
905. 690
915. 746
925. 784
935. 815
945. 876
955. 874
965. 989
975. 1010
985. 1113
995. 1146
1005. 2027
1015. 2185
1025. 2309
1035. 2646
1045. 2743
1055. 3051
1065. 3262
1075. 3511
1085. 3716
1095. 3893
1105. 4147
1115. 4266
1125. 4356
1135. 4592
1145. 4520
1155. 4354
1165. 4075
1175. 3994
1185. 3577
1195. 3044
1205. 2582
1215. 2073
1225. 1482
1235. 1061
1245. 679
1255. 430
1265. 227
1275. 124
1285. 65
1295. 22
1305. 6
1315. 3
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0

178
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E16000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,178 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 3
25. 8
35. 5
45. 4
55. 10
65. 6
75. 9
85. 8
95. 9
105. 10
115. 7
125. 11
135. 13
145. 19
155. 14
165. 10
175. 16
185. 16
195. 23
205. 14
215. 22
225. 17
235. 22
245. 19
255. 18
265. 16
275. 21
285. 23
295. 22
305. 19
315. 28
325. 36
335. 18
345. 23
355. 32
365. 32
375. 31
385. 28
395. 38
405. 37
415. 33
425. 33
435. 33
445. 44
455. 40
465. 49
475. 39
485. 43
495. 57
505. 46
515. 47
525. 61
535. 63
545. 66
555. 72
565. 77
575. 83
585. 78
595. 87
605. 80
615. 98
625. 102
635. 106
645. 103
655. 116
665. 118
675. 149
685. 141
695. 137
705. 150
715. 165
725. 130
735. 154
745. 175
755. 194
765. 179
775. 201
785. 223
795. 246
805. 229
815. 239
825. 250
835. 301
845. 320
855. 326
865. 355
875. 362
885. 374
895. 411
905. 437
915. 436
925. 451
935. 513
945. 541
955. 563
965. 589
975. 600
985. 643
995. 673
1005. 1320
1015. 1335
1025. 1475
1035. 1612
1045. 1760
1055. 1976
1065. 2166
1075. 2333
1085. 2472
1095. 2763
1105. 2836
1115. 3142
1125. 3328
1135. 3592
1145. 3795
1155. 4133
1165. 4215
1175. 4289
1185. 4387
1195. 4246
1205. 4430
1215. 4063
1225. 4026
1235. 3637
1245. 3269
1255. 2724
1265. 2188
1275. 1656
1285. 1178
1295. 867
1305. 508
1315. 335
1325. 163
1335. 89
1345. 37
1355. 9
1365. 6
1375. 0
1385. 0
1395. 1
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0

185
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E17000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,185 @@
DEPTH PARTICLES
5. 3
15. 3
25. 8
35. 6
45. 10
55. 8
65. 8
75. 6
85. 7
95. 7
105. 11
115. 7
125. 5
135. 8
145. 12
155. 18
165. 8
175. 12
185. 11
195. 17
205. 11
215. 18
225. 10
235. 10
245. 13
255. 12
265. 15
275. 22
285. 17
295. 11
305. 15
315. 27
325. 27
335. 22
345. 21
355. 24
365. 22
375. 32
385. 23
395. 13
405. 31
415. 24
425. 28
435. 33
445. 32
455. 33
465. 26
475. 27
485. 34
495. 35
505. 35
515. 38
525. 41
535. 51
545. 36
555. 48
565. 55
575. 63
585. 72
595. 58
605. 71
615. 67
625. 74
635. 69
645. 73
655. 73
665. 99
675. 89
685. 95
695. 83
705. 91
715. 103
725. 128
735. 109
745. 119
755. 118
765. 123
775. 128
785. 155
795. 156
805. 171
815. 192
825. 221
835. 224
845. 175
855. 225
865. 231
875. 223
885. 255
895. 234
905. 276
915. 325
925. 284
935. 321
945. 351
955. 365
965. 393
975. 397
985. 442
995. 442
1005. 804
1015. 870
1025. 973
1035. 980
1045. 1093
1055. 1255
1065. 1314
1075. 1492
1085. 1552
1095. 1700
1105. 1845
1115. 2058
1125. 2218
1135. 2442
1145. 2541
1155. 2768
1165. 3028
1175. 3267
1185. 3480
1195. 3737
1205. 3937
1215. 4003
1225. 4200
1235. 4187
1245. 4320
1255. 4206
1265. 4140
1275. 3963
1285. 3653
1295. 3389
1305. 2748
1315. 2467
1325. 1935
1335. 1425
1345. 1047
1355. 655
1365. 411
1375. 235
1385. 158
1395. 69
1405. 36
1415. 7
1425. 7
1435. 1
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0

197
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E18000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,197 @@
DEPTH PARTICLES
5. 2
15. 1
25. 1
35. 4
45. 3
55. 9
65. 9
75. 2
85. 10
95. 10
105. 6
115. 3
125. 5
135. 14
145. 9
155. 15
165. 10
175. 9
185. 4
195. 8
205. 10
215. 10
225. 12
235. 12
245. 7
255. 12
265. 17
275. 12
285. 15
295. 12
305. 20
315. 18
325. 14
335. 15
345. 19
355. 5
365. 21
375. 21
385. 20
395. 23
405. 12
415. 19
425. 24
435. 34
445. 25
455. 21
465. 20
475. 26
485. 29
495. 30
505. 18
515. 39
525. 43
535. 32
545. 33
555. 35
565. 42
575. 28
585. 41
595. 35
605. 47
615. 43
625. 46
635. 69
645. 34
655. 63
665. 60
675. 52
685. 59
695. 78
705. 63
715. 81
725. 79
735. 84
745. 91
755. 86
765. 87
775. 104
785. 110
795. 121
805. 108
815. 114
825. 122
835. 117
845. 130
855. 157
865. 141
875. 160
885. 165
895. 179
905. 201
915. 200
925. 203
935. 205
945. 212
955. 231
965. 245
975. 280
985. 296
995. 260
1005. 531
1015. 536
1025. 591
1035. 651
1045. 689
1055. 756
1065. 870
1075. 935
1085. 966
1095. 1111
1105. 1177
1115. 1216
1125. 1388
1135. 1448
1145. 1572
1155. 1859
1165. 1996
1175. 2155
1185. 2277
1195. 2516
1205. 2680
1215. 2940
1225. 3063
1235. 3276
1245. 3471
1255. 3667
1265. 3803
1275. 3880
1285. 4168
1295. 4167
1305. 4319
1315. 3979
1325. 4171
1335. 3878
1345. 3426
1355. 3159
1365. 2706
1375. 2207
1385. 1691
1395. 1260
1405. 926
1415. 626
1425. 379
1435. 229
1445. 110
1455. 60
1465. 27
1475. 11
1485. 5
1495. 2
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0

203
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E19000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,203 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 5
25. 2
35. 8
45. 5
55. 5
65. 4
75. 6
85. 6
95. 9
105. 11
115. 5
125. 5
135. 8
145. 5
155. 7
165. 4
175. 12
185. 8
195. 12
205. 11
215. 12
225. 11
235. 8
245. 7
255. 8
265. 8
275. 11
285. 14
295. 11
305. 8
315. 17
325. 17
335. 5
345. 12
355. 23
365. 19
375. 19
385. 9
395. 13
405. 15
415. 13
425. 16
435. 13
445. 15
455. 16
465. 14
475. 21
485. 28
495. 15
505. 23
515. 17
525. 29
535. 20
545. 29
555. 27
565. 31
575. 34
585. 42
595. 37
605. 39
615. 29
625. 41
635. 57
645. 41
655. 31
665. 44
675. 50
685. 51
695. 52
705. 52
715. 54
725. 56
735. 51
745. 66
755. 59
765. 71
775. 59
785. 67
795. 88
805. 75
815. 78
825. 102
835. 91
845. 97
855. 102
865. 124
875. 112
885. 122
895. 119
905. 141
915. 136
925. 127
935. 125
945. 166
955. 158
965. 188
975. 165
985. 177
995. 192
1005. 345
1015. 367
1025. 405
1035. 439
1045. 450
1055. 448
1065. 528
1075. 652
1085. 614
1095. 687
1105. 717
1115. 840
1125. 902
1135. 992
1145. 1025
1155. 1115
1165. 1267
1175. 1318
1185. 1427
1195. 1578
1205. 1764
1215. 1762
1225. 2022
1235. 2187
1245. 2270
1255. 2518
1265. 2696
1275. 2911
1285. 3090
1295. 3202
1305. 3494
1315. 3725
1325. 3828
1335. 3881
1345. 3990
1355. 4101
1365. 4127
1375. 4030
1385. 3921
1395. 3674
1405. 3282
1415. 2889
1425. 2549
1435. 2105
1445. 1637
1455. 1230
1465. 873
1475. 606
1485. 358
1495. 205
1505. 124
1515. 66
1525. 30
1535. 17
1545. 9
1555. 0
1565. 1
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0

66
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E2000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,66 @@
DEPTH PARTICLES
5. 232
15. 535
25. 712
35. 913
45. 1012
55. 1271
65. 1431
75. 1604
85. 1828
95. 2037
105. 2178
115. 2547
125. 2861
135. 3030
145. 3383
155. 3769
165. 3942
175. 4109
185. 4356
195. 4519
205. 4366
215. 4539
225. 4489
235. 4474
245. 4256
255. 4081
265. 3849
275. 3453
285. 3098
295. 2620
305. 2335
315. 1837
325. 1513
335. 1216
345. 917
355. 712
365. 467
375. 327
385. 251
395. 133
405. 92
415. 59
425. 37
435. 12
445. 9
455. 3
465. 2
475. 2
485. 1
495. 0
505. 0
515. 0
525. 0
535. 0
545. 0
555. 0
565. 0
575. 0
585. 0
595. 0
605. 0
615. 0
625. 0
635. 0
645. 0

215
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E20000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,215 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 1
25. 1
35. 2
45. 2
55. 6
65. 5
75. 6
85. 8
95. 7
105. 12
115. 5
125. 4
135. 4
145. 9
155. 3
165. 7
175. 9
185. 4
195. 13
205. 6
215. 12
225. 8
235. 13
245. 7
255. 6
265. 10
275. 5
285. 12
295. 8
305. 12
315. 8
325. 9
335. 6
345. 19
355. 11
365. 12
375. 21
385. 17
395. 13
405. 19
415. 16
425. 22
435. 21
445. 20
455. 13
465. 21
475. 22
485. 16
495. 22
505. 25
515. 17
525. 21
535. 14
545. 22
555. 33
565. 26
575. 30
585. 21
595. 23
605. 26
615. 21
625. 30
635. 28
645. 30
655. 34
665. 32
675. 44
685. 47
695. 36
705. 48
715. 37
725. 37
735. 59
745. 52
755. 50
765. 48
775. 49
785. 45
795. 68
805. 51
815. 63
825. 68
835. 51
845. 72
855. 60
865. 71
875. 72
885. 89
895. 98
905. 86
915. 94
925. 113
935. 110
945. 95
955. 109
965. 110
975. 124
985. 112
995. 133
1005. 251
1015. 256
1025. 252
1035. 298
1045. 313
1055. 340
1065. 335
1075. 391
1085. 423
1095. 461
1105. 492
1115. 517
1125. 589
1135. 638
1145. 639
1155. 736
1165. 808
1175. 813
1185. 937
1195. 1011
1205. 1067
1215. 1176
1225. 1264
1235. 1302
1245. 1486
1255. 1578
1265. 1741
1275. 1855
1285. 1979
1295. 2103
1305. 2377
1315. 2546
1325. 2636
1335. 2834
1345. 3077
1355. 3227
1365. 3420
1375. 3650
1385. 3655
1395. 3809
1405. 3927
1415. 4062
1425. 3909
1435. 3911
1445. 3718
1455. 3544
1465. 3202
1475. 2855
1485. 2480
1495. 2132
1505. 1654
1515. 1274
1525. 911
1535. 621
1545. 401
1555. 270
1565. 145
1575. 71
1585. 34
1595. 16
1605. 3
1615. 1
1625. 0
1635. 0
1645. 1
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0
2135. 0

225
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E21000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,225 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 4
25. 5
35. 1
45. 10
55. 7
65. 2
75. 2
85. 7
95. 6
105. 5
115. 0
125. 4
135. 4
145. 4
155. 7
165. 8
175. 5
185. 3
195. 10
205. 6
215. 12
225. 4
235. 4
245. 9
255. 6
265. 8
275. 4
285. 6
295. 8
305. 8
315. 11
325. 7
335. 7
345. 5
355. 4
365. 11
375. 13
385. 6
395. 9
405. 17
415. 18
425. 13
435. 11
445. 12
455. 12
465. 13
475. 10
485. 18
495. 20
505. 13
515. 18
525. 11
535. 16
545. 12
555. 19
565. 20
575. 19
585. 20
595. 26
605. 28
615. 21
625. 25
635. 28
645. 40
655. 16
665. 28
675. 27
685. 31
695. 37
705. 29
715. 38
725. 25
735. 35
745. 31
755. 35
765. 43
775. 36
785. 39
795. 51
805. 42
815. 40
825. 44
835. 49
845. 56
855. 61
865. 40
875. 62
885. 61
895. 54
905. 67
915. 75
925. 73
935. 89
945. 67
955. 91
965. 78
975. 79
985. 89
995. 95
1005. 162
1015. 170
1025. 173
1035. 190
1045. 205
1055. 236
1065. 219
1075. 266
1085. 255
1095. 297
1105. 318
1115. 327
1125. 379
1135. 401
1145. 389
1155. 409
1165. 485
1175. 550
1185. 577
1195. 528
1205. 640
1215. 754
1225. 766
1235. 871
1245. 920
1255. 1030
1265. 1080
1275. 1147
1285. 1237
1295. 1430
1305. 1468
1315. 1633
1325. 1709
1335. 1758
1345. 2049
1355. 2205
1365. 2278
1375. 2600
1385. 2673
1395. 2854
1405. 3043
1415. 3121
1425. 3394
1435. 3482
1445. 3553
1455. 3721
1465. 3959
1475. 3878
1485. 3842
1495. 3866
1505. 3611
1515. 3592
1525. 3299
1535. 2778
1545. 2497
1555. 2064
1565. 1703
1575. 1413
1585. 984
1595. 693
1605. 449
1615. 290
1625. 180
1635. 94
1645. 43
1655. 29
1665. 10
1675. 4
1685. 1
1695. 1
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0
2135. 0
2145. 0
2155. 0
2165. 0
2175. 0
2185. 0
2195. 0
2205. 0
2215. 0
2225. 0
2235. 0

233
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E22000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,233 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 4
25. 1
35. 3
45. 3
55. 3
65. 2
75. 5
85. 4
95. 7
105. 6
115. 4
125. 5
135. 3
145. 4
155. 5
165. 3
175. 9
185. 6
195. 4
205. 4
215. 13
225. 4
235. 3
245. 10
255. 4
265. 9
275. 11
285. 6
295. 5
305. 10
315. 9
325. 13
335. 7
345. 8
355. 5
365. 7
375. 7
385. 7
395. 9
405. 10
415. 11
425. 5
435. 11
445. 12
455. 9
465. 12
475. 19
485. 9
495. 12
505. 16
515. 10
525. 15
535. 12
545. 14
555. 4
565. 17
575. 13
585. 12
595. 19
605. 19
615. 18
625. 16
635. 24
645. 24
655. 19
665. 31
675. 25
685. 21
695. 22
705. 40
715. 25
725. 24
735. 26
745. 28
755. 39
765. 23
775. 34
785. 34
795. 38
805. 27
815. 26
825. 37
835. 35
845. 49
855. 42
865. 49
875. 43
885. 48
895. 40
905. 43
915. 47
925. 58
935. 54
945. 54
955. 50
965. 58
975. 71
985. 59
995. 59
1005. 120
1015. 130
1025. 122
1035. 133
1045. 128
1055. 176
1065. 183
1075. 204
1085. 194
1095. 220
1105. 188
1115. 258
1125. 271
1135. 237
1145. 268
1155. 323
1165. 320
1175. 362
1185. 410
1195. 401
1205. 443
1215. 544
1225. 518
1235. 526
1245. 608
1255. 589
1265. 689
1275. 708
1285. 807
1295. 843
1305. 918
1315. 976
1325. 1077
1335. 1157
1345. 1284
1355. 1418
1365. 1491
1375. 1530
1385. 1649
1395. 1824
1405. 1953
1415. 2094
1425. 2268
1435. 2361
1445. 2522
1455. 2683
1465. 2878
1475. 3087
1485. 3272
1495. 3397
1505. 3520
1515. 3700
1525. 3630
1535. 3792
1545. 3889
1555. 3819
1565. 3629
1575. 3451
1585. 3224
1595. 2950
1605. 2581
1615. 2220
1625. 1843
1635. 1487
1645. 1117
1655. 812
1665. 547
1675. 364
1685. 225
1695. 124
1705. 82
1715. 32
1725. 17
1735. 5
1745. 1
1755. 2
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0
2135. 0
2145. 0
2155. 0
2165. 0
2175. 0
2185. 0
2195. 0
2205. 0
2215. 0
2225. 0
2235. 0
2245. 0
2255. 0
2265. 0
2275. 0
2285. 0
2295. 0
2305. 0
2315. 0

241
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E23000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,241 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 4
25. 2
35. 3
45. 3
55. 2
65. 2
75. 3
85. 3
95. 9
105. 6
115. 3
125. 4
135. 4
145. 3
155. 8
165. 4
175. 6
185. 4
195. 1
205. 5
215. 8
225. 8
235. 5
245. 7
255. 8
265. 6
275. 4
285. 6
295. 5
305. 10
315. 11
325. 4
335. 7
345. 4
355. 9
365. 7
375. 11
385. 9
395. 6
405. 11
415. 7
425. 7
435. 9
445. 13
455. 9
465. 9
475. 13
485. 13
495. 13
505. 5
515. 15
525. 6
535. 20
545. 15
555. 14
565. 9
575. 13
585. 12
595. 17
605. 17
615. 18
625. 20
635. 19
645. 17
655. 14
665. 22
675. 22
685. 18
695. 20
705. 25
715. 19
725. 25
735. 11
745. 25
755. 31
765. 25
775. 15
785. 21
795. 25
805. 30
815. 28
825. 26
835. 27
845. 30
855. 30
865. 36
875. 31
885. 33
895. 36
905. 32
915. 22
925. 35
935. 33
945. 32
955. 27
965. 41
975. 38
985. 45
995. 51
1005. 90
1015. 104
1025. 101
1035. 120
1045. 89
1055. 116
1065. 102
1075. 107
1085. 113
1095. 129
1105. 162
1115. 170
1125. 189
1135. 186
1145. 167
1155. 187
1165. 230
1175. 247
1185. 234
1195. 258
1205. 328
1215. 345
1225. 322
1235. 356
1245. 362
1255. 406
1265. 462
1275. 465
1285. 537
1295. 490
1305. 580
1315. 588
1325. 642
1335. 698
1345. 785
1355. 835
1365. 929
1375. 917
1385. 1032
1395. 1146
1405. 1260
1415. 1295
1425. 1386
1435. 1553
1445. 1661
1455. 1725
1465. 1938
1475. 2080
1485. 2177
1495. 2244
1505. 2472
1515. 2513
1525. 2814
1535. 2976
1545. 3205
1555. 3321
1565. 3413
1575. 3455
1585. 3566
1595. 3788
1605. 3627
1615. 3705
1625. 3724
1635. 3500
1645. 3270
1655. 2979
1665. 2751
1675. 2481
1685. 2087
1695. 1689
1705. 1299
1715. 1050
1725. 724
1735. 461
1745. 319
1755. 219
1765. 108
1775. 75
1785. 23
1795. 22
1805. 4
1815. 2
1825. 0
1835. 0
1845. 1
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0
2135. 0
2145. 0
2155. 0
2165. 0
2175. 0
2185. 0
2195. 0
2205. 0
2215. 0
2225. 0
2235. 0
2245. 0
2255. 0
2265. 0
2275. 0
2285. 0
2295. 0
2305. 0
2315. 0
2325. 0
2335. 0
2345. 0
2355. 0
2365. 0
2375. 0
2385. 0
2395. 0

74
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E3000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,74 @@
DEPTH PARTICLES
5. 91
15. 231
25. 307
35. 380
45. 433
55. 559
65. 571
75. 666
85. 728
95. 886
105. 920
115. 1065
125. 1156
135. 1276
145. 1386
155. 1618
165. 1735
175. 1882
185. 2106
195. 2318
205. 2507
215. 2768
225. 2888
235. 3171
245. 3410
255. 3488
265. 3805
275. 3999
285. 4017
295. 4088
305. 4222
315. 4200
325. 4119
335. 4013
345. 3761
355. 3637
365. 3336
375. 3020
385. 2613
395. 2190
405. 1923
415. 1474
425. 1269
435. 871
445. 684
455. 499
465. 331
475. 207
485. 131
495. 88
505. 45
515. 26
525. 11
535. 7
545. 3
555. 0
565. 0
575. 0
585. 0
595. 0
605. 0
615. 0
625. 0
635. 0
645. 0
655. 0
665. 0
675. 0
685. 0
695. 0
705. 0
715. 0
725. 0

82
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E4000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,82 @@
DEPTH PARTICLES
5. 53
15. 125
25. 165
35. 186
45. 228
55. 293
65. 335
75. 323
85. 353
95. 396
105. 493
115. 494
125. 564
135. 614
145. 708
155. 714
165. 855
175. 880
185. 953
195. 1139
205. 1213
215. 1415
225. 1444
235. 1639
245. 1719
255. 1882
265. 2091
275. 2249
285. 2493
295. 2568
305. 2897
315. 3020
325. 3065
335. 3373
345. 3435
355. 3782
365. 3844
375. 3909
385. 3950
395. 3968
405. 3944
415. 3861
425. 3723
435. 3490
445. 3258
455. 2875
465. 2556
475. 2219
485. 1957
495. 1616
505. 1279
515. 992
525. 812
535. 607
545. 399
555. 262
565. 148
575. 100
585. 47
595. 25
605. 13
615. 6
625. 4
635. 1
645. 0
655. 0
665. 0
675. 0
685. 0
695. 0
705. 0
715. 0
725. 0
735. 0
745. 0
755. 0
765. 0
775. 0
785. 0
795. 0
805. 0

91
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E5000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,91 @@
DEPTH PARTICLES
5. 36
15. 86
25. 84
35. 131
45. 125
55. 157
65. 160
75. 202
85. 195
95. 239
105. 300
115. 301
125. 299
135. 332
145. 410
155. 392
165. 431
175. 511
185. 521
195. 612
205. 637
215. 679
225. 769
235. 831
245. 952
255. 997
265. 1116
275. 1175
285. 1338
295. 1376
305. 1504
315. 1713
325. 1836
335. 1944
345. 2157
355. 2275
365. 2436
375. 2643
385. 2784
395. 3001
405. 2979
415. 3258
425. 3329
435. 3471
445. 3662
455. 3627
465. 3838
475. 3756
485. 3792
495. 3620
505. 3403
515. 3270
525. 3305
535. 3004
545. 2598
555. 2334
565. 1892
575. 1534
585. 1229
595. 921
605. 663
615. 520
625. 292
635. 216
645. 118
655. 100
665. 45
675. 27
685. 13
695. 3
705. 2
715. 1
725. 0
735. 1
745. 0
755. 0
765. 0
775. 0
785. 0
795. 0
805. 0
815. 0
825. 0
835. 0
845. 0
855. 0
865. 0
875. 0
885. 0
895. 0

99
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E6000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,99 @@
DEPTH PARTICLES
5. 28
15. 54
25. 72
35. 88
45. 79
55. 94
65. 117
75. 115
85. 150
95. 147
105. 161
115. 161
125. 199
135. 217
145. 209
155. 222
165. 257
175. 283
185. 329
195. 357
205. 385
215. 401
225. 483
235. 448
245. 536
255. 538
265. 637
275. 636
285. 667
295. 807
305. 815
315. 884
325. 1033
335. 1112
345. 1167
355. 1344
365. 1391
375. 1501
385. 1612
395. 1758
405. 1958
415. 2032
425. 2119
435. 2350
445. 2452
455. 2610
465. 2812
475. 2902
485. 3072
495. 3226
505. 3331
515. 3445
525. 3633
535. 3679
545. 3793
555. 3690
565. 3655
575. 3597
585. 3497
595. 3203
605. 2868
615. 2629
625. 2321
635. 1991
645. 1665
655. 1387
665. 1067
675. 755
685. 571
695. 409
705. 244
715. 179
725. 119
735. 55
745. 34
755. 15
765. 8
775. 4
785. 0
795. 3
805. 0
815. 0
825. 0
835. 1
845. 0
855. 0
865. 0
875. 0
885. 0
895. 0
905. 0
915. 0
925. 0
935. 0
945. 0
955. 0
965. 0
975. 0

106
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E7000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,106 @@
DEPTH PARTICLES
5. 13
15. 29
25. 37
35. 50
45. 58
55. 86
65. 56
75. 80
85. 87
95. 96
105. 119
115. 111
125. 130
135. 133
145. 139
155. 161
165. 184
175. 190
185. 189
195. 213
205. 250
215. 247
225. 284
235. 285
245. 312
255. 313
265. 372
275. 348
285. 424
295. 497
305. 443
315. 539
325. 580
335. 614
345. 676
355. 697
365. 825
375. 905
385. 955
395. 1047
405. 1088
415. 1118
425. 1255
435. 1321
445. 1436
455. 1574
465. 1697
475. 1813
485. 1955
495. 2059
505. 2230
515. 2325
525. 2672
535. 2806
545. 2918
555. 2990
565. 3283
575. 3371
585. 3459
595. 3582
605. 3646
615. 3633
625. 3736
635. 3623
645. 3345
655. 3265
665. 3140
675. 2927
685. 2551
695. 2283
705. 2112
715. 1794
725. 1421
735. 1120
745. 867
755. 634
765. 465
775. 294
785. 168
795. 131
805. 79
815. 54
825. 22
835. 10
845. 3
855. 3
865. 0
875. 0
885. 1
895. 0
905. 0
915. 0
925. 0
935. 0
945. 0
955. 0
965. 0
975. 0
985. 0
995. 0
1005. 0
1015. 0
1025. 0
1035. 0
1045. 0

113
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E8000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,113 @@
DEPTH PARTICLES
5. 10
15. 26
25. 43
35. 41
45. 43
55. 56
65. 47
75. 59
85. 71
95. 70
105. 84
115. 78
125. 74
135. 109
145. 92
155. 94
165. 119
175. 104
185. 137
195. 146
205. 162
215. 155
225. 176
235. 162
245. 193
255. 192
265. 189
275. 268
285. 226
295. 279
305. 309
315. 330
325. 370
335. 368
345. 446
355. 411
365. 491
375. 495
385. 499
395. 605
405. 605
415. 708
425. 744
435. 771
445. 909
455. 932
465. 1087
475. 1094
485. 1085
495. 1289
505. 1377
515. 1394
525. 1587
535. 1745
545. 1874
555. 2016
565. 2219
575. 2251
585. 2383
595. 2552
605. 2598
615. 2877
625. 2982
635. 3073
645. 3266
655. 3327
665. 3406
675. 3617
685. 3474
695. 3420
705. 3526
715. 3317
725. 3177
735. 3131
745. 2889
755. 2645
765. 2391
775. 2060
785. 1773
795. 1505
805. 1152
815. 875
825. 735
835. 522
845. 384
855. 233
865. 155
875. 130
885. 65
895. 27
905. 10
915. 14
925. 7
935. 2
945. 0
955. 1
965. 0
975. 0
985. 0
995. 0
1005. 0
1015. 0
1025. 0
1035. 0
1045. 0
1055. 0
1065. 0
1075. 0
1085. 0
1095. 0
1105. 0
1115. 0

120
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E9000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,120 @@
DEPTH PARTICLES
5. 9
15. 14
25. 24
35. 22
45. 36
55. 35
65. 39
75. 43
85. 51
95. 51
105. 67
115. 55
125. 54
135. 62
145. 67
155. 73
165. 76
175. 93
185. 83
195. 100
205. 100
215. 108
225. 107
235. 141
245. 144
255. 127
265. 147
275. 139
285. 172
295. 201
305. 187
315. 230
325. 199
335. 267
345. 243
355. 273
365. 303
375. 323
385. 351
395. 385
405. 396
415. 383
425. 449
435. 480
445. 513
455. 574
465. 552
475. 618
485. 706
495. 804
505. 786
515. 833
525. 979
535. 1034
545. 1121
555. 1257
565. 1262
575. 1403
585. 1494
595. 1660
605. 1703
615. 1838
625. 1958
635. 2151
645. 2320
655. 2288
665. 2599
675. 2626
685. 2786
695. 2916
705. 3020
715. 3219
725. 3298
735. 3256
745. 3243
755. 3372
765. 3421
775. 3475
785. 3214
795. 3099
805. 3019
815. 2845
825. 2586
835. 2474
845. 2130
855. 1820
865. 1487
875. 1285
885. 987
895. 744
905. 564
915. 392
925. 277
935. 186
945. 129
955. 72
965. 29
975. 27
985. 10
995. 6
1005. 3
1015. 0
1025. 0
1035. 0
1045. 0
1055. 0
1065. 0
1075. 0
1085. 0
1095. 0
1105. 0
1115. 0
1125. 0
1135. 0
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0
1185. 0

16
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/data/1300Ar_PECVD_Escan_260K_5G_withDiaFrac.dat Normal file
View File

@ -0,0 +1,16 @@
dataT dataTErr dataB dataE dataTr dataRALRAR dataRATRAB dataSpinRot Asym_Mu Asym_MuPosErr Asym_MuNegErr Lambda_Mu Lambda_MuPosErr Lambda_MuNegErr freq_Mu1 freq_Mu1PosErr freq_Mu1NegErr Asym_muon Asym_muonPosErr Asym_muonNegErr Sigma_muon Sigma_muonPosErr Sigma_muonNegErr field fieldPosErr fieldNegErr ph_LR ph_LRPosErr ph_LRNegErr Alpha_LR Alpha_LRPosErr Alpha_LRNegErr relph_TB relph_TBPosErr relph_TBNegErr relph_TB_Mu relph_TB_MuPosErr relph_TB_MuNegErr Alpha_TB Alpha_TBPosErr Alpha_TBNegErr Zero ZeroPosErr ZeroNegErr freqMu2 freqMu2PosErr freqMu2NegErr Asym_MuSiO2 Asym_MuSiO2PosErr Asym_MuSiO2NegErr Lambda_MuSiO2 Lambda_MuSiO2PosErr Lambda_MuSiO2NegErr freqMuSiO2 freqMuSiO2PosErr freqMuSiO2NegErr CHISQ NDF CHISQred RUN AsymCorrected AsymCorrectedErr AsymAg DiaFrac DiaFracErr
260.0000 0.0060 4.4400 6.9980 16.4946 -0.0100 -0.0090 -10.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 9.2100 0.0000 0.0000 0.0730 0.0012 0.0011 0.1359 0.0079 0.0080 7.0900 0.0270 0.0310 363.4600 0.8000 0.7800 1.0099 0.0019 0.0019 -90.0000 0.0000 0.0000 90.0000 0.0000 0.0000 0.9959 0.0017 0.0017 0.0000 0.0000 0.0000 10.8000 0.0000 0.0000 0.0813 0.0102 0.0090 2.1300 0.3700 0.3200 0.0000 0.0000 0.0000 2320.3999 2224.0000 1.0433 3817.0000 0.0565 0.0012 0.2019 0.2797 0.0059
260.0000 0.0050 4.4500 8.9961 16.4946 -0.0100 -0.0090 -10.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 9.2100 0.0000 0.0000 0.0608 0.0011 0.0011 0.1190 0.0097 0.0100 7.1670 0.0110 0.0120 359.4000 0.7900 0.7900 1.0072 0.0018 0.0018 -90.0000 0.0000 0.0000 90.0000 0.0000 0.0000 0.9898 0.0016 0.0016 0.0000 0.0000 0.0000 10.8000 0.0000 0.0000 0.0765 0.0058 0.0055 1.1400 0.1400 0.1300 0.0000 0.0000 0.0000 2366.3999 2224.0000 1.0640 3818.0000 0.0462 0.0011 0.2110 0.2190 0.0052
260.0000 0.0060 4.4510 9.9949 16.4946 -0.0100 -0.0090 -10.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 9.2100 0.0000 0.0000 0.0586 0.0011 0.0011 0.1100 0.0110 0.0110 7.1628 0.0096 0.0101 358.3500 0.8000 0.8000 1.0097 0.0018 0.0018 -90.0000 0.0000 0.0000 90.0000 0.0000 0.0000 0.9877 0.0016 0.0016 0.0000 0.0000 0.0000 10.8000 0.0000 0.0000 0.0781 0.0054 0.0051 1.1600 0.1200 0.1100 0.0000 0.0000 0.0000 2404.7000 2224.0000 1.0812 3819.0000 0.0445 0.0011 0.2139 0.2080 0.0051
260.0000 0.0050 4.4480 10.9940 16.4946 -0.0100 -0.0090 -10.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 9.2100 0.0000 0.0000 0.0565 0.0011 0.0011 0.1060 0.0110 0.0110 7.0730 0.0200 0.0210 358.7500 0.9000 0.9000 1.0121 0.0018 0.0018 -90.0000 0.0000 0.0000 90.0000 0.0000 0.0000 0.9882 0.0016 0.0016 0.0000 0.0000 0.0000 10.8000 0.0000 0.0000 0.0910 0.0081 0.0075 1.9600 0.2400 0.2100 0.0000 0.0000 0.0000 2387.1001 2224.0000 1.0733 3820.0000 0.0427 0.0011 0.2161 0.1977 0.0051
260.0000 0.0050 4.4500 11.9930 16.4946 -0.0090 -0.0090 -10.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 9.2100 0.0000 0.0000 0.0548 0.0011 0.0011 0.1210 0.0100 0.0110 7.1610 0.0140 0.0160 358.4900 0.8800 0.8700 1.0151 0.0018 0.0018 -90.0000 0.0000 0.0000 90.0000 0.0000 0.0000 0.9912 0.0016 0.0016 0.0000 0.0000 0.0000 10.8000 0.0000 0.0000 0.0470 0.0053 0.0048 1.0500 0.2000 0.1600 0.0000 0.0000 0.0000 2299.3000 2224.0000 1.0339 3821.0000 0.0412 0.0011 0.2178 0.1893 0.0051
260.0000 0.0060 4.4500 12.9921 16.4946 -0.0090 -0.0090 -10.0000 0.0237 0.0039 0.0037 0.7300 0.1600 0.1400 0.0000 0.0000 0.0000 0.0432 0.0013 0.0013 0.1090 0.0150 0.0160 6.6470 0.0520 0.0520 362.9000 1.5000 1.5000 1.0200 0.0022 0.0022 -90.0000 0.0000 0.0000 90.0000 0.0000 0.0000 0.9875 0.0018 0.0018 0.0000 0.0000 0.0000 9.9840 0.0260 0.0270 0.0650 0.0180 0.0140 3.5200 0.9800 0.7700 0.0000 0.0000 0.0000 2256.7000 2221.0000 1.0161 3822.0000 0.0298 0.0013 0.2191 0.1358 0.0059
260.0000 0.0050 4.4520 13.9909 16.4946 -0.0100 -0.0090 -10.0000 0.0320 0.0058 0.0049 2.0300 0.6100 0.4500 9.1330 0.0770 0.0820 0.0375 0.0011 0.0010 0.0950 0.0170 0.0190 7.5000 0.0000 0.0000 -5.9000 1.1000 1.1000 1.0125 0.0017 0.0017 -90.0000 0.0000 0.0000 90.0000 0.0000 0.0000 0.9840 0.0015 0.0015 0.0000 0.0000 0.0000 9.9900 0.0530 0.0610 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 2252.0000 2223.0000 1.0130 3823.0000 0.0241 0.0011 0.2200 0.1097 0.0050
260.0000 0.0050 4.4500 14.9898 16.4946 -0.0100 -0.0090 -10.0000 0.0550 0.0160 0.0110 4.2000 1.6000 1.0000 9.1090 0.0940 0.1010 0.0329 0.0011 0.0011 0.1240 0.0170 0.0180 7.5000 0.0000 0.0000 -4.6000 1.4000 1.3000 1.0149 0.0017 0.0017 -90.0000 0.0000 0.0000 90.0000 0.0000 0.0000 0.9859 0.0015 0.0015 0.0000 0.0000 0.0000 10.1400 0.1000 0.1300 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 2219.8000 2223.0000 0.9986 3824.0000 0.0196 0.0011 0.2208 0.0888 0.0050
260.0000 0.0060 4.4500 15.9972 16.4946 -0.0100 -0.0090 -10.0000 0.0240 0.0050 0.0040 1.6400 0.5900 0.3800 9.0870 0.0610 0.0620 0.0293 0.0011 0.0011 0.1460 0.0190 0.0200 7.5000 0.0000 0.0000 -8.4000 1.6000 1.6000 1.0168 0.0019 0.0018 -90.0000 0.0000 0.0000 90.0000 0.0000 0.0000 0.9807 0.0015 0.0015 0.0000 0.0000 0.0000 10.0240 0.0520 0.0600 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 2290.2000 2223.0000 1.0302 3825.0000 0.0160 0.0011 0.2214 0.0724 0.0050
260.0000 0.0060 4.4600 16.9959 16.4946 -0.0100 -0.0090 -10.0000 0.0455 0.0110 0.0081 2.8000 1.0000 0.7200 0.0000 0.0000 0.0000 0.0212 0.0011 0.0011 0.0770 0.0320 0.0500 7.5000 0.0000 0.0000 -12.3000 2.2000 2.2000 1.0182 0.0019 0.0018 -90.0000 0.0000 0.0000 90.0000 0.0000 0.0000 0.9827 0.0014 0.0014 0.0000 0.0000 0.0000 9.2480 0.0670 0.0590 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 2312.0000 2224.0000 1.0396 3826.0000 0.0080 0.0011 0.2218 0.0359 0.0050
260.0000 0.0060 4.4590 17.9950 16.4946 -0.0090 -0.0090 -10.0000 0.0850 0.0250 0.0190 7.0000 1.7000 1.4000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0194 0.0013 0.0012 0.0950 0.0320 0.0420 6.9900 0.3200 0.3400 355.5000 5.2000 5.0000 1.0173 0.0019 0.0019 -90.0000 0.0000 0.0000 90.0000 0.0000 0.0000 0.9846 0.0023 0.0021 0.0000 0.0000 0.0000 9.5800 0.1700 0.1700 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 2096.3999 2223.0000 0.9431 3827.0000 0.0062 0.0013 0.2221 0.0278 0.0059
260.0000 0.0060 4.4600 18.9939 16.4946 -0.0100 -0.0090 -10.0000 0.0540 0.0250 0.0160 5.3000 2.4000 1.7000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0205 0.0020 0.0017 0.1080 0.0400 0.0490 6.6700 0.4100 0.4500 358.4000 6.6000 6.3000 1.0209 0.0027 0.0025 -90.0000 0.0000 0.0000 90.0000 0.0000 0.0000 0.9832 0.0033 0.0028 0.0000 0.0000 0.0000 9.1400 0.2100 0.1900 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 2133.8000 2223.0000 0.9599 3828.0000 0.0073 0.0020 0.2224 0.0327 0.0090
260.0000 0.0040 4.4500 19.9932 16.4946 -0.0100 -0.0090 -10.0000 0.0920 0.0550 0.0330 8.7000 3.5000 2.9000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0173 0.0014 0.0014 0.1050 0.0420 0.0570 7.1600 0.0000 0.0000 -9.5000 3.4000 3.4000 1.0189 0.0024 0.0023 -90.0000 0.0000 0.0000 90.0000 0.0000 0.0000 0.9887 0.0018 0.0018 0.0000 0.0000 0.0000 9.3800 0.2100 0.2000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 2261.3999 2224.0000 1.0168 3829.0000 0.0041 0.0014 0.2226 0.0184 0.0063
260.0000 0.0040 4.4500 20.9920 16.4946 -0.0090 -0.0090 -10.0000 0.0292 0.0101 0.0076 2.0900 0.9000 0.6500 9.0670 0.0830 0.0790 0.0199 0.0015 0.0014 0.1640 0.0380 0.0370 7.1600 0.0000 0.0000 -12.2000 2.7000 2.7000 1.0147 0.0024 0.0022 -90.0000 0.0000 0.0000 90.0000 0.0000 0.0000 0.9891 0.0018 0.0018 0.0000 0.0000 0.0000 10.8640 0.0700 0.0610 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 2157.5000 2223.0000 0.9705 3830.0000 0.0067 0.0015 0.2228 0.0300 0.0067
260.0000 0.0060 4.4490 21.9912 16.4946 -0.0090 -0.0090 -10.0000 0.0364 0.0094 0.0090 2.7000 0.8300 0.8000 9.1320 0.0840 0.0800 0.0193 0.0014 0.0013 0.1550 0.0350 0.0350 7.1600 0.0000 0.0000 -7.6000 2.7000 2.7000 1.0140 0.0022 0.0021 -90.0000 0.0000 0.0000 90.0000 0.0000 0.0000 0.9907 0.0017 0.0017 0.0000 0.0000 0.0000 10.8540 0.0830 0.1010 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 2162.2000 2223.0000 0.9726 3831.0000 0.0061 0.0014 0.2229 0.0273 0.0063

35
doc/examples/DepthProfiles/1300Ar/depth_profile_startup.xml Normal file
View File

@ -0,0 +1,35 @@
<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<nonlocal xmlns="http://nemu.web.psi.ch/musrfit/nonlocal">
<comment>
TrimSp information
</comment>
<trim_sp>
<data_path>./TRIMSP/</data_path>
<rge_fln_pre>SiC_1300x_52nm_48nm_E</rge_fln_pre>
<energy_list>
<energy>1000</energy>
<energy>2000</energy>
<energy>3000</energy>
<energy>4000</energy>
<energy>5000</energy>
<energy>6000</energy>
<energy>7000</energy>
<energy>8000</energy>
<energy>9000</energy>
<energy>10000</energy>
<energy>11000</energy>
<energy>12000</energy>
<energy>13000</energy>
<energy>14000</energy>
<energy>15000</energy>
<energy>16000</energy>
<energy>17000</energy>
<energy>17000</energy>
<energy>18000</energy>
<energy>19000</energy>
<energy>20000</energy>
<energy>21000</energy>
<energy>22000</energy>
</energy_list>
</trim_sp>
</nonlocal>

57
doc/examples/DepthProfiles/1300x/1300x_100G_260K_diaFrac.msr Normal file
View File

@ -0,0 +1,57 @@
n/a
###############################################################
FITPARAMETER
# Nr. Name Value Step Pos_Error Boundaries
1 f1 0.4157 0.0029 none 0 1
2 f2 0.22821 0.00058 none 0 1
3 f3 0.02658 0.00045 none 0 1
4 x1 42.3 1.0 none
5 x2 99.5008 0.0029 none
###############################################################
THEORY
userFcn libPDepthProfile PDepthProfile 1 2 3 4 5
###############################################################
RUN data/1300x_PECVD_Escan_260K_100G_withDiaFrac MUE4 PSI DAT (name beamline institute data-file-format)
fittype 8 (non muSR fit)
map 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
xy-data dataE DiaFrac
fit 1 22
packing 1
###############################################################
COMMANDS
MINIMIZE
#HESSE
MINOS
SAVE
###############################################################
PLOT 8 (non muSR plot)
runs 1
range 2.5 22
###############################################################
STATISTIC --- 2023-01-31 11:22:41
chisq = 122.1, NDF = 14, chisq/NDF = 8.723769

57
doc/examples/DepthProfiles/1300x/1300x_5G_260K_asym.msr Normal file
View File

@ -0,0 +1,57 @@
n/a
###############################################################
FITPARAMETER
# Nr. Name Value Step Pos_Error Boundaries
1 f1 0.07038 0.00053 none
2 f2 0.03252 0.00055 none -0.5 1
3 x1 86.7 10.8 none
###############################################################
THEORY
userFcn libPDepthProfile PDepthProfile 1 2 3
###############################################################
RUN data/1300x_PECVD_Escan_260K_5G_noDiaFrac MUE4 PSI DAT (name beamline institute data-file-format)
fittype 8 (non muSR fit)
map 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
xy-data dataE Asym_muon
fit 1 22
packing 1
###############################################################
COMMANDS
MINIMIZE
#HESSE
MINOS
SAVE
###############################################################
PLOT 8 (non muSR plot)
runs 1
range 0 22
###############################################################
STATISTIC --- 2023-02-16 15:29:27
chisq = 42.1, NDF = 6, chisq/NDF = 7.024748

BIN
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC1300x.png Normal file
View File

Binary file not shown.
Side by Side

After

Width:  |  Height:  |  Size: 34 KiB

BIN
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC1300x_fraction.png Normal file
View File

Binary file not shown.
Side by Side

After

Width:  |  Height:  |  Size: 14 KiB

55
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E1000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,55 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1085
15. 2257
25. 2936
35. 3431
45. 3826
55. 4232
65. 4472
75. 4777
85. 4907
95. 5151
105. 5117
115. 5205
125. 5038
135. 4803
145. 4568
155. 4366
165. 3973
175. 3570
185. 3174
195. 2766
205. 2294
215. 1932
225. 1520
235. 1279
245. 950
255. 737
265. 503
275. 374
285. 243
295. 181
305. 126
315. 75
325. 45
335. 27
345. 15
355. 8
365. 2
375. 2
385. 0
395. 0
405. 0
415. 0
425. 0
435. 0
445. 0
455. 0
465. 0
475. 0
485. 0
495. 0
505. 0
515. 0
525. 0
535. 0

128
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E10000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,128 @@
DEPTH PARTICLES
5. 7
15. 12
25. 20
35. 19
45. 23
55. 38
65. 23
75. 29
85. 33
95. 34
105. 33
115. 48
125. 38
135. 64
145. 47
155. 60
165. 48
175. 58
185. 65
195. 83
205. 80
215. 72
225. 74
235. 84
245. 87
255. 108
265. 90
275. 115
285. 126
295. 104
305. 163
315. 153
325. 150
335. 158
345. 142
355. 195
365. 204
375. 183
385. 208
395. 211
405. 251
415. 245
425. 291
435. 294
445. 340
455. 338
465. 382
475. 398
485. 420
495. 475
505. 480
515. 505
525. 578
535. 637
545. 677
555. 752
565. 746
575. 816
585. 879
595. 1020
605. 1000
615. 1153
625. 1192
635. 1417
645. 1402
655. 1478
665. 1644
675. 1717
685. 1749
695. 1958
705. 2029
715. 2156
725. 2277
735. 2460
745. 2549
755. 2666
765. 2914
775. 2952
785. 3034
795. 3217
805. 3201
815. 3337
825. 3326
835. 3339
845. 3243
855. 3202
865. 3113
875. 3013
885. 2849
895. 2628
905. 2448
915. 2155
925. 1858
935. 1584
945. 1306
955. 1036
965. 854
975. 626
985. 437
995. 324
1005. 307
1015. 165
1025. 77
1035. 27
1045. 5
1055. 2
1065. 0
1075. 0
1085. 0
1095. 0
1105. 0
1115. 0
1125. 0
1135. 0
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0
1185. 0
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0

137
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E11000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,137 @@
DEPTH PARTICLES
5. 5
15. 5
25. 15
35. 15
45. 28
55. 23
65. 23
75. 27
85. 21
95. 37
105. 24
115. 29
125. 28
135. 44
145. 48
155. 46
165. 44
175. 45
185. 50
195. 53
205. 48
215. 59
225. 67
235. 51
245. 73
255. 85
265. 67
275. 79
285. 73
295. 95
305. 84
315. 88
325. 101
335. 107
345. 100
355. 126
365. 144
375. 120
385. 171
395. 146
405. 147
415. 175
425. 184
435. 205
445. 232
455. 238
465. 218
475. 237
485. 265
495. 279
505. 322
515. 334
525. 380
535. 426
545. 443
555. 424
565. 497
575. 544
585. 561
595. 561
605. 693
615. 714
625. 740
635. 832
645. 864
655. 924
665. 1018
675. 1108
685. 1094
695. 1197
705. 1264
715. 1357
725. 1570
735. 1600
745. 1650
755. 1817
765. 1924
775. 1936
785. 2128
795. 2243
805. 2346
815. 2541
825. 2609
835. 2766
845. 2827
855. 2990
865. 2999
875. 3090
885. 3040
895. 3146
905. 3202
915. 3192
925. 3114
935. 3080
945. 2964
955. 2814
965. 2629
975. 2340
985. 2091
995. 1843
1005. 2635
1015. 1996
1025. 1345
1035. 931
1045. 577
1055. 310
1065. 155
1075. 74
1085. 22
1095. 15
1105. 3
1115. 1
1125. 0
1135. 0
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0
1185. 0
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0

144
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E12000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,144 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 13
25. 11
35. 8
45. 18
55. 13
65. 12
75. 14
85. 16
95. 24
105. 23
115. 24
125. 28
135. 29
145. 29
155. 35
165. 25
175. 33
185. 37
195. 37
205. 30
215. 40
225. 52
235. 47
245. 49
255. 60
265. 59
275. 54
285. 51
295. 64
305. 60
315. 69
325. 62
335. 71
345. 48
355. 98
365. 97
375. 105
385. 91
395. 112
405. 130
415. 112
425. 134
435. 137
445. 155
455. 132
465. 165
475. 170
485. 192
495. 213
505. 228
515. 174
525. 229
535. 262
545. 286
555. 320
565. 319
575. 352
585. 378
595. 373
605. 396
615. 419
625. 466
635. 476
645. 560
655. 582
665. 605
675. 651
685. 675
695. 797
705. 796
715. 823
725. 942
735. 958
745. 1037
755. 1140
765. 1195
775. 1213
785. 1281
795. 1426
805. 1510
815. 1668
825. 1782
835. 1778
845. 1945
855. 2077
865. 2153
875. 2311
885. 2403
895. 2502
905. 2556
915. 2782
925. 2869
935. 2994
945. 2953
955. 3105
965. 2947
975. 3057
985. 2977
995. 2806
1005. 4704
1015. 4484
1025. 4038
1035. 3583
1045. 3104
1055. 2517
1065. 1902
1075. 1395
1085. 927
1095. 540
1105. 307
1115. 154
1125. 65
1135. 20
1145. 6
1155. 0
1165. 2
1175. 0
1185. 0
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0

151
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E13000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,151 @@
DEPTH PARTICLES
5. 3
15. 5
25. 10
35. 9
45. 14
55. 10
65. 5
75. 15
85. 18
95. 15
105. 30
115. 21
125. 15
135. 19
145. 28
155. 32
165. 30
175. 19
185. 27
195. 35
205. 25
215. 27
225. 32
235. 32
245. 27
255. 36
265. 34
275. 37
285. 32
295. 42
305. 43
315. 53
325. 55
335. 43
345. 62
355. 62
365. 60
375. 78
385. 66
395. 69
405. 81
415. 79
425. 84
435. 99
445. 83
455. 79
465. 108
475. 108
485. 112
495. 122
505. 146
515. 142
525. 163
535. 154
545. 149
555. 179
565. 199
575. 219
585. 211
595. 243
605. 305
615. 293
625. 320
635. 298
645. 299
655. 323
665. 383
675. 410
685. 423
695. 494
705. 531
715. 504
725. 578
735. 614
745. 610
755. 688
765. 709
775. 809
785. 848
795. 888
805. 1009
815. 1027
825. 1091
835. 1228
845. 1288
855. 1275
865. 1435
875. 1466
885. 1535
895. 1725
905. 1754
915. 1868
925. 1920
935. 2067
945. 2168
955. 2280
965. 2337
975. 2390
985. 2442
995. 2404
1005. 4622
1015. 4594
1025. 4645
1035. 4742
1045. 4683
1055. 4587
1065. 4305
1075. 4175
1085. 3515
1095. 3009
1105. 2458
1115. 1837
1125. 1301
1135. 909
1145. 573
1155. 290
1165. 179
1175. 79
1185. 30
1195. 12
1205. 3
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0

160
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E14000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,160 @@
DEPTH PARTICLES
5. 4
15. 0
25. 13
35. 12
45. 3
55. 13
65. 12
75. 13
85. 16
95. 19
105. 8
115. 16
125. 9
135. 8
145. 21
155. 22
165. 20
175. 16
185. 23
195. 23
205. 23
215. 26
225. 25
235. 28
245. 37
255. 26
265. 27
275. 39
285. 51
295. 38
305. 31
315. 32
325. 28
335. 48
345. 42
355. 57
365. 55
375. 56
385. 62
395. 57
405. 60
415. 60
425. 60
435. 74
445. 81
455. 77
465. 83
475. 72
485. 86
495. 110
505. 86
515. 104
525. 106
535. 108
545. 122
555. 145
565. 167
575. 145
585. 142
595. 161
605. 177
615. 186
625. 207
635. 213
645. 239
655. 237
665. 266
675. 306
685. 304
695. 315
705. 314
715. 362
725. 354
735. 372
745. 392
755. 438
765. 493
775. 472
785. 530
795. 557
805. 545
815. 649
825. 730
835. 656
845. 727
855. 841
865. 861
875. 895
885. 940
895. 988
905. 1116
915. 1141
925. 1188
935. 1309
945. 1335
955. 1446
965. 1534
975. 1560
985. 1651
995. 1722
1005. 3264
1015. 3379
1025. 3688
1035. 3695
1045. 4036
1055. 4218
1065. 4500
1075. 4620
1085. 4648
1095. 4579
1105. 4502
1115. 4213
1125. 3958
1135. 3524
1145. 3046
1155. 2451
1165. 2001
1175. 1364
1185. 1009
1195. 619
1205. 316
1215. 189
1225. 89
1235. 42
1245. 13
1255. 5
1265. 3
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0

171
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E15000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,171 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 4
25. 10
35. 11
45. 16
55. 11
65. 6
75. 13
85. 6
95. 18
105. 15
115. 16
125. 14
135. 14
145. 11
155. 15
165. 15
175. 17
185. 15
195. 18
205. 21
215. 18
225. 23
235. 17
245. 17
255. 27
265. 24
275. 23
285. 38
295. 21
305. 23
315. 22
325. 26
335. 29
345. 28
355. 40
365. 44
375. 30
385. 40
395. 37
405. 57
415. 43
425. 24
435. 41
445. 47
455. 55
465. 54
475. 64
485. 67
495. 64
505. 69
515. 72
525. 72
535. 94
545. 92
555. 85
565. 100
575. 101
585. 99
595. 118
605. 104
615. 140
625. 120
635. 132
645. 159
655. 139
665. 181
675. 178
685. 174
695. 202
705. 218
715. 254
725. 229
735. 234
745. 254
755. 308
765. 273
775. 297
785. 347
795. 370
805. 409
815. 385
825. 451
835. 470
845. 477
855. 458
865. 568
875. 619
885. 605
895. 650
905. 690
915. 746
925. 784
935. 815
945. 876
955. 874
965. 989
975. 1010
985. 1113
995. 1146
1005. 2027
1015. 2185
1025. 2309
1035. 2646
1045. 2743
1055. 3051
1065. 3262
1075. 3511
1085. 3716
1095. 3893
1105. 4147
1115. 4266
1125. 4356
1135. 4592
1145. 4520
1155. 4354
1165. 4075
1175. 3994
1185. 3577
1195. 3044
1205. 2582
1215. 2073
1225. 1482
1235. 1061
1245. 679
1255. 430
1265. 227
1275. 124
1285. 65
1295. 22
1305. 6
1315. 3
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0

178
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E16000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,178 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 3
25. 8
35. 5
45. 4
55. 10
65. 6
75. 9
85. 8
95. 9
105. 10
115. 7
125. 11
135. 13
145. 19
155. 14
165. 10
175. 16
185. 16
195. 23
205. 14
215. 22
225. 17
235. 22
245. 19
255. 18
265. 16
275. 21
285. 23
295. 22
305. 19
315. 28
325. 36
335. 18
345. 23
355. 32
365. 32
375. 31
385. 28
395. 38
405. 37
415. 33
425. 33
435. 33
445. 44
455. 40
465. 49
475. 39
485. 43
495. 57
505. 46
515. 47
525. 61
535. 63
545. 66
555. 72
565. 77
575. 83
585. 78
595. 87
605. 80
615. 98
625. 102
635. 106
645. 103
655. 116
665. 118
675. 149
685. 141
695. 137
705. 150
715. 165
725. 130
735. 154
745. 175
755. 194
765. 179
775. 201
785. 223
795. 246
805. 229
815. 239
825. 250
835. 301
845. 320
855. 326
865. 355
875. 362
885. 374
895. 411
905. 437
915. 436
925. 451
935. 513
945. 541
955. 563
965. 589
975. 600
985. 643
995. 673
1005. 1320
1015. 1335
1025. 1475
1035. 1612
1045. 1760
1055. 1976
1065. 2166
1075. 2333
1085. 2472
1095. 2763
1105. 2836
1115. 3142
1125. 3328
1135. 3592
1145. 3795
1155. 4133
1165. 4215
1175. 4289
1185. 4387
1195. 4246
1205. 4430
1215. 4063
1225. 4026
1235. 3637
1245. 3269
1255. 2724
1265. 2188
1275. 1656
1285. 1178
1295. 867
1305. 508
1315. 335
1325. 163
1335. 89
1345. 37
1355. 9
1365. 6
1375. 0
1385. 0
1395. 1
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0

185
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E17000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,185 @@
DEPTH PARTICLES
5. 3
15. 3
25. 8
35. 6
45. 10
55. 8
65. 8
75. 6
85. 7
95. 7
105. 11
115. 7
125. 5
135. 8
145. 12
155. 18
165. 8
175. 12
185. 11
195. 17
205. 11
215. 18
225. 10
235. 10
245. 13
255. 12
265. 15
275. 22
285. 17
295. 11
305. 15
315. 27
325. 27
335. 22
345. 21
355. 24
365. 22
375. 32
385. 23
395. 13
405. 31
415. 24
425. 28
435. 33
445. 32
455. 33
465. 26
475. 27
485. 34
495. 35
505. 35
515. 38
525. 41
535. 51
545. 36
555. 48
565. 55
575. 63
585. 72
595. 58
605. 71
615. 67
625. 74
635. 69
645. 73
655. 73
665. 99
675. 89
685. 95
695. 83
705. 91
715. 103
725. 128
735. 109
745. 119
755. 118
765. 123
775. 128
785. 155
795. 156
805. 171
815. 192
825. 221
835. 224
845. 175
855. 225
865. 231
875. 223
885. 255
895. 234
905. 276
915. 325
925. 284
935. 321
945. 351
955. 365
965. 393
975. 397
985. 442
995. 442
1005. 804
1015. 870
1025. 973
1035. 980
1045. 1093
1055. 1255
1065. 1314
1075. 1492
1085. 1552
1095. 1700
1105. 1845
1115. 2058
1125. 2218
1135. 2442
1145. 2541
1155. 2768
1165. 3028
1175. 3267
1185. 3480
1195. 3737
1205. 3937
1215. 4003
1225. 4200
1235. 4187
1245. 4320
1255. 4206
1265. 4140
1275. 3963
1285. 3653
1295. 3389
1305. 2748
1315. 2467
1325. 1935
1335. 1425
1345. 1047
1355. 655
1365. 411
1375. 235
1385. 158
1395. 69
1405. 36
1415. 7
1425. 7
1435. 1
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0

197
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E18000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,197 @@
DEPTH PARTICLES
5. 2
15. 1
25. 1
35. 4
45. 3
55. 9
65. 9
75. 2
85. 10
95. 10
105. 6
115. 3
125. 5
135. 14
145. 9
155. 15
165. 10
175. 9
185. 4
195. 8
205. 10
215. 10
225. 12
235. 12
245. 7
255. 12
265. 17
275. 12
285. 15
295. 12
305. 20
315. 18
325. 14
335. 15
345. 19
355. 5
365. 21
375. 21
385. 20
395. 23
405. 12
415. 19
425. 24
435. 34
445. 25
455. 21
465. 20
475. 26
485. 29
495. 30
505. 18
515. 39
525. 43
535. 32
545. 33
555. 35
565. 42
575. 28
585. 41
595. 35
605. 47
615. 43
625. 46
635. 69
645. 34
655. 63
665. 60
675. 52
685. 59
695. 78
705. 63
715. 81
725. 79
735. 84
745. 91
755. 86
765. 87
775. 104
785. 110
795. 121
805. 108
815. 114
825. 122
835. 117
845. 130
855. 157
865. 141
875. 160
885. 165
895. 179
905. 201
915. 200
925. 203
935. 205
945. 212
955. 231
965. 245
975. 280
985. 296
995. 260
1005. 531
1015. 536
1025. 591
1035. 651
1045. 689
1055. 756
1065. 870
1075. 935
1085. 966
1095. 1111
1105. 1177
1115. 1216
1125. 1388
1135. 1448
1145. 1572
1155. 1859
1165. 1996
1175. 2155
1185. 2277
1195. 2516
1205. 2680
1215. 2940
1225. 3063
1235. 3276
1245. 3471
1255. 3667
1265. 3803
1275. 3880
1285. 4168
1295. 4167
1305. 4319
1315. 3979
1325. 4171
1335. 3878
1345. 3426
1355. 3159
1365. 2706
1375. 2207
1385. 1691
1395. 1260
1405. 926
1415. 626
1425. 379
1435. 229
1445. 110
1455. 60
1465. 27
1475. 11
1485. 5
1495. 2
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0

203
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E19000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,203 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 5
25. 2
35. 8
45. 5
55. 5
65. 4
75. 6
85. 6
95. 9
105. 11
115. 5
125. 5
135. 8
145. 5
155. 7
165. 4
175. 12
185. 8
195. 12
205. 11
215. 12
225. 11
235. 8
245. 7
255. 8
265. 8
275. 11
285. 14
295. 11
305. 8
315. 17
325. 17
335. 5
345. 12
355. 23
365. 19
375. 19
385. 9
395. 13
405. 15
415. 13
425. 16
435. 13
445. 15
455. 16
465. 14
475. 21
485. 28
495. 15
505. 23
515. 17
525. 29
535. 20
545. 29
555. 27
565. 31
575. 34
585. 42
595. 37
605. 39
615. 29
625. 41
635. 57
645. 41
655. 31
665. 44
675. 50
685. 51
695. 52
705. 52
715. 54
725. 56
735. 51
745. 66
755. 59
765. 71
775. 59
785. 67
795. 88
805. 75
815. 78
825. 102
835. 91
845. 97
855. 102
865. 124
875. 112
885. 122
895. 119
905. 141
915. 136
925. 127
935. 125
945. 166
955. 158
965. 188
975. 165
985. 177
995. 192
1005. 345
1015. 367
1025. 405
1035. 439
1045. 450
1055. 448
1065. 528
1075. 652
1085. 614
1095. 687
1105. 717
1115. 840
1125. 902
1135. 992
1145. 1025
1155. 1115
1165. 1267
1175. 1318
1185. 1427
1195. 1578
1205. 1764
1215. 1762
1225. 2022
1235. 2187
1245. 2270
1255. 2518
1265. 2696
1275. 2911
1285. 3090
1295. 3202
1305. 3494
1315. 3725
1325. 3828
1335. 3881
1345. 3990
1355. 4101
1365. 4127
1375. 4030
1385. 3921
1395. 3674
1405. 3282
1415. 2889
1425. 2549
1435. 2105
1445. 1637
1455. 1230
1465. 873
1475. 606
1485. 358
1495. 205
1505. 124
1515. 66
1525. 30
1535. 17
1545. 9
1555. 0
1565. 1
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0

66
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E2000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,66 @@
DEPTH PARTICLES
5. 232
15. 535
25. 712
35. 913
45. 1012
55. 1271
65. 1431
75. 1604
85. 1828
95. 2037
105. 2178
115. 2547
125. 2861
135. 3030
145. 3383
155. 3769
165. 3942
175. 4109
185. 4356
195. 4519
205. 4366
215. 4539
225. 4489
235. 4474
245. 4256
255. 4081
265. 3849
275. 3453
285. 3098
295. 2620
305. 2335
315. 1837
325. 1513
335. 1216
345. 917
355. 712
365. 467
375. 327
385. 251
395. 133
405. 92
415. 59
425. 37
435. 12
445. 9
455. 3
465. 2
475. 2
485. 1
495. 0
505. 0
515. 0
525. 0
535. 0
545. 0
555. 0
565. 0
575. 0
585. 0
595. 0
605. 0
615. 0
625. 0
635. 0
645. 0

215
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E20000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,215 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 1
25. 1
35. 2
45. 2
55. 6
65. 5
75. 6
85. 8
95. 7
105. 12
115. 5
125. 4
135. 4
145. 9
155. 3
165. 7
175. 9
185. 4
195. 13
205. 6
215. 12
225. 8
235. 13
245. 7
255. 6
265. 10
275. 5
285. 12
295. 8
305. 12
315. 8
325. 9
335. 6
345. 19
355. 11
365. 12
375. 21
385. 17
395. 13
405. 19
415. 16
425. 22
435. 21
445. 20
455. 13
465. 21
475. 22
485. 16
495. 22
505. 25
515. 17
525. 21
535. 14
545. 22
555. 33
565. 26
575. 30
585. 21
595. 23
605. 26
615. 21
625. 30
635. 28
645. 30
655. 34
665. 32
675. 44
685. 47
695. 36
705. 48
715. 37
725. 37
735. 59
745. 52
755. 50
765. 48
775. 49
785. 45
795. 68
805. 51
815. 63
825. 68
835. 51
845. 72
855. 60
865. 71
875. 72
885. 89
895. 98
905. 86
915. 94
925. 113
935. 110
945. 95
955. 109
965. 110
975. 124
985. 112
995. 133
1005. 251
1015. 256
1025. 252
1035. 298
1045. 313
1055. 340
1065. 335
1075. 391
1085. 423
1095. 461
1105. 492
1115. 517
1125. 589
1135. 638
1145. 639
1155. 736
1165. 808
1175. 813
1185. 937
1195. 1011
1205. 1067
1215. 1176
1225. 1264
1235. 1302
1245. 1486
1255. 1578
1265. 1741
1275. 1855
1285. 1979
1295. 2103
1305. 2377
1315. 2546
1325. 2636
1335. 2834
1345. 3077
1355. 3227
1365. 3420
1375. 3650
1385. 3655
1395. 3809
1405. 3927
1415. 4062
1425. 3909
1435. 3911
1445. 3718
1455. 3544
1465. 3202
1475. 2855
1485. 2480
1495. 2132
1505. 1654
1515. 1274
1525. 911
1535. 621
1545. 401
1555. 270
1565. 145
1575. 71
1585. 34
1595. 16
1605. 3
1615. 1
1625. 0
1635. 0
1645. 1
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0
2135. 0

225
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E21000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,225 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 4
25. 5
35. 1
45. 10
55. 7
65. 2
75. 2
85. 7
95. 6
105. 5
115. 0
125. 4
135. 4
145. 4
155. 7
165. 8
175. 5
185. 3
195. 10
205. 6
215. 12
225. 4
235. 4
245. 9
255. 6
265. 8
275. 4
285. 6
295. 8
305. 8
315. 11
325. 7
335. 7
345. 5
355. 4
365. 11
375. 13
385. 6
395. 9
405. 17
415. 18
425. 13
435. 11
445. 12
455. 12
465. 13
475. 10
485. 18
495. 20
505. 13
515. 18
525. 11
535. 16
545. 12
555. 19
565. 20
575. 19
585. 20
595. 26
605. 28
615. 21
625. 25
635. 28
645. 40
655. 16
665. 28
675. 27
685. 31
695. 37
705. 29
715. 38
725. 25
735. 35
745. 31
755. 35
765. 43
775. 36
785. 39
795. 51
805. 42
815. 40
825. 44
835. 49
845. 56
855. 61
865. 40
875. 62
885. 61
895. 54
905. 67
915. 75
925. 73
935. 89
945. 67
955. 91
965. 78
975. 79
985. 89
995. 95
1005. 162
1015. 170
1025. 173
1035. 190
1045. 205
1055. 236
1065. 219
1075. 266
1085. 255
1095. 297
1105. 318
1115. 327
1125. 379
1135. 401
1145. 389
1155. 409
1165. 485
1175. 550
1185. 577
1195. 528
1205. 640
1215. 754
1225. 766
1235. 871
1245. 920
1255. 1030
1265. 1080
1275. 1147
1285. 1237
1295. 1430
1305. 1468
1315. 1633
1325. 1709
1335. 1758
1345. 2049
1355. 2205
1365. 2278
1375. 2600
1385. 2673
1395. 2854
1405. 3043
1415. 3121
1425. 3394
1435. 3482
1445. 3553
1455. 3721
1465. 3959
1475. 3878
1485. 3842
1495. 3866
1505. 3611
1515. 3592
1525. 3299
1535. 2778
1545. 2497
1555. 2064
1565. 1703
1575. 1413
1585. 984
1595. 693
1605. 449
1615. 290
1625. 180
1635. 94
1645. 43
1655. 29
1665. 10
1675. 4
1685. 1
1695. 1
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0
2135. 0
2145. 0
2155. 0
2165. 0
2175. 0
2185. 0
2195. 0
2205. 0
2215. 0
2225. 0
2235. 0

233
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E22000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,233 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 4
25. 1
35. 3
45. 3
55. 3
65. 2
75. 5
85. 4
95. 7
105. 6
115. 4
125. 5
135. 3
145. 4
155. 5
165. 3
175. 9
185. 6
195. 4
205. 4
215. 13
225. 4
235. 3
245. 10
255. 4
265. 9
275. 11
285. 6
295. 5
305. 10
315. 9
325. 13
335. 7
345. 8
355. 5
365. 7
375. 7
385. 7
395. 9
405. 10
415. 11
425. 5
435. 11
445. 12
455. 9
465. 12
475. 19
485. 9
495. 12
505. 16
515. 10
525. 15
535. 12
545. 14
555. 4
565. 17
575. 13
585. 12
595. 19
605. 19
615. 18
625. 16
635. 24
645. 24
655. 19
665. 31
675. 25
685. 21
695. 22
705. 40
715. 25
725. 24
735. 26
745. 28
755. 39
765. 23
775. 34
785. 34
795. 38
805. 27
815. 26
825. 37
835. 35
845. 49
855. 42
865. 49
875. 43
885. 48
895. 40
905. 43
915. 47
925. 58
935. 54
945. 54
955. 50
965. 58
975. 71
985. 59
995. 59
1005. 120
1015. 130
1025. 122
1035. 133
1045. 128
1055. 176
1065. 183
1075. 204
1085. 194
1095. 220
1105. 188
1115. 258
1125. 271
1135. 237
1145. 268
1155. 323
1165. 320
1175. 362
1185. 410
1195. 401
1205. 443
1215. 544
1225. 518
1235. 526
1245. 608
1255. 589
1265. 689
1275. 708
1285. 807
1295. 843
1305. 918
1315. 976
1325. 1077
1335. 1157
1345. 1284
1355. 1418
1365. 1491
1375. 1530
1385. 1649
1395. 1824
1405. 1953
1415. 2094
1425. 2268
1435. 2361
1445. 2522
1455. 2683
1465. 2878
1475. 3087
1485. 3272
1495. 3397
1505. 3520
1515. 3700
1525. 3630
1535. 3792
1545. 3889
1555. 3819
1565. 3629
1575. 3451
1585. 3224
1595. 2950
1605. 2581
1615. 2220
1625. 1843
1635. 1487
1645. 1117
1655. 812
1665. 547
1675. 364
1685. 225
1695. 124
1705. 82
1715. 32
1725. 17
1735. 5
1745. 1
1755. 2
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0
2135. 0
2145. 0
2155. 0
2165. 0
2175. 0
2185. 0
2195. 0
2205. 0
2215. 0
2225. 0
2235. 0
2245. 0
2255. 0
2265. 0
2275. 0
2285. 0
2295. 0
2305. 0
2315. 0

241
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E23000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,241 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 4
25. 2
35. 3
45. 3
55. 2
65. 2
75. 3
85. 3
95. 9
105. 6
115. 3
125. 4
135. 4
145. 3
155. 8
165. 4
175. 6
185. 4
195. 1
205. 5
215. 8
225. 8
235. 5
245. 7
255. 8
265. 6
275. 4
285. 6
295. 5
305. 10
315. 11
325. 4
335. 7
345. 4
355. 9
365. 7
375. 11
385. 9
395. 6
405. 11
415. 7
425. 7
435. 9
445. 13
455. 9
465. 9
475. 13
485. 13
495. 13
505. 5
515. 15
525. 6
535. 20
545. 15
555. 14
565. 9
575. 13
585. 12
595. 17
605. 17
615. 18
625. 20
635. 19
645. 17
655. 14
665. 22
675. 22
685. 18
695. 20
705. 25
715. 19
725. 25
735. 11
745. 25
755. 31
765. 25
775. 15
785. 21
795. 25
805. 30
815. 28
825. 26
835. 27
845. 30
855. 30
865. 36
875. 31
885. 33
895. 36
905. 32
915. 22
925. 35
935. 33
945. 32
955. 27
965. 41
975. 38
985. 45
995. 51
1005. 90
1015. 104
1025. 101
1035. 120
1045. 89
1055. 116
1065. 102
1075. 107
1085. 113
1095. 129
1105. 162
1115. 170
1125. 189
1135. 186
1145. 167
1155. 187
1165. 230
1175. 247
1185. 234
1195. 258
1205. 328
1215. 345
1225. 322
1235. 356
1245. 362
1255. 406
1265. 462
1275. 465
1285. 537
1295. 490
1305. 580
1315. 588
1325. 642
1335. 698
1345. 785
1355. 835
1365. 929
1375. 917
1385. 1032
1395. 1146
1405. 1260
1415. 1295
1425. 1386
1435. 1553
1445. 1661
1455. 1725
1465. 1938
1475. 2080
1485. 2177
1495. 2244
1505. 2472
1515. 2513
1525. 2814
1535. 2976
1545. 3205
1555. 3321
1565. 3413
1575. 3455
1585. 3566
1595. 3788
1605. 3627
1615. 3705
1625. 3724
1635. 3500
1645. 3270
1655. 2979
1665. 2751
1675. 2481
1685. 2087
1695. 1689
1705. 1299
1715. 1050
1725. 724
1735. 461
1745. 319
1755. 219
1765. 108
1775. 75
1785. 23
1795. 22
1805. 4
1815. 2
1825. 0
1835. 0
1845. 1
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0
2135. 0
2145. 0
2155. 0
2165. 0
2175. 0
2185. 0
2195. 0
2205. 0
2215. 0
2225. 0
2235. 0
2245. 0
2255. 0
2265. 0
2275. 0
2285. 0
2295. 0
2305. 0
2315. 0
2325. 0
2335. 0
2345. 0
2355. 0
2365. 0
2375. 0
2385. 0
2395. 0

74
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E3000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,74 @@
DEPTH PARTICLES
5. 91
15. 231
25. 307
35. 380
45. 433
55. 559
65. 571
75. 666
85. 728
95. 886
105. 920
115. 1065
125. 1156
135. 1276
145. 1386
155. 1618
165. 1735
175. 1882
185. 2106
195. 2318
205. 2507
215. 2768
225. 2888
235. 3171
245. 3410
255. 3488
265. 3805
275. 3999
285. 4017
295. 4088
305. 4222
315. 4200
325. 4119
335. 4013
345. 3761
355. 3637
365. 3336
375. 3020
385. 2613
395. 2190
405. 1923
415. 1474
425. 1269
435. 871
445. 684
455. 499
465. 331
475. 207
485. 131
495. 88
505. 45
515. 26
525. 11
535. 7
545. 3
555. 0
565. 0
575. 0
585. 0
595. 0
605. 0
615. 0
625. 0
635. 0
645. 0
655. 0
665. 0
675. 0
685. 0
695. 0
705. 0
715. 0
725. 0

82
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E4000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,82 @@
DEPTH PARTICLES
5. 53
15. 125
25. 165
35. 186
45. 228
55. 293
65. 335
75. 323
85. 353
95. 396
105. 493
115. 494
125. 564
135. 614
145. 708
155. 714
165. 855
175. 880
185. 953
195. 1139
205. 1213
215. 1415
225. 1444
235. 1639
245. 1719
255. 1882
265. 2091
275. 2249
285. 2493
295. 2568
305. 2897
315. 3020
325. 3065
335. 3373
345. 3435
355. 3782
365. 3844
375. 3909
385. 3950
395. 3968
405. 3944
415. 3861
425. 3723
435. 3490
445. 3258
455. 2875
465. 2556
475. 2219
485. 1957
495. 1616
505. 1279
515. 992
525. 812
535. 607
545. 399
555. 262
565. 148
575. 100
585. 47
595. 25
605. 13
615. 6
625. 4
635. 1
645. 0
655. 0
665. 0
675. 0
685. 0
695. 0
705. 0
715. 0
725. 0
735. 0
745. 0
755. 0
765. 0
775. 0
785. 0
795. 0
805. 0

91
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E5000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,91 @@
DEPTH PARTICLES
5. 36
15. 86
25. 84
35. 131
45. 125
55. 157
65. 160
75. 202
85. 195
95. 239
105. 300
115. 301
125. 299
135. 332
145. 410
155. 392
165. 431
175. 511
185. 521
195. 612
205. 637
215. 679
225. 769
235. 831
245. 952
255. 997
265. 1116
275. 1175
285. 1338
295. 1376
305. 1504
315. 1713
325. 1836
335. 1944
345. 2157
355. 2275
365. 2436
375. 2643
385. 2784
395. 3001
405. 2979
415. 3258
425. 3329
435. 3471
445. 3662
455. 3627
465. 3838
475. 3756
485. 3792
495. 3620
505. 3403
515. 3270
525. 3305
535. 3004
545. 2598
555. 2334
565. 1892
575. 1534
585. 1229
595. 921
605. 663
615. 520
625. 292
635. 216
645. 118
655. 100
665. 45
675. 27
685. 13
695. 3
705. 2
715. 1
725. 0
735. 1
745. 0
755. 0
765. 0
775. 0
785. 0
795. 0
805. 0
815. 0
825. 0
835. 0
845. 0
855. 0
865. 0
875. 0
885. 0
895. 0

99
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E6000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,99 @@
DEPTH PARTICLES
5. 28
15. 54
25. 72
35. 88
45. 79
55. 94
65. 117
75. 115
85. 150
95. 147
105. 161
115. 161
125. 199
135. 217
145. 209
155. 222
165. 257
175. 283
185. 329
195. 357
205. 385
215. 401
225. 483
235. 448
245. 536
255. 538
265. 637
275. 636
285. 667
295. 807
305. 815
315. 884
325. 1033
335. 1112
345. 1167
355. 1344
365. 1391
375. 1501
385. 1612
395. 1758
405. 1958
415. 2032
425. 2119
435. 2350
445. 2452
455. 2610
465. 2812
475. 2902
485. 3072
495. 3226
505. 3331
515. 3445
525. 3633
535. 3679
545. 3793
555. 3690
565. 3655
575. 3597
585. 3497
595. 3203
605. 2868
615. 2629
625. 2321
635. 1991
645. 1665
655. 1387
665. 1067
675. 755
685. 571
695. 409
705. 244
715. 179
725. 119
735. 55
745. 34
755. 15
765. 8
775. 4
785. 0
795. 3
805. 0
815. 0
825. 0
835. 1
845. 0
855. 0
865. 0
875. 0
885. 0
895. 0
905. 0
915. 0
925. 0
935. 0
945. 0
955. 0
965. 0
975. 0

106
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E7000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,106 @@
DEPTH PARTICLES
5. 13
15. 29
25. 37
35. 50
45. 58
55. 86
65. 56
75. 80
85. 87
95. 96
105. 119
115. 111
125. 130
135. 133
145. 139
155. 161
165. 184
175. 190
185. 189
195. 213
205. 250
215. 247
225. 284
235. 285
245. 312
255. 313
265. 372
275. 348
285. 424
295. 497
305. 443
315. 539
325. 580
335. 614
345. 676
355. 697
365. 825
375. 905
385. 955
395. 1047
405. 1088
415. 1118
425. 1255
435. 1321
445. 1436
455. 1574
465. 1697
475. 1813
485. 1955
495. 2059
505. 2230
515. 2325
525. 2672
535. 2806
545. 2918
555. 2990
565. 3283
575. 3371
585. 3459
595. 3582
605. 3646
615. 3633
625. 3736
635. 3623
645. 3345
655. 3265
665. 3140
675. 2927
685. 2551
695. 2283
705. 2112
715. 1794
725. 1421
735. 1120
745. 867
755. 634
765. 465
775. 294
785. 168
795. 131
805. 79
815. 54
825. 22
835. 10
845. 3
855. 3
865. 0
875. 0
885. 1
895. 0
905. 0
915. 0
925. 0
935. 0
945. 0
955. 0
965. 0
975. 0
985. 0
995. 0
1005. 0
1015. 0
1025. 0
1035. 0
1045. 0

113
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E8000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,113 @@
DEPTH PARTICLES
5. 10
15. 26
25. 43
35. 41
45. 43
55. 56
65. 47
75. 59
85. 71
95. 70
105. 84
115. 78
125. 74
135. 109
145. 92
155. 94
165. 119
175. 104
185. 137
195. 146
205. 162
215. 155
225. 176
235. 162
245. 193
255. 192
265. 189
275. 268
285. 226
295. 279
305. 309
315. 330
325. 370
335. 368
345. 446
355. 411
365. 491
375. 495
385. 499
395. 605
405. 605
415. 708
425. 744
435. 771
445. 909
455. 932
465. 1087
475. 1094
485. 1085
495. 1289
505. 1377
515. 1394
525. 1587
535. 1745
545. 1874
555. 2016
565. 2219
575. 2251
585. 2383
595. 2552
605. 2598
615. 2877
625. 2982
635. 3073
645. 3266
655. 3327
665. 3406
675. 3617
685. 3474
695. 3420
705. 3526
715. 3317
725. 3177
735. 3131
745. 2889
755. 2645
765. 2391
775. 2060
785. 1773
795. 1505
805. 1152
815. 875
825. 735
835. 522
845. 384
855. 233
865. 155
875. 130
885. 65
895. 27
905. 10
915. 14
925. 7
935. 2
945. 0
955. 1
965. 0
975. 0
985. 0
995. 0
1005. 0
1015. 0
1025. 0
1035. 0
1045. 0
1055. 0
1065. 0
1075. 0
1085. 0
1095. 0
1105. 0
1115. 0

120
doc/examples/DepthProfiles/1300x/TRIMSP/SiC_1300x_52nm_48nm_E9000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,120 @@
DEPTH PARTICLES
5. 9
15. 14
25. 24
35. 22
45. 36
55. 35
65. 39
75. 43
85. 51
95. 51
105. 67
115. 55
125. 54
135. 62
145. 67
155. 73
165. 76
175. 93
185. 83
195. 100
205. 100
215. 108
225. 107
235. 141
245. 144
255. 127
265. 147
275. 139
285. 172
295. 201
305. 187
315. 230
325. 199
335. 267
345. 243
355. 273
365. 303
375. 323
385. 351
395. 385
405. 396
415. 383
425. 449
435. 480
445. 513
455. 574
465. 552
475. 618
485. 706
495. 804
505. 786
515. 833
525. 979
535. 1034
545. 1121
555. 1257
565. 1262
575. 1403
585. 1494
595. 1660
605. 1703
615. 1838
625. 1958
635. 2151
645. 2320
655. 2288
665. 2599
675. 2626
685. 2786
695. 2916
705. 3020
715. 3219
725. 3298
735. 3256
745. 3243
755. 3372
765. 3421
775. 3475
785. 3214
795. 3099
805. 3019
815. 2845
825. 2586
835. 2474
845. 2130
855. 1820
865. 1487
875. 1285
885. 987
895. 744
905. 564
915. 392
925. 277
935. 186
945. 129
955. 72
965. 29
975. 27
985. 10
995. 6
1005. 3
1015. 0
1025. 0
1035. 0
1045. 0
1055. 0
1065. 0
1075. 0
1085. 0
1095. 0
1105. 0
1115. 0
1125. 0
1135. 0
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0
1185. 0

20
doc/examples/DepthProfiles/1300x/data/1300x_PECVD_Escan_260K_100G_withDiaFrac.dat Normal file
View File

@ -0,0 +1,20 @@
dataT dataTErr dataB dataE dataTr dataRALRAR dataRATRAB dataSpinRot Asy AsyPosErr AsyNegErr Sigma SigmaPosErr SigmaNegErr Ph PhPosErr PhNegErr Field FieldPosErr FieldNegErr RelPh_L RelPh_LPosErr RelPh_LNegErr N0_L N0_LPosErr N0_LNegErr N_bkg_L N_bkg_LPosErr N_bkg_LNegErr RelPh_T RelPh_TPosErr RelPh_TNegErr N0_T N0_TPosErr N0_TNegErr N_bkg_T N_bkg_TPosErr N_bkg_TNegErr RelPh_R RelPh_RPosErr RelPh_RNegErr alpha_LR alpha_LRPosErr alpha_LRNegErr N_bkg_R N_bkg_RPosErr N_bkg_RNegErr RelPh_B RelPh_BPosErr RelPh_BNegErr alpha_TB alpha_TBPosErr alpha_TBNegErr N_bkg_B N_bkg_BPosErr N_bkg_BNegErr maxLH NDF maxLHred RUN AsymCorrected AsymCorrectedErr AsymAg DiaFrac DiaFracErr
259.9980 0.0050 99.4870 21.9908 16.4943 -0.0090 -0.0090 -10.0000 0.0189 0.0009 0.0009 0.2110 0.0370 0.0380 6.9000 3.3000 3.3000 102.0700 0.3500 0.3600 0.0000 0.0000 0.0000 307.1100 0.3400 0.3500 6.4110 0.0520 0.0520 -90.0000 0.0000 0.0000 318.1600 0.3500 0.3400 6.6130 0.0520 0.0530 180.0000 0.0000 0.0000 0.9960 0.0016 0.0016 6.6640 0.0530 0.0520 90.0000 0.0000 0.0000 0.9709 0.0015 0.0015 6.4340 0.0520 0.0520 3626.0000 3648.0000 0.9940 1768.0000 0.0056 0.0009 0.2229 0.0253 0.0041
260.0010 0.0050 99.4860 20.9917 16.4944 -0.0100 -0.0090 -10.0000 0.0173 0.0008 0.0008 0.1150 0.0380 0.0480 14.6000 3.3000 3.3000 101.5700 0.2900 0.2900 0.0000 0.0000 0.0000 307.7100 0.3400 0.3400 6.2450 0.0520 0.0520 -90.0000 0.0000 0.0000 319.7600 0.3500 0.3500 6.4440 0.0530 0.0530 180.0000 0.0000 0.0000 0.9888 0.0016 0.0016 6.6200 0.0520 0.0520 90.0000 0.0000 0.0000 0.9675 0.0015 0.0015 6.2600 0.0520 0.0520 3534.0000 3648.0000 0.9688 1769.0000 0.0041 0.0008 0.2228 0.0186 0.0036
259.9990 0.0040 99.4850 19.9929 16.4944 -0.0090 -0.0090 -10.0000 0.0189 0.0008 0.0008 0.1850 0.0310 0.0320 12.8000 3.2000 3.2000 101.5500 0.3300 0.3300 0.0000 0.0000 0.0000 307.4900 0.3400 0.3400 6.1700 0.0520 0.0510 -90.0000 0.0000 0.0000 318.8100 0.3500 0.3500 6.4530 0.0520 0.0530 180.0000 0.0000 0.0000 0.9956 0.0016 0.0016 6.5020 0.0520 0.0520 90.0000 0.0000 0.0000 0.9658 0.0015 0.0015 6.3610 0.0520 0.0520 3714.3000 3648.0000 1.0182 1770.0000 0.0057 0.0008 0.2226 0.0257 0.0038
260.0000 0.0040 99.4800 18.9936 16.4944 -0.0090 -0.0090 -10.0000 0.0224 0.0009 0.0009 0.1440 0.0310 0.0350 11.3000 2.5000 2.5000 101.4700 0.2400 0.2400 0.0000 0.0000 0.0000 309.8000 0.3400 0.3400 6.1220 0.0520 0.0520 -90.0000 0.0000 0.0000 320.2200 0.3500 0.3500 6.4730 0.0530 0.0530 180.0000 0.0000 0.0000 0.9840 0.0016 0.0015 6.5210 0.0520 0.0520 90.0000 0.0000 0.0000 0.9671 0.0015 0.0015 6.3290 0.0520 0.0520 3693.7000 3648.0000 1.0125 1771.0000 0.0091 0.0009 0.2224 0.0411 0.0038
260.0000 0.0040 99.4840 17.9948 16.4944 -0.0090 -0.0090 -10.0000 0.0227 0.0008 0.0008 0.1160 0.0280 0.0330 7.8000 2.6000 2.6000 101.5600 0.2300 0.2300 0.0000 0.0000 0.0000 309.8600 0.3400 0.3400 6.2460 0.0520 0.0520 -90.0000 0.0000 0.0000 318.6400 0.3500 0.3500 6.5590 0.0530 0.0530 180.0000 0.0000 0.0000 0.9908 0.0016 0.0016 6.5410 0.0520 0.0520 90.0000 0.0000 0.0000 0.9674 0.0015 0.0015 6.2850 0.0520 0.0520 3799.8999 3648.0000 1.0416 1772.0000 0.0094 0.0008 0.2221 0.0425 0.0036
259.9990 0.0030 99.4800 16.9956 16.4944 -0.0090 -0.0090 -10.0000 0.0245 0.0008 0.0008 0.0550 0.0350 0.0550 9.7000 2.3000 2.3000 101.5300 0.1900 0.1900 0.0000 0.0000 0.0000 310.9500 0.3400 0.3400 6.1020 0.0520 0.0520 -90.0000 0.0000 0.0000 319.5300 0.3500 0.3500 6.3210 0.0530 0.0520 180.0000 0.0000 0.0000 0.9998 0.0016 0.0016 6.5870 0.0530 0.0520 90.0000 0.0000 0.0000 0.9641 0.0015 0.0015 6.2840 0.0520 0.0520 3579.0000 3648.0000 0.9811 1773.0000 0.0112 0.0008 0.2218 0.0507 0.0034
260.0010 0.0050 99.4830 15.9969 16.4944 -0.0090 -0.0100 -10.0000 0.0270 0.0008 0.0008 0.0940 0.0250 0.0310 18.5000 2.1000 2.1000 101.0900 0.1800 0.1800 0.0000 0.0000 0.0000 310.8400 0.3400 0.3400 6.1600 0.0520 0.0520 -90.0000 0.0000 0.0000 319.8000 0.3500 0.3500 6.4640 0.0530 0.0530 180.0000 0.0000 0.0000 0.9856 0.0016 0.0015 6.6430 0.0520 0.0520 90.0000 0.0000 0.0000 0.9620 0.0015 0.0015 6.2280 0.0520 0.0520 3668.1001 3648.0000 1.0055 1774.0000 0.0138 0.0008 0.2214 0.0622 0.0035
260.0000 0.0050 99.4800 14.9896 16.4944 -0.0090 -0.0100 -10.0000 0.0321 0.0008 0.0008 0.1090 0.0210 0.0240 21.3000 1.8000 1.8000 100.6400 0.1500 0.1600 0.0000 0.0000 0.0000 310.5100 0.3400 0.3400 6.0220 0.0520 0.0510 -90.0000 0.0000 0.0000 320.0000 0.3500 0.3500 6.3740 0.0520 0.0530 180.0000 0.0000 0.0000 0.9995 0.0016 0.0016 6.5310 0.0520 0.0520 90.0000 0.0000 0.0000 0.9638 0.0015 0.0015 6.2240 0.0520 0.0520 3688.7000 3648.0000 1.0112 1775.0000 0.0188 0.0008 0.2208 0.0852 0.0036
259.9990 0.0070 99.4840 13.9908 16.4944 -0.0100 -0.0100 -10.0000 0.0378 0.0008 0.0008 0.1390 0.0160 0.0170 13.9000 1.6000 1.6000 101.2900 0.1500 0.1500 0.0000 0.0000 0.0000 309.9200 0.3400 0.3500 6.2450 0.0520 0.0520 -90.0000 0.0000 0.0000 319.7900 0.3500 0.3500 6.3790 0.0520 0.0530 180.0000 0.0000 0.0000 1.0024 0.0016 0.0016 6.5540 0.0520 0.0520 90.0000 0.0000 0.0000 0.9592 0.0015 0.0015 6.2040 0.0520 0.0510 3584.0000 3648.0000 0.9825 1776.0000 0.0244 0.0008 0.2200 0.1109 0.0036
260.0010 0.0070 99.4800 12.9921 16.4944 -0.0090 -0.0100 -10.0000 0.0438 0.0008 0.0008 0.1140 0.0140 0.0150 11.7000 1.3000 1.3000 101.6000 0.1200 0.1200 0.0000 0.0000 0.0000 312.5200 0.3400 0.3500 6.1510 0.0520 0.0520 -90.0000 0.0000 0.0000 320.1200 0.3500 0.3400 6.3970 0.0520 0.0530 180.0000 0.0000 0.0000 0.9942 0.0016 0.0015 6.4640 0.0520 0.0520 90.0000 0.0000 0.0000 0.9622 0.0015 0.0015 6.1950 0.0520 0.0520 3427.6001 3648.0000 0.9396 1777.0000 0.0303 0.0008 0.2191 0.1385 0.0036
259.9980 0.0050 99.4800 11.9928 16.4945 -0.0090 -0.0090 -10.0000 0.0517 0.0008 0.0008 0.0930 0.0140 0.0160 14.3000 1.1000 1.1000 101.3650 0.0930 0.0930 0.0000 0.0000 0.0000 311.7100 0.3400 0.3500 6.0330 0.0520 0.0510 -90.0000 0.0000 0.0000 318.4700 0.3500 0.3400 6.3530 0.0520 0.0530 180.0000 0.0000 0.0000 0.9945 0.0016 0.0015 6.6250 0.0530 0.0520 90.0000 0.0000 0.0000 0.9632 0.0015 0.0015 6.0950 0.0520 0.0510 3576.7000 3648.0000 0.9805 1778.0000 0.0381 0.0008 0.2178 0.1751 0.0036
260.0020 0.0070 99.4760 10.9941 16.4945 -0.0100 -0.0090 -10.0000 0.0588 0.0008 0.0008 0.1200 0.0110 0.0110 15.0300 0.9900 0.9900 101.3480 0.0880 0.0880 0.0000 0.0000 0.0000 310.9300 0.3400 0.3400 6.2370 0.0520 0.0520 -90.0000 0.0000 0.0000 318.9400 0.3500 0.3400 6.3220 0.0520 0.0530 180.0000 0.0000 0.0000 0.9972 0.0016 0.0016 6.5920 0.0520 0.0520 90.0000 0.0000 0.0000 0.9630 0.0015 0.0015 6.1340 0.0520 0.0520 3697.3999 3648.0000 1.0135 1779.0000 0.0451 0.0008 0.2161 0.2085 0.0037
259.9990 0.0040 99.4780 9.9949 16.4944 -0.0090 -0.0090 -10.0000 0.0637 0.0008 0.0008 0.0840 0.0120 0.0130 18.0300 0.9000 0.8900 101.1790 0.0750 0.0760 0.0000 0.0000 0.0000 309.4700 0.3400 0.3400 6.1330 0.0520 0.0510 -90.0000 0.0000 0.0000 319.3200 0.3500 0.3500 6.2810 0.0520 0.0530 180.0000 0.0000 0.0000 1.0038 0.0016 0.0016 6.6150 0.0520 0.0530 90.0000 0.0000 0.0000 0.9603 0.0015 0.0015 6.0590 0.0520 0.0510 3728.6001 3648.0000 1.0221 1780.0000 0.0497 0.0008 0.2139 0.2321 0.0036
260.0010 0.0060 99.4820 8.9960 16.4945 -0.0090 -0.0090 -10.0000 0.0665 0.0008 0.0008 0.1030 0.0100 0.0110 18.6200 0.8600 0.8600 101.2670 0.0740 0.0740 0.0000 0.0000 0.0000 310.4800 0.3400 0.3500 5.9660 0.0520 0.0510 -90.0000 0.0000 0.0000 318.5100 0.3500 0.3400 6.3040 0.0520 0.0530 180.0000 0.0000 0.0000 0.9986 0.0016 0.0015 6.6620 0.0520 0.0530 90.0000 0.0000 0.0000 0.9627 0.0015 0.0015 6.1230 0.0520 0.0510 3587.3000 3648.0000 0.9834 1781.0000 0.0519 0.0008 0.2110 0.2462 0.0037
259.9990 0.0090 99.4800 6.9982 16.4945 -0.0090 -0.0090 -10.0000 0.0715 0.0008 0.0008 0.1211 0.0086 0.0091 17.1600 0.8200 0.8200 101.1230 0.0720 0.0730 0.0000 0.0000 0.0000 313.3200 0.3400 0.3500 5.9760 0.0520 0.0520 -90.0000 0.0000 0.0000 320.7800 0.3500 0.3500 6.2370 0.0520 0.0530 180.0000 0.0000 0.0000 0.9914 0.0016 0.0015 6.5660 0.0520 0.0520 90.0000 0.0000 0.0000 0.9568 0.0015 0.0015 6.0440 0.0520 0.0510 3532.3000 3648.0000 0.9683 1782.0000 0.0549 0.0008 0.2019 0.2721 0.0039
260.0010 0.0070 99.4800 5.0084 11.9989 -0.0080 -0.0080 -10.0000 0.0687 0.0008 0.0008 0.1333 0.0090 0.0093 19.4000 0.8400 0.8400 101.1300 0.0760 0.0760 0.0000 0.0000 0.0000 312.8000 0.3400 0.3500 5.6030 0.0510 0.0510 -90.0000 0.0000 0.0000 315.9700 0.3500 0.3400 5.8100 0.0510 0.0520 180.0000 0.0000 0.0000 1.0046 0.0016 0.0015 6.1330 0.0520 0.0520 90.0000 0.0000 0.0000 0.9559 0.0015 0.0015 5.5120 0.0510 0.0500 3703.7000 3648.0000 1.0153 1786.0000 0.0564 0.0008 0.1714 0.3291 0.0047
259.9990 0.0040 99.4800 4.0095 11.9989 -0.0080 -0.0080 -10.0000 0.0726 0.0008 0.0008 0.1520 0.0079 0.0080 18.6900 0.8300 0.8300 101.2350 0.0780 0.0780 0.0000 0.0000 0.0000 305.7300 0.3400 0.3400 5.5080 0.0510 0.0500 -90.0000 0.0000 0.0000 317.1300 0.3500 0.3400 5.8440 0.0520 0.0520 180.0000 0.0000 0.0000 1.0351 0.0016 0.0016 6.3320 0.0520 0.0520 90.0000 0.0000 0.0000 0.9532 0.0015 0.0015 5.7120 0.0510 0.0510 3675.3999 3648.0000 1.0075 1785.0000 0.0582 0.0008 0.1632 0.3564 0.0049
260.0000 0.0060 99.4800 3.0103 11.9989 -0.0080 -0.0080 -10.0000 0.0790 0.0008 0.0008 0.1489 0.0072 0.0073 18.9800 0.7500 0.7500 101.2100 0.0700 0.0700 0.0000 0.0000 0.0000 305.8800 0.3300 0.3400 4.7740 0.0500 0.0490 -90.0000 0.0000 0.0000 321.4400 0.3500 0.3400 5.1770 0.0510 0.0510 180.0000 0.0000 0.0000 1.0492 0.0016 0.0016 5.5870 0.0520 0.0510 90.0000 0.0000 0.0000 0.9542 0.0015 0.0015 4.9270 0.0500 0.0500 3820.3000 3648.0000 1.0472 1784.0000 0.0596 0.0008 0.1505 0.3960 0.0052
260.0010 0.0050 99.4800 2.0117 11.9990 -0.0080 -0.0080 -10.0000 0.0876 0.0008 0.0008 0.1596 0.0066 0.0068 20.6200 0.6800 0.6800 100.8890 0.0650 0.0650 0.0000 0.0000 0.0000 303.6100 0.3400 0.3400 5.4660 0.0510 0.0500 -90.0000 0.0000 0.0000 318.3500 0.3500 0.3400 5.7660 0.0510 0.0520 180.0000 0.0000 0.0000 1.0639 0.0017 0.0016 6.2660 0.0530 0.0530 90.0000 0.0000 0.0000 0.9477 0.0015 0.0015 5.6210 0.0510 0.0500 3815.1001 3648.0000 1.0458 1783.0000 0.0568 0.0008 0.1291 0.4397 0.0063

10
doc/examples/DepthProfiles/1300x/data/1300x_PECVD_Escan_260K_5G_noDiaFrac.dat Executable file
View File

@ -0,0 +1,10 @@
dataT dataTErr dataB dataE dataTr dataRALRAR dataRATRAB dataSpinRot Asym_Mu Asym_MuPosErr Asym_MuNegErr Lambda_Mu Lambda_MuPosErr Lambda_MuNegErr freq_Mu1 freq_Mu1PosErr freq_Mu1NegErr Asym_muon Asym_muonPosErr Asym_muonNegErr Sigma_muon Sigma_muonPosErr Sigma_muonNegErr field fieldPosErr fieldNegErr ph_LR ph_LRPosErr ph_LRNegErr Alpha_LR Alpha_LRPosErr Alpha_LRNegErr relph_TB relph_TBPosErr relph_TBNegErr relph_TB_Mu relph_TB_MuPosErr relph_TB_MuNegErr Alpha_TB Alpha_TBPosErr Alpha_TBNegErr Zero ZeroPosErr ZeroNegErr freqMu2 freqMu2PosErr freqMu2NegErr Asym_MuSiO2 Asym_MuSiO2PosErr Asym_MuSiO2NegErr Lambda_MuSiO2 Lambda_MuSiO2PosErr Lambda_MuSiO2NegErr freqMuSiO2 freqMuSiO2PosErr freqMuSiO2NegErr CHISQ NDF CHISQred RUN
259.999 0.006 4.48 21.9909 16.4945 -0.009 -0.009 -10 0.055 0.064 -0.021 7.2 5.8 -2.7 8.858 0.075 0.084 0.0282 0.0016 -0.0015 0.108 0.025 -0.028 6.03 0.17 0.18 -11.5 2.9 -2.9 0.9996 0.0026 -0.0025 -90 0 0 90 0 0 1.0013 0.0024 -0.0023 0 0 0 10.314 0.094 0.11 0 0 0 0 0 0 0 0 0 8745.7 8897 0.982994 1793
260 0.009 4.48 19.9929 16.4945 -0.009 -0.009 -10 0.037 0.02 -0.011 4.7 2.9 -1.5 8.858 0.075 0.084 0.0306 0.0019 -0.0017 0.137 0.027 -0.028 6.03 0.17 0.18 -11 3 -2.9 1.0026 0.0033 -0.003 -90 0 0 90 0 0 1.0027 0.0025 -0.0024 0 0 0 10.314 0.094 0.11 0 0 0 0 0 0 0 0 0 8745.7 8897 0.982994 1794
260 0.006 4.473 17.9949 16.4945 -0.009 -0.01 -10 0.046 0.017 -0.01 4.7 2 -1.2 8.858 0.075 0.084 0.0341 0.0018 -0.0017 0.212 0.022 -0.02 6.03 0.17 0.18 -13.3 2.4 -2.4 1.0115 0.0031 -0.0029 -90 0 0 90 0 0 0.9954 0.0021 -0.0021 0 0 0 10.314 0.094 0.11 0 0 0 0 0 0 0 0 0 8745.7 8897 0.982994 1795
260 0.007 4.475 15.997 16.4945 -0.009 -0.01 -10 0.0455 0.0104 -0.0083 3.7 1 -0.76 8.858 0.075 0.084 0.036 0.0019 -0.0018 0.21 0.023 -0.022 6.03 0.17 0.18 -6.1 2.4 -2.3 1.0039 0.0033 -0.0031 -90 0 0 90 0 0 1.0009 0.0022 -0.0021 0 0 0 10.314 0.094 0.11 0 0 0 0 0 0 0 0 0 8745.7 8897 0.982994 1796
260 0.007 4.476 13.9907 16.4945 -0.01 -0.01 -10 0.0258 0.0126 0.0087 2 1.4 0.87 10.16 0.12 0.1 0.0404 0.0039 0.0032 0.181 0.032 0.03 6.05 0.41 0.46 -0.6 4.5 4.4 0.9992 0.0061 0.0047 -90 0 0 90 0 0 1.0043 0.0052 0.0047 0 0 0 8.91 0.1 0.165 0 0 0 0 0 0 0 0 0 2038.1 2222 0.9172 1797
260 0.007 4.479 11.9929 16.4945 -0.009 -0.009 -10 0 0 0 0 0 0 9.2 9.9 9.9 0.0499 0.0008 0.0008 0.1606 0.0092 0.0092 7.0309 0.0077 0.0077 -7.81 0.57 0.57 0.995 0.0015 0.0015 -90 0 0 90 0 0 0.9879 0.0009 0.0009 0 0 0 -77.1 33.7 33.7 0.053 0.013 0.013 1.63 0.53 0.53 0 0 0 2197.2 2222 0.9888 1798
260 0.008 4.477 9.995 16.4945 -0.009 -0.009 -10 0 0 0 0 0 0 8.4 2.1 8.4 0.0589 0.0011 0.0011 0.119 0.01 0.01 7.004 0.013 0.014 -5 0.83 0.83 0.989 0.0018 0.0018 -90 0 0 90 0 0 0.9878 0.0016 0.0016 0 0 0 9.2 1.4 1.4 0.0855 0.0073 0.0067 1.53 0.2 0.17 0 0 0 2299.1001 2222 1.0347 1799
260 0.006 4.472 8.9961 16.4945 -0.01 -0.009 -10 0 0 0 0 0 0 10.214 0 0 0.0701 0.0011 0.001 0.0972 0.0091 0.0097 7.327 0.011 0.011 -3.59 0.67 0.67 0.9619 0.0017 0.0017 -90 0 0 90 0 0 0.988 0.0016 0.0016 0 0 0 6.764 0 0 0.0732 0.0055 0.0052 1.25 0.14 0.13 0 0 0 2343.2 2224 1.0536 1788
260 0.006 4.468 6.9983 16.4945 -0.01 -0.009 -10 0 0 0 0 0 0 10.214 0 0 0.0708 0.0011 0.0011 0.106 0.0086 0.009 7.295 0.016 0.017 -0.84 0.69 0.69 0.9535 0.0017 0.0017 -90 0 0 90 0 0 0.9884 0.0016 0.0016 0 0 0 6.764 0 0 0.0681 0.0064 0.0059 1.6 0.2 0.18 0 0 0 2271.8 2224 1.0215 1787

35
doc/examples/DepthProfiles/1300x/depth_profile_startup.xml Normal file
View File

@ -0,0 +1,35 @@
<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<nonlocal xmlns="http://nemu.web.psi.ch/musrfit/nonlocal">
<comment>
TrimSp information
</comment>
<trim_sp>
<data_path>./TRIMSP/</data_path>
<rge_fln_pre>SiC_1300x_52nm_48nm_E</rge_fln_pre>
<energy_list>
<energy>1000</energy>
<energy>2000</energy>
<energy>3000</energy>
<energy>4000</energy>
<energy>5000</energy>
<energy>6000</energy>
<energy>7000</energy>
<energy>8000</energy>
<energy>9000</energy>
<energy>10000</energy>
<energy>11000</energy>
<energy>12000</energy>
<energy>13000</energy>
<energy>14000</energy>
<energy>15000</energy>
<energy>16000</energy>
<energy>17000</energy>
<energy>17000</energy>
<energy>18000</energy>
<energy>19000</energy>
<energy>20000</energy>
<energy>21000</energy>
<energy>22000</energy>
</energy_list>
</trim_sp>
</nonlocal>

55
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/Si_PECVD_100G_260K_asym.msr Normal file
View File

@ -0,0 +1,55 @@
n/a
###############################################################
FITPARAMETER
# Nr. Name Value Step Pos_Error Boundaries
1 f1 0.11295 -0.00071 0.00071 0 1
2 f2 0.06790 -0.00078 0.00078
3 x1 107.83 0.17 none
###############################################################
THEORY
userFcn libPDepthProfile PDepthProfile 1 2 3
###############################################################
RUN data/Si10_260K_Escan_100GTF_withDiaFrac MUE4 PSI DAT (name beamline institute data-file-format)
fittype 8 (non muSR fit)
map 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
xy-data dataE Asy
fit 5 22
packing 1
###############################################################
COMMANDS
MINIMIZE
#HESSE
MINOS
SAVE
###############################################################
PLOT 8 (non muSR plot)
runs 1
range 5 25
###############################################################
STATISTIC --- 2023-02-16 15:35:37
chisq = 18.8, NDF = 8, chisq/NDF = 2.354740

55
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/Si_PECVD_100G_260K_diaFrac.msr Normal file
View File

@ -0,0 +1,55 @@
n/a
###############################################################
FITPARAMETER
# Nr. Name Value Step Pos_Error Boundaries
1 f1 0.49635 0.00035 none 0 1
2 f2 0.26714 0.00057 none
3 x1 107.4 3.3 none
###############################################################
THEORY
userFcn libPDepthProfile PDepthProfile 1 2 3
###############################################################
RUN data/Si10_260K_Escan_100GTF_withDiaFrac MUE4 PSI DAT (name beamline institute data-file-format)
fittype 8 (non muSR fit)
map 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
xy-data dataE DiaFrac
fit 5 22
packing 1
###############################################################
COMMANDS
MINIMIZE
#HESSE
MINOS
SAVE
###############################################################
PLOT 8 (non muSR plot)
runs 1
range 0 25
###############################################################
STATISTIC --- 2023-02-16 15:47:33
chisq = 13.2, NDF = 8, chisq/NDF = 1.645757

54
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E1000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,54 @@
DEPTH PARTICLES
5. 99
15. 225
25. 275
35. 306
45. 345
55. 396
65. 419
75. 480
85. 478
95. 478
105. 510
115. 501
125. 505
135. 487
145. 456
155. 425
165. 389
175. 400
185. 330
195. 299
205. 252
215. 218
225. 191
235. 144
245. 112
255. 84
265. 76
275. 53
285. 36
295. 25
305. 24
315. 11
325. 6
335. 4
345. 3
355. 0
365. 0
375. 1
385. 0
395. 0
405. 0
415. 0
425. 0
435. 0
445. 0
455. 0
465. 0
475. 0
485. 0
495. 0
505. 0
515. 0
525. 0

135
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E10000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,135 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 2
25. 2
35. 0
45. 1
55. 0
65. 3
75. 3
85. 4
95. 7
105. 5
115. 4
125. 2
135. 3
145. 3
155. 7
165. 9
175. 4
185. 7
195. 4
205. 5
215. 9
225. 5
235. 8
245. 6
255. 6
265. 7
275. 13
285. 11
295. 12
305. 15
315. 10
325. 11
335. 13
345. 18
355. 16
365. 13
375. 21
385. 21
395. 21
405. 18
415. 18
425. 20
435. 18
445. 25
455. 25
465. 28
475. 38
485. 32
495. 38
505. 33
515. 47
525. 33
535. 36
545. 67
555. 52
565. 49
575. 59
585. 69
595. 88
605. 73
615. 85
625. 84
635. 92
645. 81
655. 102
665. 129
675. 132
685. 131
695. 137
705. 143
715. 153
725. 166
735. 157
745. 193
755. 210
765. 203
775. 205
785. 208
795. 241
805. 249
815. 227
825. 255
835. 278
845. 277
855. 267
865. 303
875. 297
885. 267
895. 316
905. 325
915. 303
925. 283
935. 257
945. 296
955. 254
965. 212
975. 221
985. 167
995. 178
1005. 145
1015. 145
1025. 98
1035. 71
1045. 76
1055. 45
1065. 37
1075. 26
1085. 12
1095. 12
1105. 3
1115. 4
1125. 1
1135. 1
1145. 0
1155. 1
1165. 0
1175. 0
1185. 0
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0

144
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E11000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,144 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 4
25. 1
35. 2
45. 3
55. 2
65. 2
75. 5
85. 3
95. 4
105. 1
115. 1
125. 1
135. 3
145. 3
155. 3
165. 4
175. 6
185. 5
195. 4
205. 3
215. 1
225. 3
235. 7
245. 6
255. 8
265. 7
275. 7
285. 5
295. 3
305. 11
315. 11
325. 6
335. 8
345. 15
355. 15
365. 13
375. 10
385. 11
395. 17
405. 18
415. 17
425. 14
435. 19
445. 15
455. 17
465. 17
475. 22
485. 18
495. 31
505. 27
515. 33
525. 30
535. 33
545. 21
555. 31
565. 43
575. 38
585. 36
595. 26
605. 56
615. 46
625. 55
635. 63
645. 66
655. 68
665. 72
675. 68
685. 89
695. 99
705. 93
715. 99
725. 105
735. 113
745. 116
755. 117
765. 126
775. 130
785. 135
795. 163
805. 133
815. 179
825. 183
835. 187
845. 172
855. 224
865. 227
875. 245
885. 277
895. 268
905. 266
915. 269
925. 285
935. 249
945. 294
955. 241
965. 310
975. 279
985. 298
995. 297
1005. 245
1015. 283
1025. 222
1035. 247
1045. 204
1055. 214
1065. 235
1075. 189
1085. 146
1095. 128
1105. 96
1115. 77
1125. 56
1135. 57
1145. 27
1155. 17
1165. 12
1175. 5
1185. 5
1195. 3
1205. 1
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0

151
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E12000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,151 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 1
25. 1
35. 1
45. 1
55. 2
65. 2
75. 3
85. 0
95. 1
105. 0
115. 1
125. 4
135. 1
145. 3
155. 4
165. 2
175. 3
185. 5
195. 2
205. 0
215. 2
225. 4
235. 6
245. 3
255. 9
265. 5
275. 7
285. 7
295. 3
305. 7
315. 7
325. 6
335. 9
345. 5
355. 8
365. 9
375. 7
385. 8
395. 8
405. 10
415. 11
425. 9
435. 14
445. 20
455. 9
465. 17
475. 14
485. 18
495. 15
505. 15
515. 22
525. 16
535. 19
545. 21
555. 20
565. 25
575. 29
585. 24
595. 25
605. 35
615. 35
625. 40
635. 30
645. 35
655. 41
665. 35
675. 51
685. 41
695. 49
705. 44
715. 50
725. 61
735. 58
745. 68
755. 89
765. 91
775. 103
785. 83
795. 103
805. 88
815. 101
825. 136
835. 117
845. 127
855. 168
865. 167
875. 147
885. 162
895. 192
905. 195
915. 196
925. 187
935. 190
945. 216
955. 215
965. 241
975. 237
985. 228
995. 242
1005. 266
1015. 288
1025. 274
1035. 276
1045. 266
1055. 325
1065. 314
1075. 314
1085. 301
1095. 300
1105. 267
1115. 263
1125. 241
1135. 208
1145. 183
1155. 167
1165. 139
1175. 109
1185. 70
1195. 56
1205. 44
1215. 27
1225. 22
1235. 21
1245. 6
1255. 4
1265. 2
1275. 3
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0

159
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E13000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,159 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 0
25. 0
35. 0
45. 0
55. 1
65. 2
75. 1
85. 1
95. 1
105. 1
115. 2
125. 2
135. 5
145. 2
155. 5
165. 2
175. 5
185. 2
195. 5
205. 1
215. 5
225. 4
235. 3
245. 5
255. 7
265. 5
275. 3
285. 6
295. 3
305. 4
315. 5
325. 3
335. 7
345. 4
355. 1
365. 4
375. 6
385. 7
395. 2
405. 2
415. 10
425. 8
435. 4
445. 8
455. 13
465. 12
475. 8
485. 11
495. 12
505. 16
515. 15
525. 12
535. 15
545. 15
555. 14
565. 16
575. 13
585. 22
595. 21
605. 23
615. 18
625. 14
635. 27
645. 25
655. 23
665. 28
675. 27
685. 34
695. 36
705. 29
715. 41
725. 45
735. 39
745. 44
755. 47
765. 47
775. 35
785. 69
795. 64
805. 59
815. 75
825. 59
835. 73
845. 83
855. 81
865. 92
875. 96
885. 97
895. 113
905. 124
915. 107
925. 135
935. 159
945. 147
955. 156
965. 166
975. 161
985. 169
995. 172
1005. 198
1015. 201
1025. 190
1035. 206
1045. 234
1055. 272
1065. 279
1075. 286
1085. 321
1095. 301
1105. 306
1115. 314
1125. 345
1135. 326
1145. 314
1155. 316
1165. 315
1175. 295
1185. 254
1195. 219
1205. 208
1215. 187
1225. 171
1235. 112
1245. 130
1255. 73
1265. 59
1275. 34
1285. 34
1295. 25
1305. 18
1315. 5
1325. 7
1335. 2
1345. 0
1355. 2
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0

167
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E14000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,167 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 0
35. 0
45. 3
55. 1
65. 3
75. 1
85. 1
95. 0
105. 2
115. 2
125. 4
135. 0
145. 1
155. 1
165. 2
175. 2
185. 2
195. 6
205. 2
215. 3
225. 3
235. 5
245. 0
255. 8
265. 3
275. 5
285. 1
295. 1
305. 1
315. 7
325. 4
335. 4
345. 9
355. 4
365. 7
375. 3
385. 5
395. 4
405. 3
415. 8
425. 12
435. 5
445. 6
455. 6
465. 5
475. 3
485. 13
495. 10
505. 7
515. 8
525. 6
535. 8
545. 20
555. 13
565. 9
575. 14
585. 12
595. 20
605. 15
615. 8
625. 12
635. 16
645. 15
655. 14
665. 23
675. 19
685. 19
695. 30
705. 19
715. 22
725. 32
735. 27
745. 22
755. 23
765. 26
775. 40
785. 34
795. 47
805. 45
815. 49
825. 35
835. 57
845. 51
855. 63
865. 49
875. 63
885. 64
895. 56
905. 54
915. 71
925. 75
935. 97
945. 90
955. 78
965. 108
975. 102
985. 101
995. 148
1005. 145
1015. 127
1025. 138
1035. 146
1045. 159
1055. 166
1065. 202
1075. 217
1085. 213
1095. 232
1105. 230
1115. 270
1125. 264
1135. 306
1145. 283
1155. 291
1165. 290
1175. 314
1185. 313
1195. 312
1205. 319
1215. 331
1225. 272
1235. 283
1245. 314
1255. 236
1265. 257
1275. 198
1285. 183
1295. 160
1305. 146
1315. 116
1325. 92
1335. 69
1345. 43
1355. 44
1365. 30
1375. 16
1385. 3
1395. 10
1405. 6
1415. 4
1425. 0
1435. 2
1445. 1
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0

176
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E15000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,176 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 1
25. 0
35. 0
45. 3
55. 3
65. 1
75. 1
85. 0
95. 1
105. 1
115. 1
125. 0
135. 0
145. 0
155. 3
165. 0
175. 2
185. 2
195. 3
205. 1
215. 1
225. 1
235. 2
245. 3
255. 4
265. 3
275. 2
285. 3
295. 2
305. 3
315. 1
325. 3
335. 1
345. 6
355. 4
365. 1
375. 1
385. 3
395. 5
405. 4
415. 5
425. 6
435. 3
445. 2
455. 7
465. 7
475. 7
485. 6
495. 7
505. 4
515. 5
525. 6
535. 5
545. 7
555. 11
565. 9
575. 8
585. 12
595. 8
605. 8
615. 5
625. 14
635. 12
645. 10
655. 10
665. 13
675. 10
685. 16
695. 13
705. 12
715. 19
725. 17
735. 17
745. 13
755. 17
765. 22
775. 23
785. 27
795. 19
805. 23
815. 29
825. 26
835. 43
845. 20
855. 34
865. 34
875. 37
885. 32
895. 41
905. 54
915. 34
925. 41
935. 58
945. 57
955. 63
965. 64
975. 64
985. 72
995. 73
1005. 80
1015. 75
1025. 79
1035. 99
1045. 128
1055. 121
1065. 132
1075. 132
1085. 157
1095. 171
1105. 184
1115. 188
1125. 200
1135. 201
1145. 198
1155. 220
1165. 238
1175. 258
1185. 220
1195. 271
1205. 292
1215. 337
1225. 282
1235. 275
1245. 299
1255. 322
1265. 307
1275. 290
1285. 281
1295. 330
1305. 259
1315. 251
1325. 251
1335. 213
1345. 227
1355. 227
1365. 153
1375. 145
1385. 122
1395. 92
1405. 75
1415. 60
1425. 44
1435. 30
1445. 21
1455. 20
1465. 7
1475. 5
1485. 2
1495. 2
1505. 0
1515. 0
1525. 1
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0

187
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E16000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,187 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 1
35. 1
45. 0
55. 0
65. 0
75. 3
85. 1
95. 0
105. 1
115. 0
125. 0
135. 1
145. 1
155. 0
165. 2
175. 1
185. 0
195. 2
205. 0
215. 0
225. 3
235. 1
245. 3
255. 0
265. 0
275. 2
285. 0
295. 0
305. 2
315. 4
325. 1
335. 4
345. 5
355. 1
365. 1
375. 0
385. 3
395. 3
405. 4
415. 2
425. 4
435. 4
445. 1
455. 3
465. 1
475. 6
485. 4
495. 4
505. 6
515. 6
525. 4
535. 3
545. 3
555. 7
565. 9
575. 9
585. 5
595. 5
605. 5
615. 10
625. 6
635. 8
645. 9
655. 10
665. 10
675. 6
685. 13
695. 9
705. 9
715. 10
725. 10
735. 16
745. 16
755. 21
765. 13
775. 25
785. 16
795. 18
805. 18
815. 15
825. 23
835. 22
845. 21
855. 26
865. 22
875. 18
885. 27
895. 33
905. 27
915. 20
925. 30
935. 46
945. 45
955. 52
965. 40
975. 32
985. 52
995. 61
1005. 51
1015. 46
1025. 68
1035. 59
1045. 61
1055. 63
1065. 77
1075. 115
1085. 89
1095. 104
1105. 122
1115. 119
1125. 125
1135. 116
1145. 134
1155. 150
1165. 146
1175. 158
1185. 156
1195. 191
1205. 189
1215. 201
1225. 194
1235. 258
1245. 229
1255. 267
1265. 248
1275. 252
1285. 240
1295. 276
1305. 301
1315. 311
1325. 298
1335. 277
1345. 288
1355. 295
1365. 281
1375. 282
1385. 242
1395. 279
1405. 242
1415. 233
1425. 190
1435. 175
1445. 158
1455. 150
1465. 115
1475. 95
1485. 69
1495. 57
1505. 41
1515. 40
1525. 10
1535. 12
1545. 10
1555. 2
1565. 5
1575. 1
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0
1625. 0
1635. 0
1645. 0
1655. 0
1665. 0
1675. 0
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0

197
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E17000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,197 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 0
35. 0
45. 0
55. 2
65. 1
75. 1
85. 1
95. 0
105. 1
115. 1
125. 1
135. 1
145. 1
155. 0
165. 1
175. 1
185. 1
195. 3
205. 3
215. 1
225. 0
235. 0
245. 1
255. 1
265. 2
275. 1
285. 2
295. 2
305. 3
315. 0
325. 4
335. 2
345. 2
355. 2
365. 2
375. 3
385. 3
395. 6
405. 2
415. 2
425. 3
435. 4
445. 4
455. 2
465. 2
475. 3
485. 2
495. 2
505. 4
515. 1
525. 3
535. 7
545. 3
555. 6
565. 4
575. 2
585. 3
595. 9
605. 6
615. 5
625. 4
635. 6
645. 6
655. 7
665. 6
675. 4
685. 6
695. 6
705. 9
715. 5
725. 9
735. 17
745. 6
755. 5
765. 9
775. 5
785. 7
795. 12
805. 15
815. 20
825. 15
835. 21
845. 18
855. 17
865. 14
875. 11
885. 13
895. 11
905. 17
915. 16
925. 22
935. 29
945. 21
955. 20
965. 22
975. 24
985. 27
995. 29
1005. 34
1015. 33
1025. 36
1035. 38
1045. 41
1055. 62
1065. 54
1075. 59
1085. 58
1095. 62
1105. 64
1115. 84
1125. 84
1135. 78
1145. 73
1155. 112
1165. 97
1175. 97
1185. 108
1195. 119
1205. 114
1215. 115
1225. 145
1235. 161
1245. 171
1255. 166
1265. 178
1275. 186
1285. 187
1295. 197
1305. 217
1315. 242
1325. 235
1335. 208
1345. 271
1355. 272
1365. 277
1375. 264
1385. 249
1395. 290
1405. 305
1415. 281
1425. 286
1435. 300
1445. 258
1455. 281
1465. 281
1475. 239
1485. 242
1495. 211
1505. 193
1515. 165
1525. 142
1535. 117
1545. 92
1555. 100
1565. 104
1575. 59
1585. 39
1595. 31
1605. 22
1615. 13
1625. 11
1635. 6
1645. 3
1655. 4
1665. 2
1675. 1
1685. 0
1695. 0
1705. 0
1715. 0
1725. 0
1735. 0
1745. 0
1755. 0
1765. 0
1775. 0
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0

210
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E18000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,210 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 1
35. 0
45. 1
55. 0
65. 1
75. 0
85. 0
95. 1
105. 3
115. 0
125. 0
135. 0
145. 0
155. 1
165. 0
175. 0
185. 1
195. 0
205. 0
215. 1
225. 2
235. 3
245. 0
255. 2
265. 1
275. 2
285. 2
295. 2
305. 2
315. 0
325. 1
335. 1
345. 1
355. 1
365. 1
375. 1
385. 0
395. 2
405. 5
415. 2
425. 1
435. 0
445. 3
455. 2
465. 1
475. 1
485. 0
495. 5
505. 4
515. 1
525. 3
535. 6
545. 1
555. 3
565. 4
575. 6
585. 4
595. 4
605. 5
615. 3
625. 2
635. 7
645. 4
655. 2
665. 3
675. 6
685. 6
695. 8
705. 4
715. 7
725. 8
735. 6
745. 8
755. 7
765. 8
775. 9
785. 13
795. 11
805. 7
815. 6
825. 17
835. 7
845. 15
855. 19
865. 14
875. 7
885. 16
895. 17
905. 10
915. 13
925. 14
935. 16
945. 10
955. 12
965. 13
975. 12
985. 19
995. 23
1005. 18
1015. 30
1025. 26
1035. 34
1045. 28
1055. 31
1065. 39
1075. 35
1085. 29
1095. 48
1105. 37
1115. 38
1125. 47
1135. 52
1145. 65
1155. 65
1165. 68
1175. 80
1185. 84
1195. 71
1205. 80
1215. 93
1225. 71
1235. 102
1245. 86
1255. 101
1265. 117
1275. 114
1285. 123
1295. 135
1305. 127
1315. 156
1325. 169
1335. 155
1345. 168
1355. 176
1365. 171
1375. 212
1385. 221
1395. 223
1405. 231
1415. 246
1425. 224
1435. 236
1445. 249
1455. 263
1465. 285
1475. 274
1485. 268
1495. 264
1505. 281
1515. 277
1525. 291
1535. 253
1545. 252
1555. 257
1565. 229
1575. 206
1585. 183
1595. 191
1605. 174
1615. 129
1625. 117
1635. 101
1645. 79
1655. 62
1665. 37
1675. 32
1685. 27
1695. 15
1705. 9
1715. 10
1725. 6
1735. 6
1745. 0
1755. 0
1765. 1
1775. 1
1785. 0
1795. 0
1805. 0
1815. 0
1825. 0
1835. 0
1845. 0
1855. 0
1865. 0
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0

214
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E19000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,214 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 1
35. 0
45. 1
55. 0
65. 1
75. 1
85. 0
95. 1
105. 0
115. 3
125. 0
135. 0
145. 0
155. 1
165. 1
175. 1
185. 1
195. 2
205. 2
215. 2
225. 1
235. 2
245. 3
255. 1
265. 3
275. 1
285. 2
295. 2
305. 1
315. 2
325. 2
335. 1
345. 2
355. 3
365. 1
375. 4
385. 1
395. 2
405. 1
415. 2
425. 2
435. 0
445. 4
455. 3
465. 1
475. 1
485. 4
495. 0
505. 3
515. 3
525. 6
535. 2
545. 3
555. 3
565. 3
575. 5
585. 1
595. 6
605. 3
615. 2
625. 2
635. 3
645. 2
655. 3
665. 6
675. 3
685. 9
695. 3
705. 6
715. 3
725. 7
735. 2
745. 7
755. 5
765. 4
775. 3
785. 10
795. 6
805. 3
815. 7
825. 9
835. 8
845. 7
855. 7
865. 11
875. 5
885. 11
895. 7
905. 11
915. 10
925. 12
935. 15
945. 7
955. 8
965. 14
975. 10
985. 21
995. 16
1005. 11
1015. 18
1025. 15
1035. 13
1045. 21
1055. 22
1065. 26
1075. 14
1085. 22
1095. 23
1105. 27
1115. 37
1125. 30
1135. 39
1145. 38
1155. 37
1165. 36
1175. 39
1185. 53
1195. 51
1205. 54
1215. 50
1225. 70
1235. 66
1245. 63
1255. 74
1265. 82
1275. 83
1285. 92
1295. 86
1305. 86
1315. 81
1325. 100
1335. 83
1345. 124
1355. 114
1365. 116
1375. 140
1385. 135
1395. 153
1405. 161
1415. 161
1425. 182
1435. 168
1445. 197
1455. 202
1465. 192
1475. 215
1485. 190
1495. 215
1505. 224
1515. 231
1525. 257
1535. 228
1545. 266
1555. 259
1565. 276
1575. 264
1585. 273
1595. 275
1605. 261
1615. 232
1625. 234
1635. 251
1645. 221
1655. 198
1665. 201
1675. 170
1685. 147
1695. 169
1705. 134
1715. 122
1725. 89
1735. 88
1745. 47
1755. 43
1765. 47
1775. 21
1785. 13
1795. 18
1805. 8
1815. 5
1825. 0
1835. 1
1845. 2
1855. 1
1865. 1
1875. 0
1885. 0
1895. 0
1905. 0
1915. 0
1925. 0
1935. 0
1945. 0
1955. 0
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0

66
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E2000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,66 @@
DEPTH PARTICLES
5. 18
15. 60
25. 74
35. 101
45. 90
55. 134
65. 142
75. 150
85. 159
95. 216
105. 196
115. 274
125. 255
135. 249
145. 313
155. 322
165. 368
175. 380
185. 390
195. 397
205. 410
215. 386
225. 456
235. 416
245. 394
255. 401
265. 391
275. 346
285. 328
295. 316
305. 247
315. 264
325. 198
335. 156
345. 154
355. 120
365. 84
375. 63
385. 30
395. 33
405. 18
415. 18
425. 12
435. 5
445. 4
455. 2
465. 0
475. 1
485. 0
495. 0
505. 0
515. 0
525. 0
535. 0
545. 0
555. 0
565. 0
575. 0
585. 0
595. 0
605. 0
615. 0
625. 0
635. 0
645. 0

225
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E20000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,225 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 0
35. 0
45. 1
55. 1
65. 0
75. 0
85. 0
95. 1
105. 1
115. 2
125. 0
135. 0
145. 0
155. 0
165. 1
175. 0
185. 0
195. 0
205. 0
215. 1
225. 1
235. 1
245. 0
255. 2
265. 0
275. 0
285. 1
295. 1
305. 1
315. 0
325. 4
335. 0
345. 0
355. 1
365. 2
375. 0
385. 1
395. 1
405. 1
415. 3
425. 0
435. 3
445. 2
455. 2
465. 1
475. 1
485. 3
495. 1
505. 3
515. 2
525. 1
535. 3
545. 3
555. 4
565. 2
575. 1
585. 4
595. 3
605. 1
615. 4
625. 3
635. 2
645. 1
655. 3
665. 2
675. 3
685. 2
695. 2
705. 3
715. 4
725. 4
735. 1
745. 2
755. 5
765. 3
775. 6
785. 4
795. 4
805. 7
815. 3
825. 9
835. 9
845. 4
855. 7
865. 7
875. 6
885. 4
895. 4
905. 6
915. 4
925. 7
935. 8
945. 13
955. 7
965. 10
975. 11
985. 16
995. 4
1005. 4
1015. 9
1025. 14
1035. 15
1045. 10
1055. 11
1065. 16
1075. 21
1085. 17
1095. 16
1105. 17
1115. 16
1125. 25
1135. 21
1145. 20
1155. 26
1165. 25
1175. 27
1185. 26
1195. 36
1205. 44
1215. 34
1225. 37
1235. 23
1245. 37
1255. 40
1265. 46
1275. 50
1285. 46
1295. 55
1305. 61
1315. 63
1325. 62
1335. 79
1345. 60
1355. 65
1365. 67
1375. 84
1385. 78
1395. 75
1405. 108
1415. 103
1425. 104
1435. 120
1445. 126
1455. 131
1465. 115
1475. 130
1485. 158
1495. 146
1505. 185
1515. 154
1525. 186
1535. 172
1545. 198
1555. 212
1565. 199
1575. 200
1585. 220
1595. 232
1605. 253
1615. 222
1625. 235
1635. 251
1645. 251
1655. 290
1665. 240
1675. 258
1685. 257
1695. 260
1705. 258
1715. 254
1725. 271
1735. 212
1745. 191
1755. 179
1765. 210
1775. 170
1785. 146
1795. 124
1805. 114
1815. 99
1825. 54
1835. 65
1845. 48
1855. 31
1865. 27
1875. 21
1885. 9
1895. 13
1905. 5
1915. 4
1925. 3
1935. 2
1945. 1
1955. 1
1965. 0
1975. 0
1985. 0
1995. 0
2005. 0
2015. 0
2025. 0
2035. 0
2045. 0
2055. 0
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0
2135. 0
2145. 0
2155. 0
2165. 0
2175. 0
2185. 0
2195. 0
2205. 0
2215. 0
2225. 0
2235. 0

233
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E21000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,233 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 0
35. 0
45. 0
55. 0
65. 1
75. 0
85. 1
95. 0
105. 1
115. 0
125. 0
135. 1
145. 0
155. 0
165. 0
175. 1
185. 1
195. 1
205. 0
215. 1
225. 1
235. 2
245. 2
255. 1
265. 0
275. 0
285. 3
295. 3
305. 0
315. 1
325. 0
335. 0
345. 0
355. 1
365. 1
375. 1
385. 0
395. 2
405. 0
415. 0
425. 0
435. 3
445. 1
455. 1
465. 3
475. 3
485. 2
495. 2
505. 3
515. 1
525. 0
535. 5
545. 4
555. 2
565. 2
575. 1
585. 4
595. 8
605. 3
615. 4
625. 2
635. 4
645. 1
655. 2
665. 0
675. 1
685. 1
695. 2
705. 3
715. 4
725. 4
735. 2
745. 2
755. 3
765. 0
775. 2
785. 7
795. 1
805. 4
815. 5
825. 4
835. 5
845. 3
855. 5
865. 4
875. 4
885. 2
895. 5
905. 5
915. 1
925. 4
935. 7
945. 1
955. 6
965. 6
975. 9
985. 2
995. 6
1005. 7
1015. 10
1025. 13
1035. 4
1045. 9
1055. 7
1065. 17
1075. 5
1085. 17
1095. 16
1105. 16
1115. 20
1125. 19
1135. 19
1145. 17
1155. 20
1165. 14
1175. 15
1185. 29
1195. 22
1205. 30
1215. 31
1225. 22
1235. 22
1245. 27
1255. 18
1265. 29
1275. 37
1285. 34
1295. 27
1305. 41
1315. 33
1325. 33
1335. 53
1345. 54
1355. 55
1365. 54
1375. 49
1385. 52
1395. 66
1405. 48
1415. 66
1425. 67
1435. 74
1445. 83
1455. 70
1465. 80
1475. 90
1485. 90
1495. 88
1505. 108
1515. 116
1525. 109
1535. 112
1545. 123
1555. 141
1565. 122
1575. 163
1585. 159
1595. 140
1605. 154
1615. 173
1625. 168
1635. 200
1645. 197
1655. 200
1665. 213
1675. 248
1685. 245
1695. 214
1705. 236
1715. 249
1725. 245
1735. 262
1745. 225
1755. 259
1765. 258
1775. 248
1785. 222
1795. 243
1805. 247
1815. 221
1825. 221
1835. 190
1845. 190
1855. 158
1865. 144
1875. 140
1885. 125
1895. 106
1905. 88
1915. 78
1925. 79
1935. 50
1945. 41
1955. 46
1965. 24
1975. 23
1985. 9
1995. 11
2005. 5
2015. 3
2025. 2
2035. 5
2045. 1
2055. 1
2065. 0
2075. 0
2085. 0
2095. 0
2105. 0
2115. 0
2125. 0
2135. 0
2145. 0
2155. 0
2165. 0
2175. 0
2185. 0
2195. 0
2205. 0
2215. 0
2225. 0
2235. 0
2245. 0
2255. 0
2265. 0
2275. 0
2285. 0
2295. 0
2305. 0
2315. 0

243
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E22000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,243 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 2
35. 0
45. 0
55. 0
65. 1
75. 0
85. 0
95. 1
105. 0
115. 0
125. 1
135. 0
145. 0
155. 0
165. 0
175. 0
185. 1
195. 0
205. 1
215. 0
225. 1
235. 0
245. 0
255. 0
265. 0
275. 0
285. 1
295. 1
305. 1
315. 2
325. 0
335. 0
345. 2
355. 1
365. 3
375. 0
385. 0
395. 0
405. 0
415. 0
425. 0
435. 1
445. 0
455. 2
465. 2
475. 1
485. 1
495. 1
505. 0
515. 1
525. 1
535. 2
545. 0
555. 2
565. 2
575. 1
585. 1
595. 1
605. 2
615. 3
625. 2
635. 2
645. 4
655. 7
665. 1
675. 1
685. 2
695. 0
705. 1
715. 3
725. 3
735. 1
745. 1
755. 2
765. 3
775. 3
785. 3
795. 5
805. 5
815. 4
825. 1
835. 1
845. 3
855. 6
865. 4
875. 9
885. 3
895. 8
905. 2
915. 1
925. 5
935. 4
945. 5
955. 5
965. 4
975. 6
985. 7
995. 5
1005. 6
1015. 7
1025. 3
1035. 3
1045. 5
1055. 10
1065. 8
1075. 10
1085. 9
1095. 7
1105. 10
1115. 14
1125. 10
1135. 12
1145. 9
1155. 13
1165. 16
1175. 8
1185. 13
1195. 17
1205. 16
1215. 12
1225. 20
1235. 21
1245. 25
1255. 21
1265. 26
1275. 16
1285. 17
1295. 23
1305. 26
1315. 37
1325. 31
1335. 25
1345. 28
1355. 31
1365. 29
1375. 25
1385. 30
1395. 33
1405. 33
1415. 35
1425. 39
1435. 34
1445. 48
1455. 48
1465. 58
1475. 51
1485. 59
1495. 57
1505. 64
1515. 64
1525. 71
1535. 65
1545. 77
1555. 91
1565. 87
1575. 99
1585. 100
1595. 112
1605. 109
1615. 107
1625. 124
1635. 151
1645. 137
1655. 118
1665. 146
1675. 143
1685. 144
1695. 195
1705. 159
1715. 162
1725. 198
1735. 219
1745. 209
1755. 209
1765. 215
1775. 183
1785. 200
1795. 206
1805. 212
1815. 218
1825. 240
1835. 242
1845. 268
1855. 222
1865. 244
1875. 251
1885. 231
1895. 230
1905. 211
1915. 216
1925. 206
1935. 185
1945. 183
1955. 169
1965. 144
1975. 137
1985. 126
1995. 101
2005. 82
2015. 83
2025. 69
2035. 61
2045. 38
2055. 43
2065. 21
2075. 21
2085. 17
2095. 12
2105. 7
2115. 6
2125. 1
2135. 0
2145. 1
2155. 2
2165. 0
2175. 0
2185. 0
2195. 0
2205. 0
2215. 0
2225. 0
2235. 0
2245. 0
2255. 0
2265. 0
2275. 0
2285. 0
2295. 0
2305. 0
2315. 0
2325. 0
2335. 0
2345. 0
2355. 0
2365. 0
2375. 0
2385. 0
2395. 0
2405. 0
2415. 0

255
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E23000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,255 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 0
35. 1
45. 0
55. 0
65. 0
75. 0
85. 0
95. 1
105. 0
115. 1
125. 1
135. 0
145. 1
155. 0
165. 1
175. 0
185. 0
195. 1
205. 0
215. 0
225. 2
235. 0
245. 0
255. 0
265. 2
275. 0
285. 0
295. 1
305. 3
315. 1
325. 1
335. 1
345. 1
355. 1
365. 1
375. 1
385. 0
395. 1
405. 0
415. 0
425. 0
435. 1
445. 1
455. 0
465. 0
475. 1
485. 1
495. 0
505. 2
515. 2
525. 0
535. 1
545. 3
555. 1
565. 1
575. 1
585. 2
595. 0
605. 0
615. 1
625. 0
635. 3
645. 2
655. 2
665. 0
675. 2
685. 0
695. 4
705. 1
715. 3
725. 2
735. 1
745. 3
755. 2
765. 1
775. 1
785. 3
795. 3
805. 2
815. 6
825. 2
835. 3
845. 1
855. 6
865. 3
875. 3
885. 3
895. 7
905. 3
915. 6
925. 0
935. 7
945. 0
955. 7
965. 2
975. 5
985. 4
995. 1
1005. 2
1015. 3
1025. 8
1035. 6
1045. 5
1055. 2
1065. 4
1075. 9
1085. 6
1095. 13
1105. 7
1115. 6
1125. 9
1135. 10
1145. 5
1155. 11
1165. 10
1175. 10
1185. 13
1195. 15
1205. 15
1215. 11
1225. 7
1235. 8
1245. 17
1255. 21
1265. 17
1275. 8
1285. 15
1295. 13
1305. 17
1315. 13
1325. 14
1335. 21
1345. 11
1355. 17
1365. 25
1375. 17
1385. 32
1395. 18
1405. 23
1415. 20
1425. 23
1435. 22
1445. 36
1455. 25
1465. 25
1475. 36
1485. 52
1495. 26
1505. 47
1515. 38
1525. 42
1535. 52
1545. 43
1555. 52
1565. 68
1575. 56
1585. 65
1595. 56
1605. 68
1615. 65
1625. 77
1635. 69
1645. 81
1655. 84
1665. 61
1675. 103
1685. 112
1695. 99
1705. 103
1715. 109
1725. 131
1735. 124
1745. 125
1755. 153
1765. 118
1775. 154
1785. 128
1795. 155
1805. 159
1815. 163
1825. 174
1835. 179
1845. 198
1855. 176
1865. 221
1875. 198
1885. 242
1895. 214
1905. 209
1915. 222
1925. 231
1935. 228
1945. 243
1955. 230
1965. 227
1975. 246
1985. 231
1995. 211
2005. 223
2015. 223
2025. 222
2035. 209
2045. 193
2055. 160
2065. 159
2075. 140
2085. 139
2095. 100
2105. 85
2115. 85
2125. 74
2135. 60
2145. 57
2155. 35
2165. 27
2175. 19
2185. 12
2195. 7
2205. 2
2215. 4
2225. 3
2235. 1
2245. 1
2255. 1
2265. 0
2275. 0
2285. 0
2295. 0
2305. 0
2315. 0
2325. 0
2335. 0
2345. 0
2355. 0
2365. 0
2375. 0
2385. 0
2395. 0
2405. 0
2415. 0
2425. 0
2435. 0
2445. 0
2455. 0
2465. 0
2475. 0
2485. 0
2495. 0
2505. 0
2515. 0
2525. 0
2535. 0

264
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E24000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,264 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 0
35. 1
45. 0
55. 0
65. 0
75. 1
85. 1
95. 1
105. 0
115. 0
125. 0
135. 0
145. 0
155. 0
165. 2
175. 1
185. 0
195. 0
205. 0
215. 0
225. 2
235. 0
245. 0
255. 0
265. 0
275. 0
285. 0
295. 0
305. 1
315. 0
325. 2
335. 0
345. 1
355. 1
365. 0
375. 2
385. 0
395. 1
405. 0
415. 0
425. 1
435. 0
445. 0
455. 1
465. 1
475. 0
485. 0
495. 3
505. 0
515. 0
525. 0
535. 0
545. 0
555. 0
565. 1
575. 0
585. 1
595. 3
605. 2
615. 3
625. 1
635. 1
645. 1
655. 0
665. 0
675. 0
685. 0
695. 0
705. 0
715. 5
725. 1
735. 0
745. 2
755. 0
765. 4
775. 2
785. 3
795. 1
805. 0
815. 1
825. 6
835. 0
845. 1
855. 0
865. 0
875. 4
885. 2
895. 3
905. 1
915. 2
925. 4
935. 2
945. 5
955. 3
965. 2
975. 4
985. 2
995. 2
1005. 5
1015. 3
1025. 5
1035. 0
1045. 4
1055. 4
1065. 5
1075. 3
1085. 5
1095. 2
1105. 3
1115. 9
1125. 7
1135. 9
1145. 4
1155. 4
1165. 7
1175. 9
1185. 4
1195. 8
1205. 10
1215. 10
1225. 9
1235. 8
1245. 10
1255. 9
1265. 7
1275. 7
1285. 20
1295. 15
1305. 16
1315. 14
1325. 6
1335. 15
1345. 13
1355. 15
1365. 17
1375. 19
1385. 13
1395. 15
1405. 17
1415. 25
1425. 21
1435. 17
1445. 18
1455. 19
1465. 20
1475. 32
1485. 25
1495. 26
1505. 25
1515. 22
1525. 23
1535. 31
1545. 30
1555. 35
1565. 42
1575. 41
1585. 36
1595. 39
1605. 44
1615. 51
1625. 46
1635. 66
1645. 51
1655. 66
1665. 49
1675. 61
1685. 50
1695. 67
1705. 68
1715. 53
1725. 61
1735. 88
1745. 79
1755. 75
1765. 88
1775. 90
1785. 84
1795. 99
1805. 119
1815. 113
1825. 114
1835. 121
1845. 124
1855. 131
1865. 143
1875. 143
1885. 162
1895. 129
1905. 142
1915. 167
1925. 155
1935. 182
1945. 181
1955. 180
1965. 206
1975. 213
1985. 204
1995. 203
2005. 238
2015. 206
2025. 236
2035. 235
2045. 235
2055. 232
2065. 198
2075. 213
2085. 228
2095. 218
2105. 212
2115. 228
2125. 205
2135. 202
2145. 188
2155. 160
2165. 165
2175. 147
2185. 138
2195. 117
2205. 94
2215. 88
2225. 75
2235. 67
2245. 34
2255. 28
2265. 34
2275. 31
2285. 17
2295. 15
2305. 10
2315. 9
2325. 6
2335. 3
2345. 6
2355. 1
2365. 0
2375. 0
2385. 0
2395. 0
2405. 0
2415. 0
2425. 0
2435. 0
2445. 0
2455. 0
2465. 0
2475. 0
2485. 0
2495. 0
2505. 0
2515. 0
2525. 0
2535. 0
2545. 0
2555. 0
2565. 0
2575. 0
2585. 0
2595. 0
2605. 0
2615. 0
2625. 0

74
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E3000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,74 @@
DEPTH PARTICLES
5. 10
15. 21
25. 28
35. 30
45. 41
55. 49
65. 51
75. 43
85. 52
95. 79
105. 87
115. 95
125. 120
135. 120
145. 124
155. 121
165. 139
175. 159
185. 191
195. 211
205. 214
215. 250
225. 296
235. 296
245. 265
255. 304
265. 322
275. 359
285. 386
295. 378
305. 372
315. 382
325. 413
335. 413
345. 399
355. 357
365. 375
375. 346
385. 299
395. 287
405. 243
415. 209
425. 157
435. 164
445. 118
455. 86
465. 68
475. 54
485. 32
495. 26
505. 11
515. 14
525. 10
535. 8
545. 5
555. 0
565. 1
575. 0
585. 0
595. 0
605. 0
615. 0
625. 0
635. 0
645. 0
655. 0
665. 0
675. 0
685. 0
695. 0
705. 0
715. 0
725. 0

84
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E4000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,84 @@
DEPTH PARTICLES
5. 3
15. 10
25. 18
35. 17
45. 29
55. 25
65. 27
75. 25
85. 37
95. 35
105. 42
115. 41
125. 48
135. 43
145. 57
155. 60
165. 64
175. 78
185. 78
195. 106
205. 119
215. 102
225. 119
235. 123
245. 176
255. 179
265. 165
275. 183
285. 214
295. 221
305. 260
315. 248
325. 279
335. 279
345. 308
355. 337
365. 367
375. 363
385. 363
395. 375
405. 375
415. 386
425. 380
435. 396
445. 348
455. 298
465. 295
475. 284
485. 261
495. 236
505. 213
515. 157
525. 152
535. 122
545. 85
555. 69
565. 34
575. 32
585. 20
595. 17
605. 12
615. 3
625. 6
635. 4
645. 2
655. 0
665. 0
675. 0
685. 0
695. 0
705. 0
715. 0
725. 0
735. 0
745. 0
755. 0
765. 0
775. 0
785. 0
795. 0
805. 0
815. 0
825. 0

93
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E5000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,93 @@
DEPTH PARTICLES
5. 4
15. 7
25. 5
35. 13
45. 6
55. 14
65. 16
75. 11
85. 13
95. 28
105. 15
115. 17
125. 23
135. 43
145. 28
155. 26
165. 42
175. 39
185. 49
195. 45
205. 49
215. 62
225. 61
235. 66
245. 92
255. 84
265. 96
275. 112
285. 95
295. 108
305. 119
315. 157
325. 148
335. 163
345. 186
355. 172
365. 198
375. 218
385. 242
395. 251
405. 272
415. 302
425. 291
435. 333
445. 335
455. 338
465. 365
475. 393
485. 370
495. 343
505. 365
515. 357
525. 342
535. 332
545. 311
555. 287
565. 246
575. 231
585. 214
595. 135
605. 129
615. 124
625. 94
635. 60
645. 56
655. 44
665. 20
675. 14
685. 8
695. 9
705. 4
715. 1
725. 2
735. 1
745. 1
755. 0
765. 0
775. 0
785. 0
795. 0
805. 0
815. 0
825. 0
835. 0
845. 0
855. 0
865. 0
875. 0
885. 0
895. 0
905. 0
915. 0

100
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E6000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,100 @@
DEPTH PARTICLES
5. 1
15. 4
25. 7
35. 8
45. 13
55. 3
65. 9
75. 11
85. 7
95. 14
105. 13
115. 18
125. 16
135. 19
145. 21
155. 22
165. 20
175. 21
185. 36
195. 26
205. 35
215. 41
225. 46
235. 47
245. 41
255. 52
265. 49
275. 54
285. 51
295. 71
305. 84
315. 92
325. 86
335. 112
345. 104
355. 97
365. 108
375. 141
385. 124
395. 164
405. 134
415. 184
425. 144
435. 194
445. 207
455. 223
465. 256
475. 238
485. 255
495. 265
505. 288
515. 298
525. 303
535. 315
545. 303
555. 328
565. 345
575. 341
585. 335
595. 335
605. 339
615. 313
625. 293
635. 281
645. 246
655. 253
665. 215
675. 168
685. 155
695. 103
705. 85
715. 72
725. 53
735. 51
745. 29
755. 20
765. 15
775. 6
785. 6
795. 4
805. 1
815. 1
825. 1
835. 0
845. 0
855. 0
865. 0
875. 0
885. 0
895. 0
905. 0
915. 0
925. 0
935. 0
945. 0
955. 0
965. 0
975. 0
985. 0

111
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E7000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,111 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 3
25. 4
35. 6
45. 5
55. 9
65. 9
75. 7
85. 11
95. 10
105. 11
115. 10
125. 12
135. 5
145. 15
155. 7
165. 13
175. 19
185. 19
195. 29
205. 14
215. 26
225. 18
235. 24
245. 23
255. 24
265. 29
275. 37
285. 31
295. 36
305. 40
315. 57
325. 45
335. 56
345. 64
355. 58
365. 83
375. 60
385. 81
395. 75
405. 79
415. 84
425. 91
435. 111
445. 127
455. 126
465. 176
475. 145
485. 146
495. 193
505. 169
515. 171
525. 196
535. 225
545. 245
555. 250
565. 271
575. 253
585. 248
595. 323
605. 290
615. 320
625. 316
635. 328
645. 343
655. 328
665. 349
675. 311
685. 305
695. 284
705. 281
715. 250
725. 239
735. 232
745. 215
755. 162
765. 155
775. 126
785. 101
795. 63
805. 57
815. 40
825. 23
835. 23
845. 11
855. 9
865. 12
875. 4
885. 4
895. 0
905. 1
915. 0
925. 0
935. 0
945. 0
955. 0
965. 0
975. 0
985. 0
995. 0
1005. 0
1015. 0
1025. 0
1035. 0
1045. 0
1055. 0
1065. 0
1075. 0
1085. 0
1095. 0

119
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E8000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,119 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 2
25. 3
35. 2
45. 5
55. 3
65. 6
75. 8
85. 6
95. 4
105. 5
115. 8
125. 4
135. 8
145. 8
155. 8
165. 9
175. 9
185. 11
195. 6
205. 7
215. 12
225. 15
235. 18
245. 13
255. 17
265. 21
275. 27
285. 21
295. 28
305. 32
315. 25
325. 37
335. 22
345. 37
355. 44
365. 44
375. 41
385. 52
395. 50
405. 65
415. 63
425. 47
435. 66
445. 63
455. 77
465. 75
475. 95
485. 114
495. 89
505. 146
515. 131
525. 122
535. 114
545. 144
555. 142
565. 150
575. 193
585. 172
595. 199
605. 215
615. 219
625. 192
635. 229
645. 226
655. 265
665. 269
675. 305
685. 305
695. 315
705. 297
715. 328
725. 341
735. 301
745. 328
755. 298
765. 295
775. 284
785. 280
795. 258
805. 218
815. 238
825. 185
835. 188
845. 124
855. 128
865. 102
875. 65
885. 51
895. 46
905. 29
915. 25
925. 14
935. 11
945. 2
955. 3
965. 3
975. 2
985. 0
995. 0
1005. 0
1015. 0
1025. 0
1035. 0
1045. 0
1055. 0
1065. 0
1075. 0
1085. 0
1095. 0
1105. 0
1115. 0
1125. 0
1135. 0
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0

130
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/TRIMSP/Si10_2.0_E9000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,130 @@
DEPTH PARTICLES
5. 0
15. 0
25. 1
35. 2
45. 3
55. 2
65. 2
75. 3
85. 5
95. 9
105. 3
115. 7
125. 3
135. 4
145. 8
155. 5
165. 4
175. 8
185. 8
195. 7
205. 7
215. 6
225. 9
235. 7
245. 16
255. 10
265. 21
275. 15
285. 11
295. 15
305. 12
315. 27
325. 19
335. 17
345. 22
355. 32
365. 19
375. 22
385. 34
395. 43
405. 43
415. 35
425. 24
435. 38
445. 33
455. 43
465. 51
475. 64
485. 45
495. 66
505. 74
515. 64
525. 77
535. 89
545. 96
555. 85
565. 98
575. 101
585. 117
595. 121
605. 126
615. 121
625. 142
635. 154
645. 153
655. 161
665. 181
675. 220
685. 211
695. 211
705. 239
715. 245
725. 239
735. 265
745. 254
755. 262
765. 312
775. 302
785. 315
795. 301
805. 298
815. 350
825. 282
835. 329
845. 253
855. 296
865. 269
875. 264
885. 223
895. 208
905. 178
915. 152
925. 153
935. 114
945. 90
955. 62
965. 61
975. 45
985. 24
995. 17
1005. 13
1015. 13
1025. 3
1035. 2
1045. 1
1055. 1
1065. 2
1075. 0
1085. 0
1095. 0
1105. 0
1115. 0
1125. 0
1135. 0
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0
1185. 0
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0

13
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/data/Si10_260K_Escan_100GTF_withDiaFrac.dat Executable file
View File

@ -0,0 +1,13 @@
dataT dataTErr dataB dataE dataTr dataRALRAR dataRATRAB dataSpinRot Asy AsyPosErr AsyNegErr Lambda LambdaPosErr LambdaNegErr Ph PhPosErr PhNegErr Field FieldPosErr FieldNegErr RelPh_L RelPh_LPosErr RelPh_LNegErr N0_L N0_LPosErr N0_LNegErr N_bkg_L N_bkg_LPosErr N_bkg_LNegErr RelPh_T RelPh_TPosErr RelPh_TNegErr N0_T N0_TPosErr N0_TNegErr N_bkg_T N_bkg_TPosErr N_bkg_TNegErr RelPh_R RelPh_RPosErr RelPh_RNegErr alpha_LR alpha_LRPosErr alpha_LRNegErr N_bkg_R N_bkg_RPosErr N_bkg_RNegErr RelPh_B RelPh_BPosErr RelPh_BNegErr alpha_TB alpha_TBPosErr alpha_TBNegErr N_bkg_B N_bkg_BPosErr N_bkg_BNegErr CHISQ NDF CHISQred RUN AsymCorrected AsymCorrectedErr AsymAg DiaFrac DiaFracErr
260.0000 0.0080 99.4220 3.9811 15.0030 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.1080 0.0017 0.0016 0.1220 0.0080 0.0078 23.4100 0.8600 0.8600 100.7990 0.0900 0.0900 0.0000 0.0000 0.0000 301.9700 0.4700 0.4700 4.3850 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 324.5600 0.4900 0.4900 4.6150 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.1134 0.0024 0.0024 5.3370 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9437 0.0021 0.0020 4.6280 0.0700 0.0700 3709.6001 3648.0000 1.0169 1151.0000 0.0871 0.0017 0.1770 0.4923 0.0096
260.0000 0.0090 99.4240 5.9798 15.0023 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.1142 0.0018 0.0018 0.1862 0.0095 0.0093 20.5200 0.8800 0.8800 101.2400 0.1100 0.1100 0.0000 0.0000 0.0000 301.3500 0.4700 0.4700 4.4690 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 322.4300 0.4900 0.4900 4.7600 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.1079 0.0024 0.0024 5.3200 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9508 0.0021 0.0021 4.5680 0.0700 0.0700 3554.3999 3648.0000 0.9743 1150.0000 0.1009 0.0018 0.1971 0.5120 0.0091
260.0000 0.0060 99.4250 7.9819 15.0026 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.1130 0.0018 0.0018 0.1707 0.0091 0.0089 21.8600 0.8700 0.8700 101.2900 0.1000 0.1000 0.0000 0.0000 0.0000 303.0800 0.4700 0.4800 4.3980 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 322.9100 0.4900 0.4800 4.7020 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.1027 0.0024 0.0024 5.2930 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9507 0.0021 0.0021 4.5450 0.0700 0.0700 3662.8000 3648.0000 1.0041 1149.0000 0.1022 0.0018 0.2072 0.4934 0.0087
260.0000 0.0060 99.4240 9.9805 15.0030 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.1153 0.0017 0.0017 0.1493 0.0083 0.0081 21.6000 0.8300 0.8300 101.3250 0.0920 0.0920 0.0000 0.0000 0.0000 303.7600 0.4800 0.4700 4.3970 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 321.5800 0.4900 0.4800 4.8000 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.0941 0.0024 0.0024 5.3280 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9561 0.0021 0.0021 4.6310 0.0700 0.0700 3716.6001 3648.0000 1.0188 1152.0000 0.1054 0.0017 0.2126 0.4956 0.0080
260.0000 0.0060 99.4250 10.9813 15.0024 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.1114 0.0017 0.0017 0.1392 0.0083 0.0082 18.2500 0.8500 0.8500 101.5710 0.0920 0.0920 0.0000 0.0000 0.0000 302.5900 0.4700 0.4700 4.5400 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 321.9600 0.4900 0.4900 4.9440 0.0720 0.0720 180.0000 0.0000 0.0000 1.1002 0.0024 0.0024 5.4940 0.0740 0.0740 90.0000 0.0000 0.0000 0.9525 0.0021 0.0021 4.7490 0.0700 0.0700 3614.8000 3648.0000 0.9909 1153.0000 0.1017 0.0017 0.2143 0.4743 0.0079
260.0000 0.0060 99.4250 11.9834 15.0024 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.1027 0.0016 0.0016 0.1183 0.0083 0.0081 18.2200 0.9000 0.9000 101.1080 0.0930 0.0930 0.0000 0.0000 0.0000 302.5000 0.4800 0.4800 4.5740 0.0700 0.0700 -90.0000 0.0000 0.0000 321.5700 0.4900 0.4900 4.8820 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.1014 0.0024 0.0024 5.4490 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9569 0.0021 0.0021 4.6530 0.0700 0.0700 3759.3999 3648.0000 1.0305 1154.0000 0.0931 0.0016 0.2156 0.4315 0.0074
260.0000 0.0080 99.4240 12.9803 15.0025 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.0954 0.0016 0.0016 0.0909 0.0080 0.0079 14.4700 0.9400 0.9400 101.1510 0.0910 0.0910 0.0000 0.0000 0.0000 303.2400 0.4700 0.4800 4.4000 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 321.3500 0.4900 0.4900 4.8710 0.0720 0.0720 180.0000 0.0000 0.0000 1.0991 0.0024 0.0024 5.2770 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9560 0.0021 0.0021 4.7920 0.0700 0.0700 3681.8999 3648.0000 1.0093 1155.0000 0.0858 0.0016 0.2166 0.3961 0.0074
260.0010 0.0050 99.4250 13.9946 15.0027 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.0830 0.0015 0.0015 0.0474 0.0077 0.0075 11.8000 1.0000 1.0000 101.1020 0.0890 0.0890 0.0000 0.0000 0.0000 303.5400 0.4700 0.4700 4.3940 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 322.4800 0.4900 0.4900 4.7190 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.1009 0.0024 0.0024 5.2670 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9574 0.0021 0.0021 4.5960 0.0700 0.0700 3511.6001 3648.0000 0.9626 1156.0000 0.0735 0.0015 0.2174 0.3378 0.0069
260.0000 0.0050 99.4250 14.9936 15.0027 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.0802 0.0016 0.0016 0.0419 0.0086 0.0084 7.6000 1.1000 1.1000 101.2880 0.0960 0.0960 0.0000 0.0000 0.0000 256.1900 0.4400 0.4300 3.7690 0.0630 0.0640 -90.0000 0.0000 0.0000 272.3500 0.4500 0.4500 3.9930 0.0650 0.0660 180.0000 0.0000 0.0000 1.1047 0.0026 0.0026 4.3960 0.0680 0.0670 90.0000 0.0000 0.0000 0.9598 0.0023 0.0023 3.9290 0.0640 0.0640 3713.0000 3648.0000 1.0178 1157.0000 0.0707 0.0016 0.2180 0.3242 0.0073
260.0000 0.0070 99.4250 15.9956 15.0030 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.0772 0.0014 0.0014 0.0306 0.0077 0.0076 3.1000 1.1000 1.1000 101.2550 0.0880 0.0880 0.0000 0.0000 0.0000 303.5800 0.4700 0.4700 4.1880 0.0680 0.0680 -90.0000 0.0000 0.0000 321.9600 0.4900 0.4900 4.6510 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.1020 0.0024 0.0024 4.8620 0.0720 0.0720 90.0000 0.0000 0.0000 0.9616 0.0021 0.0021 4.4080 0.0690 0.0690 3660.5000 3648.0000 1.0034 1158.0000 0.0677 0.0014 0.2185 0.3098 0.0064
260.0000 0.0060 99.4270 17.9965 15.0023 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.0707 0.0014 0.0014 0.0195 0.0081 0.0080 2.4000 1.1000 1.1000 101.2420 0.0920 0.0920 0.0000 0.0000 0.0000 301.9500 0.4700 0.4700 4.3630 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 320.2000 0.4800 0.4800 4.5140 0.0700 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.0976 0.0024 0.0024 5.2190 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9629 0.0021 0.0021 4.4640 0.0700 0.0690 3514.7000 3648.0000 0.9635 1159.0000 0.0612 0.0014 0.2191 0.2793 0.0064
260.0000 0.0090 99.4290 19.9949 15.0030 -0.0080 -0.0060 -10.0000 0.0680 0.0014 0.0014 0.0128 0.0082 0.0081 0.2000 1.2000 1.2000 101.1990 0.0940 0.0940 0.0000 0.0000 0.0000 301.9100 0.4700 0.4700 4.5250 0.0690 0.0690 -90.0000 0.0000 0.0000 321.2600 0.4900 0.4900 4.6440 0.0710 0.0710 180.0000 0.0000 0.0000 1.1004 0.0024 0.0024 5.2590 0.0730 0.0730 90.0000 0.0000 0.0000 0.9587 0.0021 0.0021 4.7530 0.0700 0.0700 3527.5000 3648.0000 0.9670 1160.0000 0.0585 0.0014 0.2194 0.2666 0.0064

35
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_Si/depth_profile_startup.xml Normal file
View File

@ -0,0 +1,35 @@
<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<nonlocal xmlns="http://nemu.web.psi.ch/musrfit/nonlocal">
<comment>
TrimSp information
</comment>
<trim_sp>
<data_path>./TRIMSP/</data_path>
<rge_fln_pre>Si10_2.0_E</rge_fln_pre>
<energy_list>
<energy>1000</energy>
<energy>2000</energy>
<energy>3000</energy>
<energy>4000</energy>
<energy>5000</energy>
<energy>6000</energy>
<energy>7000</energy>
<energy>8000</energy>
<energy>9000</energy>
<energy>10000</energy>
<energy>11000</energy>
<energy>12000</energy>
<energy>13000</energy>
<energy>14000</energy>
<energy>15000</energy>
<energy>16000</energy>
<energy>17000</energy>
<energy>17000</energy>
<energy>18000</energy>
<energy>19000</energy>
<energy>20000</energy>
<energy>21000</energy>
<energy>22000</energy>
</energy_list>
</trim_sp>
</nonlocal>

57
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/SiC_PECVD_thermal_100G_10K_diaFrac.msr Normal file
View File

@ -0,0 +1,57 @@
n/a
###############################################################
FITPARAMETER
# Nr. Name Value Step Pos_Error Boundaries
1 f1 0.4840 0.0019 none 0 1
2 f2 0.2243 0.0014 none
3 f3 0.00002 0.00010 none 0 1
4 x1 64.4 5.5 none
5 x2 102.0 4.3 none
###############################################################
THEORY
userFcn libPDepthProfile PDepthProfile 1 2 3 4 5
###############################################################
RUN data/70nmPECVD-30nmThermalSiO2-SiC_9_010K_100GTF_withDiaFrac MUE4 PSI DAT (name beamline institute data-file-format)
fittype 8 (non muSR fit)
map 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
xy-data dataE DiaFrac
fit 1 22
packing 1
###############################################################
COMMANDS
MINIMIZE
#HESSE
MINOS
SAVE
###############################################################
PLOT 8 (non muSR plot)
runs 1
range 0 25
###############################################################
STATISTIC --- 2023-02-16 15:53:17
chisq = 30.7, NDF = 9, chisq/NDF = 3.414862

57
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/SiC_PECVD_thermal_100G_260K_asym.msr Normal file
View File

@ -0,0 +1,57 @@
n/a
###############################################################
FITPARAMETER
# Nr. Name Value Step Pos_Error Boundaries
1 f1 0.10040 0.00019 none
2 f2 0.05215 0.00018 none
3 f3 0.01199 0.00022 none
4 x1 66.4 1.5 none
5 x2 102.52 0.72 none
###############################################################
THEORY
userFcn libPDepthProfile PDepthProfile 1 2 3 4 5
###############################################################
RUN data/70nmPECVD-30nmThermalSiO2-SiC_9_260K_100GTF_withDiaFrac MUE4 PSI DAT (name beamline institute data-file-format)
fittype 8 (non muSR fit)
map 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
xy-data dataE AsymCorrected
fit 1 25
packing 1
###############################################################
COMMANDS
MINIMIZE
#HESSE
MINOS
SAVE
###############################################################
PLOT 8 (non muSR plot)
runs 1
range 0 25
###############################################################
STATISTIC --- 2023-02-16 15:52:09
chisq = 24.9, NDF = 10, chisq/NDF = 2.487147

57
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/SiC_PECVD_thermal_100G_260K_diaFrac.msr Normal file
View File

@ -0,0 +1,57 @@
n/a
###############################################################
FITPARAMETER
# Nr. Name Value Step Pos_Error Boundaries
1 f1 0.54540 0.00072 none 0 1
2 f2 0.23957 0.00048 none
3 f3 0.05615 0.00047 none 0 1
4 x1 63.5000 0.0014 none
5 x2 101.5001 0.0044 none
###############################################################
THEORY
userFcn libPDepthProfile PDepthProfile 1 2 3 4 5
###############################################################
RUN data/70nmPECVD-30nmThermalSiO2-SiC_9_260K_100GTF_withDiaFrac MUE4 PSI DAT (name beamline institute data-file-format)
fittype 8 (non muSR fit)
map 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
xy-data dataE DiaFrac
fit 3 22
packing 1
###############################################################
COMMANDS
MINIMIZE
#HESSE
MINOS
SAVE
###############################################################
PLOT 8 (non muSR plot)
runs 1
range 0 25
###############################################################
STATISTIC --- 2023-02-16 15:50:32
chisq = 24.8, NDF = 10, chisq/NDF = 2.477112

59
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E1000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,59 @@
DEPTH PARTICLES
5. 975
15. 2134
25. 2721
35. 3261
45. 3483
55. 3856
65. 4319
75. 4624
85. 4648
95. 4763
105. 5040
115. 4887
125. 4984
135. 4785
145. 4622
155. 4232
165. 4170
175. 3704
185. 3292
195. 3031
205. 2664
215. 2206
225. 1907
235. 1487
245. 1142
255. 896
265. 733
275. 527
285. 340
295. 270
305. 196
315. 125
325. 76
335. 49
345. 23
355. 15
365. 11
375. 4
385. 6
395. 2
405. 2
415. 0
425. 0
435. 0
445. 0
455. 0
465. 0
475. 0
485. 0
495. 0
505. 0
515. 0
525. 0
535. 0
545. 0
555. 0
565. 0
575. 0

134
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E10000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,134 @@
DEPTH PARTICLES
5. 6
15. 13
25. 14
35. 13
45. 17
55. 21
65. 29
75. 34
85. 28
95. 27
105. 29
115. 43
125. 45
135. 50
145. 53
155. 39
165. 54
175. 55
185. 60
195. 73
205. 71
215. 66
225. 78
235. 72
245. 77
255. 90
265. 93
275. 80
285. 107
295. 128
305. 113
315. 126
325. 120
335. 149
345. 123
355. 148
365. 152
375. 196
385. 176
395. 184
405. 196
415. 253
425. 254
435. 227
445. 270
455. 299
465. 335
475. 360
485. 372
495. 398
505. 382
515. 396
525. 465
535. 483
545. 532
555. 557
565. 626
575. 587
585. 672
595. 700
605. 780
615. 809
625. 833
635. 922
645. 972
655. 1092
665. 1118
675. 1145
685. 1240
695. 1385
705. 1626
715. 1688
725. 1757
735. 1890
745. 2059
755. 2198
765. 2309
775. 2406
785. 2551
795. 2617
805. 2854
815. 2942
825. 3052
835. 3157
845. 3229
855. 3211
865. 3364
875. 3278
885. 3224
895. 3208
905. 3147
915. 2933
925. 2778
935. 2679
945. 2494
955. 2155
965. 1874
975. 1615
985. 1277
995. 1045
1005. 1276
1015. 832
1025. 503
1035. 259
1045. 119
1055. 50
1065. 22
1075. 6
1085. 0
1095. 0
1105. 0
1115. 0
1125. 0
1135. 0
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0
1185. 0
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0

145
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E11000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,145 @@
DEPTH PARTICLES
5. 5
15. 4
25. 14
35. 13
45. 22
55. 24
65. 16
75. 26
85. 26
95. 25
105. 31
115. 33
125. 34
135. 25
145. 35
155. 37
165. 45
175. 39
185. 46
195. 48
205. 49
215. 44
225. 46
235. 61
245. 57
255. 60
265. 71
275. 67
285. 67
295. 85
305. 77
315. 72
325. 88
335. 77
345. 119
355. 102
365. 110
375. 132
385. 133
395. 143
405. 115
415. 136
425. 153
435. 168
445. 170
455. 182
465. 189
475. 186
485. 229
495. 235
505. 245
515. 275
525. 290
535. 305
545. 309
555. 299
565. 367
575. 389
585. 410
595. 413
605. 497
615. 461
625. 558
635. 603
645. 606
655. 661
665. 712
675. 768
685. 820
695. 827
705. 948
715. 1097
725. 1089
735. 1222
745. 1322
755. 1408
765. 1459
775. 1577
785. 1666
795. 1787
805. 1959
815. 1925
825. 2109
835. 2311
845. 2366
855. 2562
865. 2635
875. 2757
885. 2786
895. 2995
905. 2984
915. 2959
925. 3145
935. 3176
945. 3148
955. 3117
965. 3098
975. 2966
985. 2741
995. 2645
1005. 4038
1015. 3609
1025. 3047
1035. 2346
1045. 1706
1055. 1334
1065. 797
1075. 434
1085. 252
1095. 113
1105. 62
1115. 11
1125. 4
1135. 2
1145. 0
1155. 0
1165. 0
1175. 0
1185. 0
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0

153
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E12000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,153 @@
DEPTH PARTICLES
5. 3
15. 5
25. 12
35. 2
45. 15
55. 14
65. 11
75. 12
85. 20
95. 23
105. 23
115. 29
125. 22
135. 19
145. 31
155. 38
165. 25
175. 41
185. 37
195. 27
205. 34
215. 34
225. 32
235. 45
245. 43
255. 49
265. 46
275. 43
285. 52
295. 50
305. 70
315. 71
325. 53
335. 58
345. 79
355. 60
365. 83
375. 78
385. 95
395. 75
405. 106
415. 100
425. 118
435. 119
445. 139
455. 126
465. 146
475. 144
485. 147
495. 149
505. 185
515. 145
525. 202
535. 197
545. 199
555. 250
565. 230
575. 266
585. 271
595. 253
605. 343
615. 313
625. 361
635. 330
645. 347
655. 390
665. 408
675. 471
685. 494
695. 516
705. 607
715. 684
725. 665
735. 713
745. 814
755. 817
765. 901
775. 947
785. 1072
795. 1065
805. 1185
815. 1238
825. 1346
835. 1417
845. 1538
855. 1683
865. 1774
875. 1872
885. 1965
895. 1990
905. 2142
915. 2292
925. 2367
935. 2551
945. 2552
955. 2668
965. 2753
975. 2832
985. 2758
995. 2822
1005. 4813
1015. 4811
1025. 4790
1035. 4656
1045. 4298
1055. 4009
1065. 3517
1075. 2963
1085. 2329
1095. 1697
1105. 1081
1115. 731
1125. 384
1135. 228
1145. 117
1155. 55
1165. 17
1175. 2
1185. 2
1195. 0
1205. 0
1215. 0
1225. 0
1235. 0
1245. 0
1255. 0
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0

163
doc/examples/DepthProfiles/PECVD_thermal_SiC/TRIMSP/SiO2_70nm2.0_30nm2.2_SiC_E13000.rge Normal file
View File

@ -0,0 +1,163 @@
DEPTH PARTICLES
5. 4
15. 7
25. 13
35. 12
45. 18
55. 18
65. 14
75. 22
85. 12
95. 18
105. 24
115. 18
125. 15
135. 31
145. 11
155. 28
165. 25
175. 13
185. 33
195. 33
205. 37
215. 34
225. 36
235. 36
245. 27
255. 34
265. 38
275. 37
285. 39
295. 52
305. 34
315. 55
325. 47
335. 46
345. 52
355. 70
365. 56
375. 65
385. 64
395. 48
405. 67
415. 66
425. 72
435. 69
445. 79
455. 84
465. 89
475. 93
485. 113
495. 116
505. 120
515. 128
525. 129
535. 125
545. 150
555. 146
565. 168
575. 153
585. 169
595. 175
605. 195
615. 217
625. 193
635. 233
645. 247
655. 254
665. 279
675. 317
685. 288
695. 326
705. 368
715. 402
725. 466
735. 444
745. 498
755. 548
765. 551
775. 598
785. 672
795. 685
805. 770
815. 756
825. 871
835. 893
845. 941
855. 989
865. 1113
875. 1111
885. 1246
895. 1280
905. 1387
915. 1551
925. 1482
935. 1558
945. 1720
955. 1762
965. 1873
975. 1993
985. 2081
995. 2128
1005. 3823
1015. 3989
1025. 4227
1035. 4361
1045. 4594
1055. 4712
1065. 4732
1075. 4628
1085. 4617
1095. 4262
1105. 3894
1115. 3368
1125. 2849
1135. 2177
1145. 1673
1155. 1139
1165. 791
1175. 443
1185. 226
1195. 124
1205. 49
1215. 24
1225. 15
1235. 2
1245. 0
1255. 1
1265. 0
1275. 0
1285. 0
1295. 0
1305. 0
1315. 0
1325. 0
1335. 0
1345. 0
1355. 0
1365. 0
1375. 0
1385. 0
1395. 0
1405. 0
1415. 0
1425. 0
1435. 0
1445. 0
1455. 0
1465. 0
1475. 0
1485. 0
1495. 0
1505. 0
1515. 0
1525. 0
1535. 0
1545. 0
1555. 0
1565. 0
1575. 0
1585. 0
1595. 0
1605. 0
1615. 0

Some files were not shown because too many files have changed in this diff Show More